SU509548A1

SU509548A1 - Glass

Info

Publication number: SU509548A1
Application number: SU2001785A
Authority: SU
Inventors: Улдис Янович Седмалис; Светлана Ивановна Кобзарь; Гайда Петровна Седмале; Рудольф Августович Цимдинь; Езуп Юрьевич Кокориш; Визма Витола
Original assignee: Рижский Ордена Трудового Красногознамени Политехнический Институт
Priority date: 1974-03-04
Filing date: 1974-03-04
Publication date: 1976-04-05

Description

Изобретение относитс к легкоплавким химически устойчивым (с высокими диэлектрическими показател ми) стеклам, используемым дл зашиты поверхности интегральных микросхем оjt Известно стеклО; вкпючаюшее F fe О, В„О , ZftO, SiO и А1„О . Недостатком О вестного состава вл етса относительно высока температура оплавшени и повышенна склонность к кристгшлиаации, Целью изобретени вл етс снижение температуры оплавлени и склонности к кри сталлизации при сохранении высоких диэлектрических показателей и химической устой- . чивости, Дост гаетсн этс те; znGn нительно содерйшт СУ МоО„,NbpO при следушшеьд со( - ( KOVI- . gQ понэнтов (в вес. %}-. Jо 0,1-2 CcIO 0,1-10 MoO Шихта дл варки стекла содержит химисеские реактивы марок J и Чда (ввес,ч) РЬО 66,3-85,7; 14,2-35,6; ZflO 0,,1; С«гО 0,1-10,2; SiO;, 0,,-1 0,1-2,1; и О 0,5-3; vVO 0,5-5,1; МоС„ 0,5ОО НЬ,.,0 ОД-ЗД, Варкб стекпа проиЗЕОднтс по общепри тому/ способу при 9ОО-10ОО С без выержки , Стекло Kfv5-Sc-T следующие характеристики. клонность к крйсталлк -ацни ( выдержкаThis invention relates to low-melting, chemically resistant (with high dielectric indices) glasses used to protect the surface of integrated microcircuits. including F fe O, B „O, ZftO, SiO and A1„ O. The disadvantage of the known composition is the relatively high temperature of the melt and the increased tendency to crissclatation. The aim of the invention is to reduce the melting temperature and tendency to crystallization while maintaining high dielectric properties and chemical resistance. readability; znGn is relatively content of SU Moo ", NbpO with the following s (- (KOVI-. gQ ponant (in wt.%) -. Jо 0.1-2 CcIO 0.1-10 MoO The mixture for glass melting contains chemicals of brands J and Chda (weight, h) PbO 66.3-85.7; 14.2-35.6; ZflO 0,, 1; С "гО 0.1-10.2; SiO ;, 0, - 1 0, 1-2,1; and O 0,5-3; vVO 0,5-5,1; MoС "0,5OO НЬ,., 0 ОД-ЗД, Varkb stekap proizOEdnts by common volume / method at 9OO-10OO С without cut, Kfv5-Sc-T Glass has the following characteristics. Clarity to crystal sticks (excerpt

порошка стекла с размером зерен менееglass powder with a grain size less than

6О мк в интервале температур ЗОО-бОО-С6O microns in the temperature range ZOO-bOO-S

в течение 4 час) не кристаллизуетс within 4 hours) does not crystallize

280-320280-320

Температура разм гчени , С Температура оплавлени Softening temperature, C

порошка стекла с размеромglass powder with a size

зерен пор дка 0,1 мк вgrains on the order of 0.1 microns

4ОО-45О4OO-45O

пленку,film

Коэффициент линейного термического рйсрирени (КТР) вCoefficient of linear thermal radiation (CTE) in

-1 {70-85 ) интервале температур ЗОО-6ОО°С -1 {70-85) temperature range ZOO-6OO ° C

интервале 2О-ЗОО С, град Диэлектрическа проницаемость при 2О С и частоте 2О Тангенс угла диэлектрических потерь при 20°С и частоте 1 кГц0,01 Химическа устойчивость ( потер веса в % при кип чении зерен стекла с размером частив О,3-О,5 мм в дистиллированной воде в течение 1 ,О5 Пример. Стекло состава (в РЬО 68,0interval 2O-ZOO C, hail Dielectric permeability at 2 ° C and frequency 2O Tangent of dielectric loss at 20 ° C and frequency 1 kHz 0.01 Chemical stability (weight loss in% during boiling of glass grains with a particle size of O, 3-O, 5 mm in distilled water for 1, O5 Example. Glass composition (in PHO 68.0

QСтекло имеет следующие характеристики:Glass has the following characteristics:

Claims

Crystallization tendency, not. Crystal Softening temperature, ° С - 295 Melting point temperature of glass powder with grain size in the order of O, 1 ° -430 V film, C KTRIgrad - 76 1O Dielectric permeability at 20 ° C and frequency 1 kHz dielectric loss at 20 C and a frequency of 1 kHz O, 1 The claims of the invention Glass, including P O O, B O, ZfiO, SiO, A1 “O”, characterized by “i.2 o heme. that, in order to reduce the tendency to crista-lliation and reflow temperature, it additionally contains Cct O, C and O,