SU516903A1

SU516903A1 - Perflectometer

Info

Publication number: SU516903A1
Application number: SU1865319A
Authority: SU
Inventors: Вадим Сергеевич Усов
Original assignee: Московский Институт Инженеров Геодезии Аэрофотосъемки И Картографии (Миигаик)
Priority date: 1973-01-02
Filing date: 1973-01-02
Publication date: 1976-06-05

Description

1one

Изобретение, относитс к пзме 1ительной технике, предназначено дл измерени диаметров валов отверстий м длин концевых :е с прецизионной точностью п может найти применение в машиностроительной и приборе строительной технике. The invention relates to a psm technique, designed to measure the diameters of the shafts of the holes and the end lengths: e with precise precision and can be used in engineering and construction equipment.

Известен перфлектометр, примен емый дл решени аналогичных задач, содержащий свет щиес марки, два объектива, две полупрозрачные пластины и два зеркала, окул р, линзовый компенсатор Cl)Известнъп перфлектометр сложную оптическую систому и сравнительно низкую точность измерений «следствие невысокой точности н.аведепи визтфных осей на- грани концевых мер и кра отверстий измер емых изделий.A perflectometer used for solving similar problems is known. It contains light marks, two lenses, two translucent plates and two mirrors, an eyepiece, a lens compensator Cl) A well-known reflectometer is a complex optical system and a relatively low accuracy of measurements is due to low accuracy. axes of the end face gauges and the edges of the holes of the measured items.

Наиболее близким по технической сущности к данлому изобретг- ппо вл етс перфлектометр , содержашти проекпионный мпкро скоп, выполненный в виде источника света, конденсора, сотки с Niaiwoii, объектива проекционного микроскопа, измерительную ветвь, Г5ключаюц1ую 1И1сроско1т, выполненньп) в виде объ1; ктипа. сетки ;; окул ра 2}. The closest to the technical essence of this invention is a perfolectometer, which contains a projection microscopic scopus, made in the form of a light source, a condenser, a weave with Niaiwoii, a projection microscope objective, a measuring branch, G1 key, 11 M1, made in the form of a volume; ktipa. grids ;; eyepiece 2}.

При перек 5ыт)п) деталью части пучк i л}чей между объектиаакш проекцнонного и измерительного микроскопо на сетке измерительного illкpocкoпa образуетс изображени сетки п(1оекиион гого мпк||ОскЯ1а, lacсматриьаемых в окул р, Сопнаденне изображений , o6pa3ye; Tfiix этими группами пучков .пучей, происходит в гчгомонт. когда пове 1Хность измер емой детали находитс на mj- зирной оси перфлектометра. Обща точ1гость измерений известного перфлектометра слагаетс из точности наведенн визирной осп на границу измер емой детали и точности определени величины ее разг/ера п npi; коллимационном ходе лучо.ч не /достаточно высока .When the switch is 5yt) p) with a part of a part of the beam i l}, between the object of the projection and measuring microscopes on the grid of the measuring illumination, images of the grid n are formed (1 image of the gossamer || OcIa1a, looking at the ocular, Image, o6pa3; when the surface of the measured part is located on the mj-center axis of the reflectometer. The total measurement of a known reflectometer is composed of the accuracy of the measured sight on the boundary of the measured part and the accuracy of determining the values We are talking about her / nppi; the collimation course of the beam.h is not high enough.

Цель изобретени - повыщение точности пзмерений.The purpose of the invention is to increase the accuracy of measurements.

Это достигаетс тем, что 11)1едлагаемый перфлектометр снабжен зеркально-линзовым отражателем, расположоннъ1м по ходу, луче/ за o6beKTHBov; ироекплюннсп-о мик 1н-копа и выполненнь:м в виде; объектива riJiocKoro зеркала, рас1голож:Ниого за ним и обьелмненных в одном к01-М ч:е, а п. - epитeлI..нa ветвь выполнена в виде автоколлимационного окул ра, расположенного между сеткой и объективом проекционного микроскоп и сфокусированного посто нно на переднюю фокальную плокость зеркально-линзового отражател . Такое выполнение перфлектометра позвол ет осуществить автоколлимационный . ход лучей и тем самым повысить вдвое точность измерений. На чертеже показана схема перфлектометра . Перфлектометр содержит источник 1 све та, конденсор 2, сетку 3 с маркой S , светоделительный кубик 4, объектив 5, зер кально-линзовый отражатель 6, выполненный в виде объектива 7 и плоского зеркала 8, сетку 9 и окул р 10, Светоделительпый кубик 4, сетка 9 и окул р 10 образуют автоколлимационмый окул р. Перфлектометр работает следующим образом . Пучок лучей от марки S сетки 3 коиЧлиматорной ветви микроскопа после отражени от полупрозрачной грани светоделительного кубика 4 собираетс объективом 5 в фокальной плоскости объоктива 7 aojv кально-линзового отражател 6 вблизи граничной поверхности объекта 11 измерений. Да.чее oii собираетс объективом 7и Г1а|)аллельным пучком лучей-падает на зеркало 8vi, отразившись от него, внотил собираетс объективом -7 в фокально плос-кости. TaKoii ход лучей имеет место, пока гра Г|1чпо поверх ность издели 11 ИР перокрьшаот лучей между микроскопом и зеуколыю-лин зовым отражате.п, м. При порокрытин част пучков между объектинами 5 и 7 микроск па и зеркально-линзовым отражателем в и ле арен1- Я окул ра 10 по витс второе изо бражение $ марки 5 , образованное отразившимис от тюперхиогти издели 11 затем Б зерка-1ы п-липзовый отражатель 6 и ьноБЬ от поверхности издели 11. 1 ри ка-сании поверхности издели 11 и визирной оси микроскопа оба изоб1:1ажени. со,тьютс в одио что и вл етс критерием правн/шности иаведе ни ВИ31ФНОЙ оси на поворхпость измер емого издели 11. При этом, если пучок , объективами 5 и 7 перек|-)ыт и наблюдаютс два изоб)ажени S марки $ , то рассто ние между пропорционально учетверенной величине смешени иизириоГ; оси относительно граничноГ) поверхности измер емого издели 11. Это и обуслоЕ1ливает вдвое более высокую точность наведепи у предлагаемого перфлектом(1-трр| в сравнении с перфлектометрогч (2). Формула е т е н и Перфлектометр, со,аер каштгн проекционный микроскоп, выполненньй в виде последовательно устаиовле1и Ь х источиш а света, конденсора, сети проекционного микроскопа с маркой, объектива ntJOOKnuofnioro микроскопа , и измерительную ветвь, о т л и ч а ю щ и йс тем, что, с це,;ью повышени точности измерений, он снабжен зер- каль Г -линзовым этрл 1 птеле 1.1г(л10,то: риным по ходу лучей за oiybeKTHijOM ппоокцион- ного микроскопа и выполио ным в виде объектива и плоско1-о зеркала, р;эсполс)женного за ним и объе;аине11ных в о;июм корпусе , а измерите,г1ьна ьотнь ит-.мюлиеиа в виде aBTOKOjuniMannoFnioro ;)кул р-з, расположенного ктежду ceTKOii и объс,кт1во ; n iueK- ционного микроскопа и c;pOKyciipoBaF noro посто нно на переднкэю ф /калл.иую плоскость зеркал1: но-лнизового отра.:-;-пч-;л . Источники ицфор; ;аии11, прин т ь)с во внимание при экспертизе; 1.Авт. св. К 153789, кл. G О1В 11/08, 1962 г, 2.Перфтектометр ф;1р--1ы E. ,1959г Ипостраииып фирменн1ле материалы прототип .This is achieved by the fact that 11) the one provided perflectometer is equipped with a mirror-lens reflector located along the path, on the beam / at o6beKTHBov; iroekhplyunnsp-about mik 1n-kopa and made: m in the form; riJiocKoro lens mirrors, deployed: no one behind it and knocked out in one k01-M h: e, and n. - the epitheliI..na branch is made in the form of an autocollimation ocular located between the grid and the objective of the projection microscope and focused constantly on the front focal smoothness of a mirror-lens reflector. Such an embodiment of the reflectometer allows autocollimation. the course of the rays and thereby double the measurement accuracy. The drawing shows a diagram of the perfolectometer. The reflectometer contains a source of 1 light, a condenser 2, a grid 3 with the S mark, a beam-splitting cube 4, a lens 5, a mirror-lens reflector 6 made in the form of an objective 7 and a flat mirror 8, a grid 9 and an eye of the 10, the splitting cube 4 , the grid 9 and the ocular p 10 form an autocollimation ocular p. Perflectometer works as follows. The beam of rays from the S mark of the grid 3 of the microclimate branch of the microscope, after reflection from the translucent face of the beam-splitting cube 4, is assembled by the objective 5 in the focal plane of the objective lens 7 aojv of the portal lens 6 near the boundary surface of the measurement object 11. Yes. The oii is assembled by the lens 7i G1a |) with an allelic beam of rays — it falls on the 8vi mirror, having reflected from it, the impact is assembled by the –7 lens in the focal plane-bone. TaKoii ray tracing takes place as long as the surface of the product is 11 IR of the percussion of the rays between the microscope and the de-lens lens reflector, m. When porcritin, part of the beams between the objects 5 and 7 of the microscope and the mirror-lens reflector arena-10 oculra 10 on the whits second image of brand 5, formed from the reflector from the product 11, then from the mirror 1, the p-lip reflector 6 and from the surface of the product 11. 1 the surface of the device 11 and the sighting axis of the microscope both images: 1 plus. So, it is in one way that is the criterion of the right / maximum of the V31FNA axis on the rotation of the measured product 11. At the same time, if the beam, with 5 and 7 crossover | -) lenses, two areobases of brand S are observed, then the distance between is proportional to the quadruple mix of Hazard; axes relative to the boundary of the surface of the product being measured 11. This doubles the accuracy of the suggested surface (1-trp | compared to the perfolectrogram) (2). The formula is a Perflectometer, a projection microscope designed with a microscope in the form of successively established sources of light, a condenser, a network of a projection microscope with a mark, an ntJOOKnuofnioro lens of the microscope, and a measuring branch, which means that with a higher accuracy of measurements, it equipped with mirrors G-Lens ettr 1 p body 1.1g (l10, then: rin along the rays behind the oiybeKTHijOM of the pos-sioning microscope and emerging in the form of an objective and a flat mirror, p; espoles) worn behind it and the volume of the body in the center; r1a nao-it-miulieia in the form aBTOKOjuniMannoFnioro;) cool rz, located in each of ceTKOii and obs, kt1vo; n iueK-tion microscope and c; pOKyciipoBaF noro constantly on the front of the mirror / mirror plane of the mirror1: but-sun face.: -; - bee-; l. Sources of Icfor; aii11, taken into account with the examination; 1.Avt. St. K 153789, cl. G O1B 11/08, 1962, 2. Perfectectometer f; 1p - 1s E., 1959 Hypostraiip corporate materials prototype.