(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ТОНКИХ МАГНИТНЫХ ПЛЕНОК датчика без пленки настраиваетс ни рез нансную частоту, большую, чем частота генератора. После установки пленки j 3Oнансна частота датчика 5 смещаетс в сторону частоты генератора. В цепи катушки датчика протекает высокочастотный тсж создающий слабое пробное поле. При перемагничивании пленки внешним низкочастотным полем, приложенным перпе дикул$фно к высокочастотному пробнс 4у полю , напр жение высокой частоты в измерительной катушке датчика будет измен тьс щ опс ционально дифференциальной проницаемости образца магнитной пленки. С датчика 5 напр жение высокой частоты поступает в схему формировател опорного напр жени , состо5пцую из .-последовательно соеди ненных селективного усилител 1, фазовращател 2 и собственно формировател опор ного напр жени 3, и затем в симметричный коммутационный фазовый детектор 7. По второму каналу с датчика 5 напр жение высокой частоты поступает на линейный усилитель 6 и затем в симметричный коммутационный фазовый детектор 7. Фазовый детектор по оравнению с ампйитудным детектсфом имеет большую помехоустойчивость к внешним электрическим и магни-рным пол м. Преобразс анный сигнал с вы хода фазового детектора подаетс на фильт ;низк частоты 8. Фильтр низкой частоты задерживает паразитный спектр частот, Iпо вл ющийс в результате демодул ции. С выхода фильтра низкой частоты нацр51жевне аоступвет ва усилитель посто нного то ка 9. Нлшр жекие низкой частоты, несущее информ шпо о дифференциальной проницаемости , с выхода усилител посто н- него том 9 пвступает на вход У осциллографа 13. В зависимости от положени (лвкки относительно намагничивающего низкочжстотного пол осциллограмма будет отображать завмсимость дифференциальнбй магшп ой првШ1наемости от напр женное стк пол в направлении оси легкого или трудного намагничивани . С выхода фильтра tatsKoA частоты 8 напр жение сигнала подаетс также ва пиковый преобразсжа тель 11. Выходвое напр жение преобразовател измер етс мостовой балансной схемой/ со стрелочньм индикатором 12 в ее диагсжал , прокалиброванным в величинах дифференциальной магнитной прошшаемо-; стн. Фазовращателем 2 схемы опорного напр жени ликвидируетЬ фазовый сдвиг между опорным напр женнем, поступающим на фазовый детектор, и высокочастотным в ф жением сигнала, поступающим с дат чнка 5 на фазовый детектор 7. С фазовращател ,2 нецф иение частоты поступает в формирователь опорного напр жени 3, где формируетс напр жение требуемой амплитуды в меандра из синусоидального напр жени . С выхода формировател опорнса о напр жени 3 напр жение поступает на фазовый детектор 7. Дл создани нешр жени развертки поторизсшталй примен етс низкочастотный трансформатор 14 и фазокс ектирующа КС-цепочка. Напр жение с фазоксрректирующей цепочки, пропорциональное току перемагничивани подаетс на вход X осциллографа 13. Калибратор 15 напр женности перемагничивающего пол вырабатывает импульсы, которые поступают на вход У осциллографа 13. Калибратор 16 величины дифференциальной проницаемости вырабатьтает калибрационные метки в виде уровней, которые подаютс затем на вход У осциллографа. При измере- НИИ параметров магнитной пленки, имеющей очень малый объем примен етс трехкоординатное устройство 17 дл компенсации магнитного пол земли. Предмет изобретени Устройство дл измерени параметров тонких магнитных пленок, содержащее последовательно соединеннь4е генератор высокой частоты, датчик измерительного пол с помещенным в катушке датчика исследуемым образцом пленки и линейный усили тель, катущки Гельмгольца, низкочастотный трансформак, а также калибраторы напр женности магнитного пол и дифференциальной магнитной проницаемости, своими выходами подключенные к входу осциллографа, ; св занному через усилитель посто нного тока.с одним выходом фильтра низкой частоты , другой выход которого через пиковый преобразователь соединен со стредрчным прибором, о т л и ч а ю е с тем, что, с целью повышени точности измерени , оно снабжено последовательно соединенными селективным усилителем, фазовращателем , формирователем опорного напр$1жени и симметричным коммутационным фазовым детектором, другой .котофого подключен к выходу линейного усилител , а выход - к входу фильтра низкой частоты, причем вход селективного усилител соединен с выходом датчика измерительного пол .