SU484267A1

SU484267A1 - Electric arc evaporator

Info

Publication number: SU484267A1
Application number: SU1985819A
Authority: SU
Inventors: Юрий Васильевич Кириченко; Юрий Гаврилович Юков
Original assignee: Предприятие П/Я М-5612
Priority date: 1974-01-03
Filing date: 1974-01-03
Publication date: 1975-09-15

Description

1one

Изобретение относитс к области нанесени покрытий в вакууме.The invention relates to the field of vacuum coating.

Известен электродуговой испаритель, содержащий анод, катод, экран, поджигаюш,ий электрод и источник питани электродуги. Однако при поджигании дуги в таком испарителе часто происходит приварка поджигающего электрода к катоду.The arc evaporator is known, which contains an anode, a cathode, a screen, a fire, an electrode and a power source for the electric arc. However, when the arc is ignited in such an evaporator, welding of the igniter electrode to the cathode often occurs.

В цел х повышени надежности работы предлагаемый испаритель снабжен электромагнитом , корь которого механически св зан с поджигающим электродом, а обмотка включена в цепь анод-поджигающий электрод .In order to increase the reliability of operation, the proposed evaporator is equipped with an electromagnet, the measles of which is mechanically connected with the ignition electrode, and the winding is connected to the anode-ignition electrode circuit.

На чертеже показан электродуговой испаритель . Он содержит катод 1 с экраном 2, поджигающий электрод 3, который через изол ционную втулку 4 прикреплен к корю электромагнита 5, снабженного возвратной пружиной 6. Обмотка электромагнита электрически св зана с поджигающим электродом и анодом 7.The drawing shows an arc evaporator. It contains a cathode 1 with a screen 2, a firing electrode 3, which through an insulating sleeve 4 is attached to the core of an electromagnet 5 equipped with a return spring 6. The winding of the electromagnet is electrically connected to the ignition electrode and the anode 7.

Электродуговой испаритель размещен в вакуумной камере (на чертеже не показана) и питаетс от источника питани электродуги посто нного тока.The electric arc evaporator is placed in a vacuum chamber (not shown in the drawing) and is powered from a power source by a direct current electric arc.

При включении источника питани элекгродуги или при погасании электродуги в процессе эксплуатации между катодом и анодом устанавливаетс напр жение холостогоWhen the electric power source is turned on or when the electric arc is extinguished during operation, a voltage of idle is established between the cathode and the anode

хода источника питани электродуги. По цепи катод-поджигающий электрод--обмотка электромагнита-анод течет ток, величина которого достаточна дл срабатывани электромагнита . Якорь вт гиваетс в катушку, сжима пружину 6. При этом поджигающий электрод, прикрепленный к корю, перемеща сь , разрывает цепь тока с катодом. Момент размыкани сопровождаетс током самоипдукции с обмотки электромагнита, который возбуждает кратковременный разр д в образовавшемс зазоре между электродом и катодом, поджигающий электродугу. Так как цепь тока через электромагнит вthe course of the power source of the arc. A cathode-ignition electrode is applied to the circuit — a coil of an electromagnet — the anode is flowing a current, the magnitude of which is sufficient to operate the electromagnet. The armature is pulled into the coil, compressing the spring 6. In this case, the igniting electrode, attached to the pole, moving, breaks the current path to the cathode. The opening moment is accompanied by a self-induction current from the winding of an electromagnet, which excites a short-term discharge in the resulting gap between the electrode and the cathode, which ignites the arc. Since the current circuit through the electromagnet in

этот момент прервана, возвратна пружина перемещает корь с электродом в исходное состо ние, при котором электрод замыкаетс с катодом, образу снова цепь тока катод- электрод-электромагнит-анод.this moment is interrupted, the return spring moves the measles with the electrode to the initial state, in which the electrode closes with the cathode, forming again the cathode – electrode – electromagnet – anode current circuit.

Предмет изобретени Subject invention

Электродуговой испаритель, содержащий анод, катод, экран, поджигающий электрод и источник питани , отличающийс тем, что, с целью повыщени надежности работы, он снабжен электромагнитом, корь которого механически св зан с поджигающим электродом , а обмотка включена в цепь анод-поджигающий электрод.An electric arc evaporator containing an anode, a cathode, a screen that ignites the electrode and a power source, characterized in that it is equipped with an electromagnet, the measles of which is mechanically connected to the ignition electrode, and the winding is connected to the anode-ignition electrode.