Изобретение относитс к уикрозондовш рвшгеновским анализатораы и иовех найти приыенецив в тех област х техники, где требуетс знание характере распределени концентрации в твердом теле и,в частности, распределение концентрации диффузанта в диффузионной зоне матрицы . Известны ыикрозовдовые рент геновские анализаторы, с помощью которых создаетс сфокусированный на изучаемой поверхности пучок ускоренных злектронов и производитс анализ рентгеновского излучени , возбу даемого этим , либо вы вл етс характер изменени интенсивности выбранной спектральной линии в зависимости от положени элэкт ронного пучка на изучаемой поверхности . Известное устройство состоит из вакуумной камеры, внутри которой размещены устройс ва дл получени сфокусированного электронного пучка, держатель исследуемого- объекта, гониометрическое устройство дл креплени кристалл-анализатора рентгеновского излучени и детектора ИНТ6ЫСИВНОСТК линий рентгеновского спектра, механический счетчик, св занный с кристалл-анализатором , показани которого проградуированы в длинах волн, привод устройства дл измерени положени кристалл-анализатора и детектора вручную - при помощи ручки настройки или мотором устр01г1ства дл перемещени пучка ускоренных электронов по изучаемой поверхности, устройств дл регистрации изменени интенсивности выбранной линии (в зависимости от положени пучка ускоренных электронов на изучаемой поверхности), устройств дл поддержани вакуума в рабочей камыере , многоканальных самописцев И источников элбкхропитани эо@х узлов в известных усхройст ах вб учитываетс возиожность изивнени длины волны характеристичеокого спектра в результате изуенеНИЯ электронного состо ни afOlfOB в присутствйш сторонних атомоБ. Целью изобретени вл етс устранение этого недостатка и, следовательно, повышение точност и надежности информации, выдававмри микроанализаторои, а также получение дополнительных сведений об изменении электроаиого состо ни диффуаанта. Поставленна цель достигаетс тем, микроаыализатор снабжен устройством, ПОЗВОЛЯЮ1ЩШ измен ть положение кристалл-анализатора и детектора интенсивности выбранной спектральной линии сишс ронно с изменением длины волны этой линии В качестве такого устройства ыожет быть использована система, измен юща положенив кристалланализа-гора и детектора в соответствии с изменением длины волны излучаемой регистрируемым злементом . На чертеже приведена схема предложенного рентгеновского микроанализатора. Перед выполнением анализа в ,1акуум11ой камере I вместо образда 2 устанавливаетс зталонный образец. В эталонном образце под воздействием злектронного пучка возоуждаетс рентгеновское харак теристическое излучение, на определенную длину волны которого настраиваетс ручкой 3, либо мото ром 4 кристалл-анализатор 5 и де Гектор 6 таКд чтобы интенсиметр 7 и самописец 8 регистрировали максимальную интенсивность, фиксируе йую детектором 6, После зтого эталонный образец замен етс иссл дуемым образцом. Включаетс систе ма, состо ща из усилителей 9 и 10, блока II сравнени сигналов индикатора разбаланса 12, системы реле 13, при этом система реле 13 отключает в интенсиметре V блок пересчетного устройс::ва дл рагисафации числа ивдльсОв, поступающих о детектора б, и отк лючает самописец 8, но включает Hosop 4, который измен ет положе ние кристалл-анализатора 5 и детектора б. При перемещении кристалл-анализатор и детектор роходат через положение характеизующеес точной настройкой на ребуемую длину волны спектральой линии. В положении точной настройки интенсивность излучени иксируема детектором, имеет аксимальную величину. Сигнал, оступающий в детектора в виде импульсов, в интенсиметре на индикаторе интенсивности преобразуетс в напр жение посто нной пол рности о амплитудой, мен ющейс в соответствии с изменением сигнала от детектора. Преобразованный сигнал подаетс на входы усилителей 9 и 1и В усилителе 9 на накопительном элементе (например, емкости) в моментперехода кристалл-анализатором 5 и детектором 6 в по.лОжение точной настройки создаетс напр жение, соответствующее максимальному сигналу, Максимальное напр жение в усилителе 9 сохран етс с помощью злектронного реле в течение времени , достаточного дл точной регистрации интенсивности излучений . Напр жение в усилителе 10 мен етс в зависимости от изменени сигнала интенсиметра 7. Выходные сигналы с усилителей 9 и 10 поступают на блок сравнени II, выполненный, например, в виде электронного моста. Сигнал разбаланса через индикатор разбаланса 12 с помощью системы реле 13 включает мотор 4, обеспечива его вращение в такую сторону, чтобы на индикаторе разбаланса создалс минимальный по величине сигнал, т.е. осуществл етс точна настройка кристалл-анализатора на требуемую длину волны. При сигнале разбаланса минимальной величины система реле 13 выключает на задан ный промежуток времени мштор 4, включает блок пересчетного устройства интенсиметра 7 и самописец 8, Производитс регистраци интенсивности излучени образца. ПРЕДМЕТ ИЗОБРЕТЕНИЯ Рентгеновский микрозондовый ана лизатор, содержащий вакуумную каме ру с устройством дл формировани злектронного зонда и держателем исследуемого материала, гониомвтоичвское устройство с кристалланализатороу и детектором, механизм перемещени здвктронного зонда, интенсиметр и электронную схему
регистрации, отличающийс тем, что, с целью повышени точ ности анализа, он снабжен устройством настройки, состо щим из блока сравнени сигналов интвнсиыетрс при изменении длины волны спектральной линии и исполнительного приспособлени .