SU444132A1 - Устройство дл измерени удельного сопротивлени полупроводниковых материалов - Google Patents
Устройство дл измерени удельного сопротивлени полупроводниковых материаловInfo
- Publication number
- SU444132A1 SU444132A1 SU1829657A SU1829657A SU444132A1 SU 444132 A1 SU444132 A1 SU 444132A1 SU 1829657 A SU1829657 A SU 1829657A SU 1829657 A SU1829657 A SU 1829657A SU 444132 A1 SU444132 A1 SU 444132A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- measuring
- resistivity
- resonator
- semiconductor materials
- sample
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к области измерительной и полупроводниковой техники.
Известно устройство, принцип действи которого основан на использовании светового зонда, возбуждаюн1его неравновесную проводимость в исследуемом образце, в состав которого вход т гецератор (1;ВЧ-колебаний, резонатор с исследуемым образцом, устройство, формирующее световой зонд, видеодетектор с сопротивлением нагрузки и индикаторное устройство дл измерени напр жени сигнала на сопротивлении нагрузки видеодетектора. Удельное сопротивление образца с помощью этого устройства определ етс по величине напр жени на сопротивлении нагрузки видеодетектора .
Цель изобретени - повысить чувствительность устройства, уменьщить его габариты и вес.
Дл этого измерительный резонатор совмещают с резонатором СВЧ-генератора.
На чертеже представлена блок-схема предлагаемого устройства с помещенным в него исследуемым образцом.
Устройство содержит СВЧ-генератор 1, полупроводниковый диод 2, блок питани 3, емкостный зазор 4, резонатор 5, видеодетектор 6, измерительный блок 7, сопротивление нагрузки 8, световой зонд 9, формирующее
устройство 10. В резонатор помещен исследуемый образец 11.
Устройство работает следующим образом.
С помощью светового зонда 9 в участке образца 11 возбуждаетс неравновесна проводимость , что приводит к изменению добротности и резонансной частоты резонатора 5. Поскольку мощность и частота генерации генератора 1 определ ютс добротностью и резонансной частотой резонатора 5, в который помещен активный элемент, то модул ци добротности и резонансной частоты резонатора приводит к амплитудной и частотной модул ции выходной СВЧ-мощности генератора 1, причем глубина модул ции СВЧ-мощности оказываетс пропорциональной удельному сопротивлению освещенного участка образца И.
Выходна мощность СВЧ-генератора 1 подаетс на видеодетектор 6, и на сопротивлении нагрузки 8 с помощью измерительного прибора 7 измер етс напр жение сигнала, пропорциональное удельному сопротивлению освещаемого световым зондом 9 участка образца 11.
Предмет изобретени
Устройство дл измерени удельного сопротивлени полупроводниковых материалов.
содержащее СВЧ-генератор подачи смещени на исследуемый образец, блок формировани светового зонда, видеодетектор и измерительный блок, отличающеес тем, что, с
целью повышени чувствительности, уменьщени габаритов и веса устройства, измерительный резонатор совмещен с резонатором СВЧ-генератора.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1829657A SU444132A1 (ru) | 1972-09-13 | 1972-09-13 | Устройство дл измерени удельного сопротивлени полупроводниковых материалов |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1829657A SU444132A1 (ru) | 1972-09-13 | 1972-09-13 | Устройство дл измерени удельного сопротивлени полупроводниковых материалов |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU444132A1 true SU444132A1 (ru) | 1974-09-25 |
Family
ID=20527366
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU1829657A SU444132A1 (ru) | 1972-09-13 | 1972-09-13 | Устройство дл измерени удельного сопротивлени полупроводниковых материалов |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU444132A1 (ru) |
-
1972
- 1972-09-13 SU SU1829657A patent/SU444132A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3391576A (en) | Thermometric device for rotating structures | |
| SU444132A1 (ru) | Устройство дл измерени удельного сопротивлени полупроводниковых материалов | |
| US3600676A (en) | Moisture meter utilizing amplitude and bandwidth signals | |
| SU429326A1 (ru) | Устройство для измерения влажности | |
| GB1077051A (en) | Circuit arrangement for accurate temperature measurement | |
| SU125910A1 (ru) | Уровнемер и дискретный сигнализатор уровн | |
| SU455419A1 (ru) | Способ измерени времени релаксации уровней энергии вещества | |
| SU682838A1 (ru) | Устройство дл измерени сверхвысокочастотной мощности | |
| SU700846A1 (ru) | Устройство дл измерени напр женности магнитного пол | |
| SU140495A1 (ru) | Способ измерени напр женности электрического пол | |
| SU1017991A1 (ru) | Устройство дл измерени состава жидкости | |
| SU972369A1 (ru) | Способ бесконтактного определени электропроводности электролитических жидкостей | |
| SU602790A1 (ru) | Способ определени действительной и мнимой компонент колебаний механических конструкций | |
| SU410334A1 (ru) | ||
| SU115028A1 (ru) | Устройство дл измерени усилий, возникающих, например, в режущей цепи горных машин | |
| SU427244A1 (ru) | Устройство для измерения натяжения плоских пластин | |
| SU998938A1 (ru) | Устройство дл электромагнитного контрол композиционных материалов | |
| SU1083104A1 (ru) | Способ измерени удельной электрической проводимости неферромагнитных объектов | |
| SU136828A1 (ru) | Способ измерени разности потоков ионизирующего излучени | |
| SU455304A1 (ru) | Устройство дл получени калибровочных меток при регистрации переменных магнитных полей | |
| GB1153241A (en) | Apparatus For Determining Toughness of Abrasive Articles | |
| SU357515A1 (ru) | Токовихревой дефектоскоп | |
| SU454512A1 (ru) | Устройство дл измерени магнитных полей | |
| SU150919A1 (ru) | Устройство дл измерени магнитных полей | |
| SU811160A1 (ru) | Устройство дл геоэлектроразведки |