SU459693A2

SU459693A2 - Semiconductor converter of mechanical quantities

Info

Publication number: SU459693A2
Application number: SU1844993A
Authority: SU
Inventors: Николай Илларионович Фирсов; Валерий Юльевич Кальпус; Владимир Степанович Шадрин
Original assignee: Новосибирский электротехнический институт
Priority date: 1972-11-10
Filing date: 1972-11-10
Publication date: 1975-02-05

Description

1one

Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл преобразовани механических величин, например давлений, ускорений, перемещений, в электрические величины.The invention relates to a measurement technique and can be used to convert mechanical quantities, such as pressures, accelerations, displacements, into electrical quantities.

По основному авт. св. № 324524 известен полупроводниковый преобразователь механических величин в электрические, содержащий пластины из полупроводникового материала и расположенный между ними слой металла, выполн ющий роль третьего токовывода. Предлагаемый полупроводниковый преобразователь механических величин отличаетс от известного тем, что он снабжен дополнительной пластиной с р-п-переходом и провод щим слоем, через который пластина св зана с преобразователем , а свободный конец пластины св зан через измерительный прибор с минусом источника питани .According to the main author. St. No. 324524 is known a semiconductor converter of mechanical quantities into electrical ones, containing plates of semiconductor material and a metal layer located between them, which performs the role of a third output terminal. The proposed semiconductor transducer of mechanical quantities differs from the known one in that it is equipped with an additional plate with a pn-junction and a conductive layer through which the plate is connected to the transducer and the free end of the plate is connected through a measuring device with a minus power source.

На чертеже изображена схема предлагаемого преобразовател .The drawing shows a diagram of the proposed Converter.

Преобразователь содержит три р-п-перехода I-3, причем переходы 2 и 3 смещены в пр мом направлении и вл ютс компенсационными , а переход 1 вл етс основным и смещен в обратном направлении до области пробо . Между переход а ми имеютс провод щие слои 4 и 5, представл ющие собой сплав Аи с Si и сплав А1 с Si. Два токовывода 6 и 7 изготовле ы нанесением никел с последующим его вжиганием. Токовывод 6 соединен с плюсом источника питани , а токовывод 7 - с измерительным прибором. При увеличении температуры вольтамперпа характеристика пр мо смещенных р-п-п&реходов 2 и 3 сдвигаетс в область малых напр жений , а вольтамперна характеристика обратно смещенного 7-л-перехода 1 сдвигаетс в область больших напр жений дл случа The converter contains three pn junctions I-3, with transitions 2 and 3 shifted in the forward direction and are compensatory, and transition 1 is the main one and shifted in the opposite direction to the sample area. Between the transitions there are conductive layers 4 and 5, which are Au alloy with Si and Al alloy with Si. Two terminals 6 and 7 are made by applying nickel followed by firing. The current lead 6 is connected to the power supply plus, and the current lead 7 is connected to the measuring device. As the temperature of the voltamper increases, the forward bias characteristic of ppn & 2 and 3 rods shifts to low voltages, and the volt – ampere characteristic of the reverse biased 7 l junction 1 shifts to high voltages

лавинного пробо . Параметры р-л-переходов подобраны таким образом, чтобы суммарный температурный коэффициент напр жени пр мо смещенных переходов по абсолютной величине равн лс температурному коэффициенту напр жени обратно смещенного перехода . Преобразователь обеспечивает практически независимый выходной сигнал от температуры в диапазоне температур от -50 до + 120С.avalanche sampling. The p-j-transition parameters are selected so that the total temperature coefficient of the voltage of the direct biased transitions in absolute value is equal to the temperature coefficient of the voltage of the reverse-biased transition. The converter provides an almost independent output signal from a temperature in the temperature range from -50 to + 120С.

Предмет изобретени Subject invention

Полупроводниковый преобразователь механических величин по авт. св. 324524, отличающийс тем, что, с целью улучшени Semiconductor converter of mechanical quantities according to ed. St. 324524, characterized in that, in order to improve

термокомпенсации, он снабжен дополнительной пластиной с ;7-п-переходом и провод щим слоем, через который пластина св зана с преобразователем , а свободный конец пластины св зан через измерительный прибор с минусом источника питани .thermal compensation, it is provided with an additional plate with a 7-n junction and a conductive layer through which the plate is connected to the transducer, and the free end of the plate is connected through a measuring device with a minus power source.

2 35 i2 35 i