SU475685A1

SU475685A1 - Quadrupole mass spectrometer sensor

Info

Publication number: SU475685A1
Application number: SU1033789A
Authority: SU
Inventors: Михаил Львович Любимов; Владлен Ильич Сергеев
Priority date: 1965-10-22
Filing date: 1965-10-22
Publication date: 1975-06-30

Description

адгезию к стеклу (на фиг. 2 и 4 показана пунктиром ). Эту пленку вывод т также на донышко и переходное за кругление большого цилиндрического раструба (фиг. 3), где к ней прижимаютс четыре контактные пружинки 12, соединенные с вы.водами 1-4. Промежутки между цилиндрическими поверхност ми (д-е, ж-з, и-к, л-г) не имеют провод щего сло и служат изол торами между электропровод щими пленками. Т ким образом создаютс четыре электрода квадрупол и их выводы . Диафрагмы 13 и 14 источника ионов смонтирова-ны на выходной линзе 15, в которой они центрируютс и крен тс при помощи керамических изол торов 16 и 17 и точных заклепок 18. Линза 15 центрируетс цилиндрической частью п раструбе колбы на скольз щей носадке . Б.чагодар этому вс система линз устацавливаетс коаксиально квадрупольной части колбы с высокой точностью.adhesion to glass (in Fig. 2 and 4 shown by the dotted line). This film is also brought to the bottom and the transitional rounding of a large cylindrical socket (Fig. 3), where four contact springs 12 connected to outputs 1-4 are pressed against it. The gaps between the cylindrical surfaces (g, ff, g, lk, lf) do not have a conductive layer and serve as insulators between electrically conductive films. Four quadrupole electrodes and their outputs are created in this way. The diaphragms 13 and 14 of the ion source are mounted on the output lens 15, in which they are centered and rolled using ceramic insulators 16 and 17 and precision rivets 18. The lens 15 is centered by the cylindrical portion of the flask on the sliding nozzle. B. This whole lens system is coaxial to quadrupole part of the flask with high accuracy.

Линзы соединены проводниками с соответствующ1ими выводами. К двум таким же вводам присоединен катод (вид В).The lenses are connected by conductors with the corresponding leads. A cathode is connected to the same two inputs (type B).

К цилиндрическому раструбу колбы в области ионного источника припа н цилиндрический патрубок И дл присоединени прибора к объекту исследовани . Диаметр патрубка должен быть достаточно велик дл быстрой откачки внутренней нолости колбы. Дл облегчени откачки средней части прибора все линзы снабжаютс отверсти ми 19.A cylindrical port I was attached to the cylindrical bell of the flask in the area of the ion source to connect the instrument to the object of study. The diameter of the nozzle must be large enough for rapid evacuation of the internal bottom of the flask. To facilitate pumping out the middle of the device, all lenses are provided with apertures 19.

Коллектор ионов, нредста в-т ющип собой изолированный электрод 20, и заземленный экран 21 размешены в мало.м цилиндрическом раструбе колбы и нрисоедннены соответственно к выводам 9 и 9.The ion collector, the insulated electrode 20 itself, and the grounded shield 21 are placed in a small cylindrical bell of the flask and are drawn respectively to pins 9 and 9.

При откачке испытуемого объекта датчик фильтра масс может быть обезгажен нагреванием до температуры более низкой чем температура начала разм гчени стекла. Поэтому колбу необходимо изготовл ть 1з туго0 плавкого стекла с температурой разм гчени 700-.800°С.When pumping a test object, the mass filter sensor can be outgrown by heating to a temperature lower than the temperature of the beginning of glass softening. Therefore, the flask needs to be manufactured in 1 out of tightly fusible glass with a softening temperature of 700-800 ° C.

Линза 15 и экран 21 должны быть сделаны из металла с коэффициентом теплового )ас5 ширени , близким к коэффициенту теплового расширени стекла колбы.Lens 15 and screen 21 should be made of metal with a coefficient of heat width as close to the coefficient of thermal expansion of the glass of the flask.

Присоедин ют патрубок 11 к объекту испытани любым из извec ыx способов.Pipe 11 is attached to the test object in any of the conventional ways.

00

Предмет изобретени Subject invention

Датчик квадрунольного масс-спектрометра, содержащий источник ионов, коллектор ионов, анализирующую систему и оболочку, отлича5 ющийс тем, что, с целью увеличени точности центровки и упрои;е ш конструкции, в качестве анализирующей системы использована средн часть диэлектрической оболочки прибора , которой придана требуема форма, на0 пример крестообразна , с нанесенным на рабочие участки электропровод щим слоем.A quadrupole mass spectrometer sensor containing an ion source, an ion collector, an analyzing system, and a shell, characterized in that, in order to increase the centering accuracy and simplify the construction, the middle part of the device’s dielectric shell, which is attached to it, is used as an analyzer the form, for example, is cross-shaped, with an electrically conductive layer applied to the working areas.

I i // I I / I t/ff fue.fI i // I I / I t / ff fue.f

АBUT