SU453566A1 - Устройство для измерения физических параметров тонких поверхностных пленок - Google Patents
Устройство для измерения физических параметров тонких поверхностных пленокInfo
- Publication number
- SU453566A1 SU453566A1 SU1849664A SU1849664A SU453566A1 SU 453566 A1 SU453566 A1 SU 453566A1 SU 1849664 A SU1849664 A SU 1849664A SU 1849664 A SU1849664 A SU 1849664A SU 453566 A1 SU453566 A1 SU 453566A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- measurement
- physical parameters
- thin surface
- surface films
- transducer
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к области неразрушающих методов контрол и может быть использовано в толщинометрии, например, дл неирерывного контрол толщины или поверхностного сопротивлени напыленного сло , наносимого на конденсаторные диэлектрики, в процессе вакуумной металлизации.
Известное устройство дл измерени физических параметров тонких поверхностных пленок содержит генератор, токовихревой преобразователь , емкостной преобразователь, усилитель и индикатор.
Однако в известном устройстве необходимо заземление электронровод щего сло , что снижает надежность контрол , особенно при непрерывном контроле движущегос издели . Кроме того, нанр жение, сннмаемое с емкостного преобразовател , компенсирует часть напр жени , снимаемого с токовихревого преобразовател .
Дл повыщени надежности контрол иредлагаемое устройство снабжено донолнительной индуктивностью, емкостной преобразователь выполнен в виде двух пластин, расположенных в рабочей торцовой поверхности токовихревого преобразовател , и образует с дополнительной индуктивностью колебательный контур.
На чертеже изображена блок-схема предлагаемого устройства.
К одному из выходов генератора 1 последовательно подключены эмиттерный повторитель 2, токовихревой нреобразователь 3, эмиттерный повторитель 4, усилитель 5, амплитудный детектор 6, усилитель 7 посто нного тока , на выходе которого включен индикатор 8. К другому выходу генератора 1 нодключен эмиттерный повторитель 9 иемкостной преобразователь 10.
Устройство работает следующи.м образом. Накладной токовихревой преобразователь 3 питаетс от генератора I через эмиттерный повторитель 2. Сигнал с токовихревого преобразовател через эмиттерный повторитель 4,
усилитель 5, амплитудный дектор 6 и усилитель 7 посто нного тока поступает на индикатор 8. Емкостной преобразователь 10 питаетс также от генератора 1 через эмиттерный повторитель 9.
Вихревые токи, индуцируемые в провод щем материале полем емкостного преобразовател 10, сдвинуты на 180° относительно вихревых токов, индуцируемых токовнхревым преобразователем 3, вследствии чего достигаетс положение , когда результирующее поле токовихревого преобразовател , а следовательно, и выходное нанр жение на нем прн изменении величины зазора в некотором диапазоне остаетс неизменным.
Предмет изобретени
Устройство дл измереЕ1и физических иараметров тоиких иоверхностных плеиок, содержащее геиератор, токовихревон преобразователь , емкостной преобразователь, усилитель и индикатор, отличающеес тем, что, с
целью повыщени надежности контрол , оно снабжеио доиолнительиой индуктивностью, емкостной иреобразователь выиолнен в виде двух пластин, расположенных в рабочей торцовой поверхности токовихревого преобразовател , и образует с доаолнителыюй индуктивностью колебательный контур.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1849664A SU453566A1 (ru) | 1972-11-17 | 1972-11-17 | Устройство для измерения физических параметров тонких поверхностных пленок |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1849664A SU453566A1 (ru) | 1972-11-17 | 1972-11-17 | Устройство для измерения физических параметров тонких поверхностных пленок |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU453566A1 true SU453566A1 (ru) | 1974-12-15 |
Family
ID=20532982
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU1849664A SU453566A1 (ru) | 1972-11-17 | 1972-11-17 | Устройство для измерения физических параметров тонких поверхностных пленок |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU453566A1 (ru) |
-
1972
- 1972-11-17 SU SU1849664A patent/SU453566A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4086528A (en) | Capacitive transducers | |
| US3928796A (en) | Capacitive displacement transducer | |
| US3781672A (en) | Continuous condition measuring system | |
| MX9201923A (es) | Medicion dinamica y sin contacto del desplazamiento o de la permitividad mediante el uso de un detector capacitivo. | |
| RU93057194A (ru) | Способ безконтактного измерения в динамическом режиме смещения или диэлектрической постоянной с помощью емкостного датчика | |
| RU96103368A (ru) | Способ бесконтактного динамического измерения диэлектрической постоянной с помощью емкостного датчика | |
| GB1246893A (en) | A phase adjust circuit for use in non-contact eddy current instruments | |
| GB1406644A (en) | Measuring system for non-destructive thickness measurement of electrically non-conductive coating on electrically conductive bodies | |
| US3619805A (en) | Noncontacting displacement transducer including an oscillator with cable-connected inductive probe | |
| SU453566A1 (ru) | Устройство для измерения физических параметров тонких поверхностных пленок | |
| DE338966T1 (de) | Wegmess-sensor. | |
| KR840006076A (ko) | Rf 전력계 | |
| SU379826A1 (ru) | ||
| SU427292A1 (ru) | Емкостной датчик | |
| SU461303A1 (ru) | Устройство дл измерени крена | |
| SU974098A1 (ru) | Емкостный датчик перемещени | |
| SU120927A1 (ru) | Способ измерени интенсивности ультразвука в жидкост х | |
| SU456976A1 (ru) | Способ измерени неровностей профил поверхности | |
| SU495948A1 (ru) | Емкостный датчик дл определени дефектов электропровод щих волокон | |
| JPS55144557A (en) | Surface potentiometer | |
| SU580523A1 (ru) | Устройство дл измерени переходного стпротивлени контактов скоростных систем | |
| SU1663405A1 (ru) | Способ определени деформаций в изделии | |
| SU901864A1 (ru) | Устройство дл измерени давлени | |
| SU529361A1 (ru) | Устройство дл измерени рассто ни между двум элементами | |
| SU761832A1 (ru) | Способ измерения линейного размера изделия с поверхностным слоем из другого материала и устройство для его осуществления |