Claims (2)
Изобрете1ше относитс к активному контролю и бесконтактному измерению размеров и. MOK&s быть использовано в системах а втоматического; регулировани в приборо|Строении , а также в машиностроении. Известна бесконтактна след ща система , в которой в Качестве чувствительного (элемента используетс вихретоковый датчик ll. |. Известна также след ща система, со ; держаща высокочастотный и 1низкочастот|ньа генераторы, выходы которых соединены 1с соотеетствую1о1ими входами модул тора, I выход которого соединен с первым входом Iвихретокового датчика, выход которого че|рез детектор и усилитель соединен с пер|вым входом фазового дискриминатора, вход которюго соединен с выходом фа- ; зовращател , а выход через электромехани|Ческий преобразователь и силовой привод соединен с вторым входом вихретокового I датчика, выход низкочастотного гене ратора подключен к входу фазовращател , 2J . Однако эта система характевизуетс не стабильностью работы измер1 гельной. части за счет дрейфа величины сигналов, что приводит к снижению работы системы. Целью зоёрётени вл етс повьииение рстабильности работы системы. t Дл этого в системе, содержаш ей со кочастотный и низкочастотный генераторы, выходы которых через модул тор соединены с первым входом вихретокового датчика, выход которого через первый детектор и усилитель соединен с первым входом фазового дискримннатора,-второй вход которого подключен, к выходу фазовращател , а выход - через электромеханический преобразователь к силовому приводу, котфый кинематически св зан с вторым входом вихр токового датчика, уставювлен второй детектор , вход которого соединен с выходом мо дул тора а выход - с входом фааоврашате л . j На чертеже приведена структурна эпс- т ическа схема след щей системы. След ща система содержит выбокочао / тотный генератор 1, модул тор 2, низкочастотный генератор 3, вихретоковый датчик 4, первый и второй детекторы 5 и б. усилитель 7, фазовый дискриминатор 8, фааоврашатель 9, электромеханический преобразователь 10 и силовой привод 11, Система работает следующим образом. Вихретоковый датчик 4 запитываетс напр жением с высокочастотного генератора Ij предварительно промодулированного i низкочастотным сигналом. Сигнал с датчика 4, в котором содержитс информаци о рассто нии от подложки контролируемого или обрабатываемого издели до чувствительного элемента датчика 4 поступает на первый детектор 5 и после детектировани , выделенный сигнал усиливаетс и подаетс на фазовый дискриминатор 8, где сравниваетс с сигналом с модул тора 2, предварительно продетектированным вторым Детектором 6 и прошедшего через фазовращатель 9. При помощи фазовращател 9 задаетс и регулируетс необходимое рассто ние от подложки до датчика 4. С фазового дискриминатора сигнал через электромеханический преобразователь 10 поступает на силовой привод 11 j который перемещает датчик 4 до тех пор, пока пара метры сигналов с датчика 4 и фазовращател 9 не будут равны. Формула изобретени След ща система, содержаща высокочастотный и низкочастотный генераторы, выход каждого через модул тор соединен с nepBoiM входом вихретокового датчика, выход которогЧз через первый детектор и усилитель соединен с первым входои фазового дискриминатора, второй вход которого подключен к выходу фазовращател , а выход через электромеханический преобразователь 4 к силовому приво;здг, который кинематически св зан с вторым входом вихретокового дат- чика, отличающа с тем, что, с целью повышени стабильности работы системы, она содержит второй детектор, вход которого соединен с выходом модул тора, а выход - с входом фазовращател . Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе: 1. Авторское свидетельство СССР № 148533, кп. 41в, 26, приоритет О1.02.61. The invention relates to active control and non-contact measurement of dimensions and. MOK & s to be used in automatic systems; regulation in the device, in the structure, as well as in engineering. There is a known contactless tracking system in which, as a sensitive (element, an eddy current probe is used.). Also known is a tracking system that holds a high frequency and 1 low frequency oscillator, the outputs of which are connected 1c with the corresponding modulator inputs, the output I of which is connected to the first input of the downstream sensor, the output of which through the detector and amplifier is connected to the first input of the phase discriminator, the input of which is connected to the output of the phase-shifter and the output through the electromechanical transducer The driver and the actuator are connected to the second input of the eddy current probe I. The output of the low-frequency generator is connected to the input of the phase shifter, 2 J. However, this system is characterized by instability in the measurement part due to the drift of the signal magnitude, which leads to a decrease in the system's operation. This is how the stability of the system works. t To do this, the system contains a frequency and low-frequency generators, the outputs of which are connected via a modulator to the first input of the eddy current sensor, the output of which About the first detector and amplifier is connected to the first input of the phase discriminator, the second input of which is connected to the output of the phase shifter, and the output through an electromechanical converter to the power drive, which is kinematically connected to the second input of the eddy current sensor, the second detector is fitted, the input of which connected to the output of the modulator and the output to the input of the faerwrapet l. j The drawing shows a structural plot of the tracking system. The following system contains an optically generated oscillator 1, a modulator 2, a low-frequency generator 3, an eddy current sensor 4, the first and second detectors 5, and b. the amplifier 7, the phase discriminator 8, the faer paint 9, the electromechanical transducer 10 and the actuator 11, the system works as follows. The eddy current sensor 4 is powered by the voltage from the high-frequency generator Ij pre-modulated by the low-frequency signal. The signal from sensor 4, which contains information about the distance from the substrate of the monitored or processed product to the sensitive element of sensor 4, goes to the first detector 5 and, after detection, the selected signal is amplified and fed to phase discriminator 8, where it is compared with the modulator 2 , pre-detected by the second Detector 6 and passing through the phase shifter 9. Using the phase shifter 9, the required distance from the substrate to the sensor 4 is set and adjusted. From the phase discriminator and the signal through the electromechanical converter 10 is fed to the power drive 11 j which moves sensor 4 until the parameters of the signals from sensor 4 and phase shifter 9 are equal. The following system, containing a high-frequency and low-frequency generators, each output through a modulator is connected to the nepBoiM input of an eddy current probe, the output of which through the first detector and amplifier is connected to the first input of the phase discriminator, the second input of which is connected to the output of the phase rotator, and the output through an electromechanical transducer 4 to a power drive; zdg, which is kinematically connected with the second input of the eddy current sensor, characterized in that, in order to increase the stability of the systems It comprises a second detector having an input connected to the output of the modulator, and the output - to the input of the phase shifter. Sources of information taken into account in the examination: 1. USSR Author's Certificate No. 148533, кп. 41c, 26, priority O1.02.61.
2. Авторское свидетельство СССР № 463096, МКИ & 05В 11/12, приоритет О8.02.72.2. USSR Author's Certificate No. 463096, MKI & 05В 11/12, priority О8.02.72.