/5V ГРАФИТОВЫЙ РДГРЕВАТЕЛЬ ПОДЛОЖЕК/ 5V GRAPHITE HEATER SUBSTRATES
Изобретение относитс к вакyy шoй технике и может быть использовано дл нагревани подаюжев микросхем. Известные графитовые нагреватели под ожек, выполненные в виде пластины, электрически соединенной с токопроводами имеют изотермическую зону, площадь которой существенно меньше общей площади нагре вател , и, следовательно, не позво л ют с максимальной эффективностью использовать вакууглные установки. Цель изобретени - расширение изотермической зоны нагревател . Это достигаетс тем, что в теле пластины на участках, прилегающих к токопроводам, выполнены отверсти , поперечнсе сечение и количество которых выбраны в соответствии с требуемой температурой нагрева. На чертеже изображен предлагаемый нагреватель, общий вид. Нагреватель выполнен в виде пластины I, электрически соедщненной с токопроводами 2.В хелв пластины I выполнены отверсти 3. Участки пластины , прилегащие к токопроводам, дополнительно охлаждаютс последними, но потери тепла через токопроводы компенсируютс выделением относительно большего количества тепла на участках с отверсти ми, чем на остальных участках пластины. Это объ сн етс тем, что участки пластины с отверсти ми ШvIeют большее погонное сопротивление , чем остальные участки, в то врем как через все участки пластины проходит о дан и тот же электрический ток. При соответствующем выборе размеров и количества отверстий при определенном токе,обуславливающем требуемую температуру,может быть обеспечена изотермичность практически всей площади нагревател ,Это позвол ет существенно повысить производительность вах умной установки ,ПРЩМБТ ИЗОБРЕТЕНИЯThis invention relates to a vacuum technology and can be used to heat a chip. The known graphite heaters under the burners, made in the form of a plate electrically connected to conductors, have an isothermal zone, the area of which is substantially less than the total area of the heater, and, therefore, it is not possible to use vacuum installations with maximum efficiency. The purpose of the invention is the expansion of the isothermal zone of the heater. This is achieved by the fact that in the plate body in the areas adjacent to the conductors, holes are made, the cross section and the number of which are selected in accordance with the required heating temperature. The drawing shows the proposed heater, General view. The heater is made in the form of a plate I, electrically connected with conductors 2. Holes of plate I are made into holes 3. The plate sections adjacent to the conductors are further cooled last, but the heat loss through the conductors is compensated by releasing relatively more heat in the areas with holes than on the rest of the plate. This is due to the fact that parts of the plate with holes ШvIeuet greater linear resistance than other parts, while the same electric current passes through all parts of the plate. With an appropriate choice of sizes and number of holes with a certain current, causing the desired temperature, can be ensured isothermal almost the entire area of the heater. This allows you to significantly improve the performance of your smart installation.
Графитовый нагреватель поддожек , внполненный в виде пластинн, электрически соединенной о токопроБодами , отличанищйс тем, что, с целью расширени изотермической зоны нагревател , в теле пластиныA graphite heater poddozhek, vpolnenny in the form of plates, electrically connected to the current conductor, characterized by the fact that, in order to expand the isothermal zone of the heater, in the body of the plate
на участках,прилегащих к токопроводамц выполнены отверсти , поперечное сечение и количество которых выбраны в соответствии с требуемой температурой нагрева.in the areas adjacent to the conductor, holes are made, the cross section and the number of which are selected in accordance with the required heating temperature.