SU411555A1 - - Google Patents
Info
- Publication number
- SU411555A1 SU411555A1 SU1629502A SU1629502A SU411555A1 SU 411555 A1 SU411555 A1 SU 411555A1 SU 1629502 A SU1629502 A SU 1629502A SU 1629502 A SU1629502 A SU 1629502A SU 411555 A1 SU411555 A1 SU 411555A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- delay lines
- base face
- surface waves
- plate
- working surface
- Prior art date
Links
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к области радиотехники и может быть иснользоваио при изготовлении ультразвуковых линий задержки на иоверхностных волнах.
Известен способ изготовлени у.чьтразвуковых линий задержки на поверхностных волнах со звукопроводом, выполненным из пьезоэлектрических мопокриста.ллов, включающий операции ориентировани рабочей поверхности и базовой грани пластины звукопровода, ориентации фотошаблона и нанесени многозлементпых преобразователей.
Иедостатком известного способа изготовлени ультразвуковых линий задержки вл етс вли ние разброса параметров монокристаллов на электрические характеристики линий задержки и трудоемкость их изготовлени .
С целью исключени вли ни разброса параметров люнокристалов па электрических характеристики линий задержки и уменьшени трудоемкости их изготовлени по предлагаемому способу направление ориентации фотошаблона определ ют по совпаденню измер емой и требуемой скоростей распространени поверхностных волн по рабочей поверхности звукопровода .
На фиг. 1 показана предварительно ориентированна пластина-заготовка из моиокристаллического кварца, иллюстрирующа предлагаемый снособ; на фиг. 2 - - нластипа с обработаной рабочей плоскостью и базовой гранью; на фиг. 3 -- часть пластины совместно с элементами устройства дл измерени скорости; на фиг. 4 - пластина с фотошаблоном, наложенным на рабочую новерхность, покрытую (1)оторезистом.
Рассмотрим последовательность выполнени операций при изготовлепии ультразвуковых линий задержки ца кварцевом звукопроводе с измерителем групповой скорости, использующим бесконтактный метод возбуждени и приема новерхностпых волн.
Иластину-заготовку 1 из монокристаллического кварца (фиг. 1), точность ориентации граней которой относительно кристаллографических осей не меньше +1°, подвергают механической обработке с целью получени рабочей поверхности 2 и базовой грани 3 (фиг. 2). Ири этом операции точного ориентировани этих граней по отношению к ос м кристалла не производ т.
Пластину с обработанной рабочей поверхностью 2 и базовой гранью 3 совмещают с элементом 4 дл бесконтактного возбуждени и нриема поверхностных волн устройства измерени скорости. Пластину располагают но от ношению к элементу 4 дл бесконтактного возбуждени и приема поверхностных волн таким образом, что можно произвести точный отсчет угла а между базовой гранью 3 иластины 1 и
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1629502A SU411555A1 (ru) | 1971-02-10 | 1971-02-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1629502A SU411555A1 (ru) | 1971-02-10 | 1971-02-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU411555A1 true SU411555A1 (ru) | 1974-01-15 |
Family
ID=20467776
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU1629502A SU411555A1 (ru) | 1971-02-10 | 1971-02-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU411555A1 (ru) |
-
1971
- 1971-02-10 SU SU1629502A patent/SU411555A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US2439130A (en) | Surface and shear wave method and apparatus | |
| Waterman | Orientation dependence of elastic waves in single crystals | |
| US4472656A (en) | Temperature sensor and method using a single rotated quartz crystal | |
| SU411555A1 (ru) | ||
| US4165402A (en) | Chip-removing machining method and apparatus for semiconducting crystals, specifically suited for the production of force and pressure measuring cells | |
| JPH11163668A (ja) | 積層圧電単結晶基板及びそれを用いた圧電デバイス | |
| US3756070A (en) | Ultrasonic inspection device | |
| US4707631A (en) | Isotropic acoustic wave substrate | |
| SU1646994A1 (ru) | Устройство дл измерени скорости поверхностных акустических волн в пьезокварцевых пластинах ST-среза | |
| RU2379638C1 (ru) | Резонансный сенсор давления, усилия или перемещения и способ его изготовления | |
| GB655116A (en) | Improvements in or relating to supersonic inspection particularly adapted to the measurement of thickness of bodies | |
| EP0153093B1 (en) | Isotropic acoustic wave substrate | |
| SU766748A1 (ru) | Способ определени одного из элементов системы "станок-приспособление-инструмент-деталь", наход щегос в резонансе | |
| US2392271A (en) | Manufacture of piezoelectric elements | |
| JP3014204U (ja) | ２波超音波センサー | |
| RU1309731C (ru) | Способ акустического контроля кристаллографической анизотропии предела текучести металлических изделий | |
| SU1366879A2 (ru) | Устройство дл измерени геометрических размеров издели | |
| SU1416904A1 (ru) | Ультразвуковой преобразователь | |
| SU1527494A2 (ru) | Устройство дл измерени геометрических размеров металлических изделий | |
| SU516436A1 (ru) | Устройство дл ультразвуковой обработки | |
| SU1668931A1 (ru) | Способ измерени угла ввода ультразвуковых колебаний наклонных преобразователей | |
| SU474906A1 (ru) | "Способ изготовлени кварцевых резо2 наторов4 | |
| SU560139A1 (ru) | Ультразвуковое устройство дл контрол размеров объектов | |
| SU540354A1 (ru) | Лини задержки на упругих поверхностных волнах | |
| SU488133A1 (ru) | Способ измерени скорости распространени ультразвуковых колебаний |