SU416784A1 - - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к способу изготовлени  миогоострийных катодов, используемых в тех электронных приборах и устройствах, где требуетс  эффективный источник электродов, например импульсные рентгеновские трубки, разр дники, лазеры и т. д.

Известен способ изготовлени  многоострийных автокатодов путем электролитического травлени  острий состоит в том, что заготовку катода (в виде гребенки, или матрицы) погружают в электролит и, прикладыва  разность потенциалов между заготовкой и дополнительным электродом (так же погруженным в электролит), осуществл ют процесс электролитического «заострени  концов заготовки катода.

Однако в известном способе из-за существоваии  поверхностного нат жени  и капилл рных сил на грани це электролит-металл-вакуум при погружении заготовки ъ электролит и проведении процесса травлени  случайный «срыв раствора с одного элемента ведет к опусканию уровн  электролита по большей части или по всей заготовке катода, в резульгате чего автоматически происходит прекращение процеса травлени .

Поэтому часть элементов заготовки может быть «недотраеленной, друга  - «перетравленной , т. е. форма получаемых острий  вл 2

етс  в значительной степени неоднородной но радиусам закруглени  и углам конуса.

Цель изобретени  - повышение однородности геометрических параметров острий.

Сущность предлагаемого способа состоит в том, что создают колебание поверхности электролита , направленное перпендикул рно к поверхности раздела электролит-воздух, причем частоту колебаний выбирают такой величины , чтобы обеспечивалось движение мениска относительно заготовки, а величину амплитуды устанавливают не выше значени , при котором происходит срыв электролита с заготовки.

Сущность способа заключаетс  в следующем .

В электролитическую ванну ввод т заготовку многоострийного катода, погружа  элементы на заданную глубину в электролит. Держателю заготовки сообщают колебани , перпендикул рные к поверхности электролита, амплитуда и частота которых выбираютс  в соответствии с герметическими размерами катода: h - высотой и а - шириной элемента и рассто нием t между элементами. Прикладыва  посто нное напр жение U («+ на заготовку , «- на дополнительный электрод), осуществл ют заострение концов элементов катода . При этом происходит плавное снижение уровн  электролита по мере «утоньшени  за3 ГОТОВКИ катода до момента прекращеНИ  ироцесса травлени . , -, ,. 11пепметичпппртрни  11 р е д ла е 1 и j и и р е i с и и   Способ изготовлени  автоэлектронных многоострийных катодов дл  электровакуумных приборов нутем электролитического травлени  заготовок, от л и ч а ю HU-I и с   тем, что, с нелыо новыитени  однородности геометрических 4 параметров острий, создают «о.1ебанне поверхтюсти электролита, направленное перпендикул рно к поверхности раздела электроj г i L лит-воздух, причем частоту колебаний выбирают такой пеличгпы, чтобы обеспечивалось движение мениска относительно заготовки, а величину алгплнтуды устанавливают не BI IURлпачени , ирн котором происходит срыв элект юлита с заготовки.