SU494854A1

SU494854A1 - Device for measuring the diameter of an electron beam

Info

Publication number: SU494854A1
Application number: SU1832839A
Authority: SU
Inventors: Владимир Ильич Бабьяк; Ионель Михайлович Каневский; Александр Милетьевич Коломацкий; Евгений Владимирович Сказочкин
Original assignee: Предприятие П/Я В-8117
Priority date: 1972-10-02
Filing date: 1972-10-02
Publication date: 1975-12-05

Description

1one

Изобретение относитс к электронно-лучевым приборам и может быть использовано дл измерени диаметра луча в электроннолучевых технологических и измерительных устройствах.The invention relates to electron-beam devices and can be used to measure the diameter of a beam in electron-beam process and measurement devices.

Известны устройства дл из-мерени диаметра электронного пучка с высокой удельной мощностью в кроссовере, содержащие систему отклонени электронного луча, двухэлектродный коллектор электронов, один из электродов которого выполнен в виде калиброванной щели или кромки из тугоплавкого металла , и систему регистрации с электронно-лучевым индикатором на выходе.Devices are known for measuring the diameter of an electron beam with a high power density in a crossover, comprising an electron beam deflection system, a two-electrode electron collector, one of the electrodes of which is made in the form of a calibrated slot or refractory metal edge, and a registration system with an electron-beam indicator output

Существенными недостатка-ми известной системы вл ютс ее неоперативность из-за сложности и длительности каждого отсчета, об зательное участие оператора в процессе измерени , т. е. отсутствие полиой автоматизации работы установки.Significant disadvantages of the well-known system are its inoperability due to the complexity and duration of each reference, the obligatory participation of the operator in the measurement process, i.e., the lack of automation of the plant operation.

В предложенном устройстве указанные недостатки устранены за счет выполнени системы регистрации в виде последовательно соединенных преобразовател длительности фронта имнульса, эквивалентного диаметру луча, в последовательность импульсов, счетчика импульсов и системы цифровой индикации количества сосчитанных импульсов. Параллельно системе индикации к выходам разр дов счетчика подключена схема сравнени , на вторую половину входов которой подаетс код заданного значени диаметра луча.In the proposed device, these drawbacks are eliminated due to the implementation of the registration system in the form of serially connected converters of the duration of the front of an impulse equivalent to the diameter of the beam in a sequence of pulses, a pulse counter and a system of digital indication of the number of counted pulses. Parallel to the display system, a comparison circuit is connected to the outputs of the counter bits, to the second half of the inputs of which a code of a predetermined beam diameter value is fed.

Устройство дл измерени диаметра электронного луча содержит отклон ющую электронный луч систему 1, генератор пилообразного напр жени 2, коллектор электронов 3, формирователь 4 пр моугольного импульса,A device for measuring the diameter of an electron beam comprises an electron deflecting system 1, a sawtooth generator 2, an electron collector 3, a square pulse shaper 4,

равного по длительности фронту импульса с нагрузки коллектора, преобразователь 5 пр моугольного импульса в последовательность импульсов фиксированной частоты следовани , генератор 6 импульсов фиксированнойequal in duration to the front of a pulse from a collector load, converter 5 of a rectangular pulse into a sequence of pulses of a fixed following frequency, generator of 6 pulses of a fixed

частоты следовани , счетчик 7, дешифратор 8, цифровой индикатор 9, схему сравнени 10, синхронизатор 11 работы счетчика и генератора пилообразного напр жени .following frequencies, counter 7, decoder 8, digital indicator 9, comparison circuit 10, synchronizer 11 of the counter and sawtooth generator.

Устройство работает следующим образом. Снимаемый с нагрузки одного из электродов коллектора 3 импульс, возникающий при сканировании электронным лучом поперек щели во врем работы генератора пилообразного напр жени 2 на отклон ющую систему 1, преобразуетс формирователем 4 в пр моугольный импульс, длительностью равный длительности фронта импульса с нагрузки коллектора. Уровень индикации в процентахThe device works as follows. A pulse removed from the load of one of the collector electrodes 3, which occurs when an electron beam is scanned across the slot during operation of the sawtooth generator 2 to the deflection system 1, is converted by shaper 4 into a rectangular pulse with a duration of the collector load. Indication level in percent

от значени тока луча на оси регулируетс .on the value of the beam current on the axis is adjustable.

В течение этой длительности нреобразователь 5 пронускает импульсы импульсного генератора 6 на вход счетчика 7. С выходов разр дов счетчика параллельный двоичный код, эквивалентный чнслу сосчитанных имнульсов, поступает на дешифратор 8 и индицируетс на цифровых индикаторах 9. С тех же выходов счетчика 7 параллельный двоичный код поступает на схему сравнени 10, на вторую половину которой поступает код заданного значени диаметра луча. В случае совпадени измер емого и заданного диаметров луча выходной сигнал сравнени вл етс сигналом , останавливающим изменение диаметра в режиме автоматического регулировани работы установки.During this duration, the converter 5 transmits pulses of the pulse generator 6 to the input of the counter 7. From the outputs of the counter bits, a parallel binary code equivalent to the count of mixed pulses goes to the decoder 8 and is displayed on the digital indicators 9. The same outputs of the counter 7 parallel binary code enters the comparison circuit 10, the second half of which receives the code of the specified value of the beam diameter. In the case of coincidence of the measured and specified beam diameters, the output output of the comparison is a signal stopping the change in diameter in the mode of automatic control of the plant operation.

4 Предмет изобретени 4 Subject of the invention

Устройство дл измерени диаметра электронного луча, содержащее систему отклонени , коллектор электронов и систему регистрации , отличающеес тем, что, с целью автоматизации процесса измерени , система регистрации выполнена в виде последовательно соединенных преобразовател длительности фронта импульса, эквивалентного диаметру луча, в последовательность импульсов, счетчика импульсов и системы цифровой индикации количества сосчитанных импульсов, параллельно которой к выходам разр довA device for measuring the diameter of an electron beam containing a deflection system, an electron collector and a recording system, characterized in that, in order to automate the measurement process, the registration system is designed as a series-connected pulse front converter equivalent to the diameter of a beam into a sequence of pulses, a pulse counter and systems for digital indication of the number of counted pulses, in parallel to which to the outputs of bits

счетчика подключена схема сравнени , на вторую половину входов которой подаетс код заданного значени диаметра луча.The counter is connected to a comparison circuit, the second half of the inputs of which are fed with the code of the specified value of the beam diameter.