SU449267A1 - Ионизационный манометр - Google Patents

Description

1°

Изобретение относитс  к области измеительной техники, в частности к ионизационным манометрам.

Известны ионизационные манометры, соержащие модул тор тока эмиссии катода, 5 ыполненный в виде дополнительного электрода . В таких манометрах о величине давлени  суд т по величине переменной составл ющей ионного тока коллектора.

Однако при измерени х в услови х ва- ю куумного испарени  материалов дополнительный электрод ионизационного манометрического преобразовател  может запыл тЪс  диэлектрическим материалом. В св зи с этим измен етс  закон модул ции, измен - 15 етс  чувствительность преобразовател  и понижаетс  точность измерени  давлени .

В предлагаемом ионизационном манометре , содержащем манометрический преобразователь , источник питани , стабилизатор 20 тока эмиссии, усилитель ионного тока и егистратор, модул тор тока эмиссии катода выполнен в виде источника управл ющих электрических однопол рных импульсов за- данной длительности и частоты и блокирую- 25

щего устройства, св занного с коллектором при этом выход источника управл ющих электрических импульсов подключен к стабилизатору тока эмиссии и второму входу блокирующего устройства, выход которого соединен с усилителем ионного тока.

На фиг. 1 представлена блок-схема манометра; на фиг. 2 - графики сигналов и токов в цеп х манометра.

Манометр состоит из ионизационного манометрического преобразовател  1, содержащего анод 2, катод 3 и коллектор 4, стабилизатора тока эмиссии 5, соединенного с катодом 3, блокирующего устройства 6, подключенного к коллектору 4, и источника управл ющих импульсов 7. Выход источника управл ющих импульсов 7- соединен со стабилизатором тока эмиссии 5 и со вторым входом устройства 6.

Ионизационный манометрический преобразователь помещают в вакуумную камеру и на его электроды подаютс  необходимые потенциалы (на анод 2 преобразовател  подают положительный потенциал относительно катода 3, а на коллектор 4 - отрицательный потенциал). При разогревании нити катода 3 между анодом 2 и катодом 3 воз никает ток эмиссии, который поочередно с заданной частотой стабилизируют на двух различных уровн х с помощью стабилизатора тока эмиссии 5 и управл ющего сигнала , поступающего от источника импульсов 7.. Электроны тока эмиссии ионизируют атомы наход щиес  в пространстве ионизации анод 2, катод 3 и образовавщиес  ионы собираютс  коллектором 4. Сигнал с коллектора 4 через устройство 6, запускаемое с помощью управл ющего сигнала, подаваемого от источника импульсов 7, поступает на вход усилител  ионного тока (на фиг. 1 не показан). По величине переменной составл ющей этого сигнала суд т о давлении в вакуумной камере. С помощью блокирующего устройства 6 автоматически блокируетс  сигнал коллектора 4 на врем  переходного процесса, св занного с тепловой инерцией нити катода 3 при переходе от одного уровн  тока эмиссии к другому и наличием паразитной емкости катод 3-коллектор 4, На графике (2aJ изображена форма управл ющего сигнала, поступающего от источника импульсов 7 на стабилизатор 5 тока эмиссии катода 3 и на устройство 6. Ток эмиссии катода 3 мен етс  по закону, представленному на графике (2б). Плавный переход с одного уровн  тока эмиссии катода 3 на другой объ сн етс  тепловой инерцией нити катода 3. На графике (2в) изображен сигнал блокировки. На врем . равное ( -tj - ti) , при переходе тока эмиссии с одного уровн  на другой сигнал с коллектора 4 преобразовател  1 автоматически блокируют. На графике (2г) представлен сигнал, поступаюишй на вход усилител  ионного тока. Как видно из графика, управл ющий сигнал позвол ет одновременно переключать ток эмиссии катода 3 с одного уровн  на другой и блокировать сигнал, снимаемый с коллектора 4 на врем  переходного процесса . Предмет изобретени  Ионизационный манометр, содержащий ионизационный манометрический преобразователь , состо щий из анода, катбда пр мого канала и коллектора, источник питани , стабилизатор тока эмиссии катода, усилитель ионного тока, св занный с регистратороМ| и модул тор тока эмиссии катода, о т л и- ч а ю щ и и с   тем, что, с целью повышени  точности измерени  в услови х вакуумного испарени  материалов, в нем модугитор тока эмиссии катода выполнен в виде источника управл ющих электрических эднопол рных импульсов заданной длительности и частоты и блокирующего устройст- за, св занного с коллектором, при этом выход источника управл ющих электрических импульсов подключен к стабилизатору тока эмиссии и второму входу блокирующего уст- ройства, выход которого соединен с усилителем ионного тока.

Г

Па Sjfod усилител 

1

+ -о

TJ

о о

. f

Управл ющий сигнал

3

Сигнал длокиробки

Вход усал тел 

-4

л,

.2