SU417702A1

SU417702A1 -

Info

Publication number: SU417702A1
Application number: SU1814595A
Authority: SU
Priority date: 1972-07-26
Filing date: 1972-07-26
Publication date: 1974-02-28

Description

1one

Изобретение относитс к области ва«уумметрии , в частности к магнитным электрозар дным манометрам инверсно-магнетронного типа.The invention relates to the field of vacuum metmetry, in particular, to magnetic inverter magnetron type magnetic charge pressure gauges.

Известны инверсно-магнетропные манометры , электродна система которых содержит цилиндрический катод, закрытый с т())цов крышками, и стержневой анод, размещенный по оси катода. Однако в таких манометрах невозможна очистка анода ионной бомбардировкой неп0средстввн:но ,на ва«уум1ной установке .Inverse-magnetropic pressure gauges are known, the electrode system of which contains a cylindrical cathode closed with lids ()) and a rod anode located along the axis of the cathode. However, in such manometers it is impossible to clean the anode by ion bombardment by means: but, on your “vacuum tube” unit.

При работе магнитных электроразр дных манометров -в вакуумных установках, содержащих пары масел, электроды манометров покрываютс пленками масел, продуктами их к.рекИНга и полимеризации. Рабоч-ие участки катода в процессе работы манометра очищаютс под действием ионной бомбардировки, в то врем как анод не очищаетс .During the operation of magnetic electric discharge manometers in vacuum installations containing oil vapors, the electrodes of the manometers are covered with oil films, products of their K.RINGING and polymerization. The working areas of the cathode during the operation of the pressure gauge are cleaned by ion bombardment, while the anode is not cleaned.

В результате наблюдаетс затрудненное зажигание разр да в манометре и изменение его чувствительности. Дл восстановлени характеристик манометра приходитс снимать его с установки и проводить механическую или химическую очистку анода, поэтому конструкци манометра должна быть разборной.As a result, obstructed ignition of the discharge in the manometer and a change in its sensitivity are observed. In order to restore the characteristics of the pressure gauge, it is necessary to remove it from the installation and carry out mechanical or chemical cleaning of the anode, therefore the design of the pressure gauge must be dismountable.

Непосредственно -иа вакуумной установке очистка анода была бы возможна иоиной бомбардир01вкой при переполюсовке электродовDirectly to the vacuum unit, cleaning of the anode would be possible by a bombardment of the polarity reversal of the electrodes.

манометра. Однако в ннверсно-магнетронном .манометре при отрицательном потенциале анода относительно катода разр д не зажигаетс , так как электроны, попавщие в разр дный промежуток манометра, не удерживаютс в нем, а сразу уход т вдоль лгагншного пол , направленного по оси электродной системы , на торцовые :крышки катода. Цель изобретени - обеспечение возможности очистки анода от диэлектрической пленки ионной бомбардировкой.pressure gauge. However, in a nanometer-magnetron manometer with a negative anode potential relative to the cathode, the discharge does not ignite, since the electrons entering the discharge gap of the manometer are not kept in it, but immediately go along the obstacle field directed along the axis of the electrode system to : cathode covers. The purpose of the invention is to provide the possibility of cleaning the anode from the dielectric film by ion bombardment.

Это достигаетс тем, что .манометр снабжен двум или больщим количеством шайб, раз .мещенных на аноде в цилиндрической полости катода с зазором относительно друг друга .This is achieved by the fact that the manometer is equipped with two or more washers, once placed at the anode in the cylindrical cavity of the cathode with a gap relative to each other.

В такой конструкции при отрицательно. потенциале анода относительно катода электроны , перемеща сь вдоль магнитного пол ,In this design with negative. the potential of the anode relative to the cathode electrons moving along the magnetic field

попадают в тормоз щее электрическое поле анодных шайб и удерживаютс в разр дном промежутке манометра. Благодар этому создаютс услови дл зажигани и поддержани разр да, а, следовательно, дл очисткиenter the retarding electric field of the anode washers and are held in the discharge gap of the manometer. This creates conditions for igniting and maintaining the discharge, and therefore for cleaning

анода в области, расположенной между шайбами , ионной бомбардировкой.anode in the area between the washers, ion bombardment.

На фиг. 1 показана электродна система манометра; на фиг. 2 - графи-к зависимости разр дного тока от давлени .FIG. 1 shows the electrode system of the gauge; in fig. 2 is a plot of the discharge current versus pressure.