SU470012A1 - Устройство дл юстировки ионного источника - Google Patents

Description

Известны параллелограммные механизмы перемещени  дл  юстировки ионного источника . Эти механизмы имеют сложную конструкцию , поскольку содерл ат скольз щие или подшипниковые пары в шарнирах. Наличие шарниров, кроме того, приводит к возникновению «свободного хода в механизме и неточности установки источника. Цель изобретени  - упрощение конструкции устройства и повышение точности установки источника ионов. Поставленна  цель достигаетс  за счет того, что рычаги параллелограмма выполнены в виде плоских упругих элементов, а регулировочные механизмы установлены независимо: один между промежуточной и опорной платформами , а другой - между промежуточной и несущей платформами. На чертеже показано предложенное устройство . Устройство дл  юстировки ионного источника содержит опорную платформу 1,  вл ющуюс  основанием источника ионов. Собственно источник закреплен на несущей платформе 2 па штапге 3. Несуща  платформа имеет две степени свободы перемещени  в двух взаимно перпендикул рных направлени х. Промежуточна  подвижна  платформа 4, имеюща  одну степень свободы перемещепи , св зана с помощью двух упругих элементов 5, расположеиных по обе стороны от штанги, с основанием и с номощью аналогичных двух элементов- с несущей платформой. Упругие элемеиты соединены с платформами жестко (сваркой или пайкой). Регулировочные механизмы 6 и 7, слул ;ащие дл  взаимно перпендикул рного независимого перемещени  штанги источника, расположены: один - между опорной и промежуточной платформами, другой - между промежуточной и несущей платформами. Устройство работает следуюи нм образом. При работе регулировочного механизма 7 платформа 2 перемещаетс  относительно промежуточной платформы 4 н, следовательно, относительно опорной платформы 1. Прп этом щтанга источника ионов перемещаетс  в одном из направлений. При работе регулировочного механизма 6 промежуточна  платформа 4 перемен1,аетсп относительно опорной 1 и, следовательно, происходит перемещение платформы 2 и щтанги источника в другом, перпендикул рном по отношению к первому, направлении. Предмет изобретени  Устройство д.т  юстировки ионного источника , выполненное в виде двойной параллелограммной подвески, содержашее иесущую, промежуточную и опорную платформы, ры3

чаги, регулировочные механизмы, отличающеес  тем, что. с целью упрощени  конструкции и повыщени  точности, рычаги вынолнены в виде плоских упругих элементов, а регулировочные механизмы установлены независимо: один - между промежуточной и опорной , а другой - между промежуточной и несущей платформами.