SU411335A1 - - Google Patents
Info
- Publication number
- SU411335A1 SU411335A1 SU1720372A SU1720372A SU411335A1 SU 411335 A1 SU411335 A1 SU 411335A1 SU 1720372 A SU1720372 A SU 1720372A SU 1720372 A SU1720372 A SU 1720372A SU 411335 A1 SU411335 A1 SU 411335A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- capacitance
- sensor
- bridge circuit
- micromanometer
- constant
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к вакуумной технике , в частности к мембранно-емкостным микроманометрам и может быть использовано при нх калибровке.
Известный способ калибровки микроманометров предусматривает сравнение показаний калибруемого манометра с отсчетом давлени по компрессионному манометру типа МакЛеода . В св зи со сложностью конструкции, неудобством в эксплуатации и наличием открытых поверхностей ртути манометры МакЛеода не нашли широкого применени и имеютс только в специализированных организаци х . В св зи с этим калибровка микроманометра св зана с демонтажом его с работаюшей установки и перевозкой в специализированную организацию. Это усложн ет процесс калибровки. В то же врем микроманометр нуждаетс в калибровке в процессе эксплуатации вс кий раз при смене мембраны, изменеНИИ темнературы датчика и периодически во времени.
Це.чью изобретени вл етс обеспечение возможности калибровки микроманометра в процессе эксплуатации без использовани эталонного манометра, т. е. унрощение процесса калибровки. Это достигаетс тем, что сначала выравнивают давление в обеих нолост х датчика , балансируют мостовую схему изменением емкости в смежном с датчиком плече мостовои схемы, увеличивают электрическую емкость датчика, вторично балансируют мостовую схему изменением емкости в противоположном датчику плече мостовой схемы и по величине изменени этой емкости определ ют посто нную микроманометра.
Блок-схема микроманометра, реализуюша этот способ изображена на чертеже.
На чертеже прин ты следуюшие обозначени : 1 - мостова схема; 1 -датчик микроманометра с емкостью Cj,; 2 - усилитель сигнала разбаланса мостовой схемы; 3 - синхронный детектор; 4 - генератор переменного напр жени ; 5 - источник напр жени компенсации; 6 - блок питани ; 7 - индикаторный прибор; Ci - конденсатор посто нной емкости в противоположном, по отношению к датчику 1, плече мостовой схемы; Сз - конденсатор посто нной емкости в плече мостовой схемы, включенный последовательно с датчиком 1; Сз - конденсатор посто нной емкости в смежном с датчиком 1 плече мостовой схемы: Сд, и С„, - переменные подстрочные конденсаторы в смежном с датчиком 1 плече мостовой схемы; ДС - конденсатор посто нной емкости; ACi - конденсатор неременной емкости; Ki- ключ; 8 - микрометрическое устройство дл плавной регулировки емкости ACi с лимбом, оцифрованным в единицах, пропорциональных посто нной /С микроманометра. Датчик 1 микроманометра представл ет собой две герметичные камеры, разделенные металлической мембраной. В одной из камер, параллельно плоскости мембраны располагаетс неподвижный электрод, образующий с мембраной емкость Cg, включенную в мостовую схему. Разность давлений в измерительной и сравнительной камерах обуславливает прогиб мембраны и вызывает св занное с этим изменение емкости Cg. Изменение емкости С приводит к разбалансу мостовой схемы и по влению выходного сигнала, который после усилеии и детектировани вызывает отклонение стрелки индикаторного прибора 7. Начальный прогиб мембраны компенсируетс за счет сил электростатического взаимодействи путем подачи компенсирующего напр жени с выхода источника 5 между мембраной и электродом датчика 1. При этом исчезает сигнал разбаланса мостовой схемы и стрелка индикаторного прибора 7 устанавливаетс на нулевое положение . Разность давлений в ка.мерах датчика 1 АЯ определ ют из выражени : P U Cy2tRl KU, где АЯ - разность давлений в измерительной и сравнительной камерах датчика 1; и - иапр жение компенсации; Cg - емкость датчика 1; 8 - диэлектрическа посто нна ; Rn - радиус неподвижного электрода; /( - посто нна микроманометра. Из выражени (1) видно, что посто нна /( микроманометра зависит от величиш емкости Cg датчика 1. Очевидно, что, зна в каждый данный момент емкость С,, датчика 1, можно определить посто нную микроманометра Л . Дл определени емкости Cg датчика 1 уравнивают давление с обеи.х сторон мембраиы н производ т балансировку мостовой схемы с помощью емкости, расноложепной в смежном с датчиком 1 плече мостовой схемы. Затем параллельно датчику 1 иодсоедин ют посто п ую емкость АС и измепепием емкости АС в противоположном датчику 1 плече моста снова производ т балансировку мостовой схемы. При этом величина изменени этой емкости (ACi) пропорциональна посто нной микроманометра (К,). Возможность электрической калибровки микроманометра обеспечиваетс тем, что в измерительную мостовую схему прибора введены дополнительные емкости АС и АСь ключ /(i и микрометрическое устройство 8 дл изменени емкости ACi с лимбом, оцифроваииым в величинах носто нной /С микроманометра. Исход из основного уравнени (1) и уравнени балаиса мостовой схемы С г - ЛГ9 С,С, ДС2 можно показать, что, если сбалансировать мостовую схему I с помощью емкостей Стг, (груба балансировка) и Сп, (тонка балансировка ), затем подсоединить параллельно датчику 1 емкость АС и снова сбалансировать мостовую схему с номощью емкости ACi, то при посто нных величипах емкостей Cz, Ci величииа изменени емкости АС непосредственно св зана с величиной емкости Cg датчика 1. Иа практике, в св зи с наличием фазовых 1скажепий, трудно получить идеальиую баланснровку мостовой схемы, поэтому при первичной калибровке микроманометра снимают характеристику: Cg (&€,)3 ACi - величина изменеии емкости ACi в противоположном датчику 1 плече мостовой схемы. Принима во внимание выражение (1) имеем К(С1) ,), что позвол ет проградуировать шкалу, св занную с изменением едкости ACi непосредственно в величинах посто нной микроманометра/(. Изменение емкости ACi осуществл ют с но .мощью перемещени микрометрического устройства 8, щкала которого калибруетс в еди1 ицах , пропорциональных посто нной микроманометра /С В нроцессе эксплуатации калибровка микроманометра производитс в следующей последовательности: выравнивают давление в обеих плоскост х датчика 1; балансируют мостовую схему с помощью емкостей С„, и Сп.. ;с номощью нереключател К параллельпо датчику подсоедин ют емкость АС; производ т ба .чансировку мостовой схемы с по.мощью емкости АС,; оиредел ют посто нную микроманометра /( по специально проградуированной И1кале, св заниой с изменением емкости (беретс отчет по лимбу микрометрического устройства 8). Момент баланса мостовой схемы определ етс по индикаторному прибору 7. С целью noBbuneiniH точности калибровки, емкость в илече моста, противоположном датчику 1 выполн ют в виде посто нной емкости Ci и перемепной добавки к ней ACi. Погрешность калибровки зависит от стабильности емкостей d; ACi; €2 и АС и может быть сделаиа весьма малой. Предмет изобретени Способ калибровки микроманометра, содержащего включенный в мостовую схему мембранно-емкостный датчик, выполненный в виде герметичной камеры, разделенной ме лбрапой па две полости, отличающийс тем, что, с целью упрощени процесса калибровки, выравнивают давлеиие в обеих полост х датчика , балапсируют мостовую схему изменеиием емкости в смежном с датчиком плече мостовой схемы, увеличивают электрическую емкость датчика, вторично балансируют мостовую схему изменением емкости в противоположном датчику плече мостовой схемы, и по величине изменени этой емкости определ ют посто нную микроманометра.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU1720372A SU411335A1 (ru) | 1971-12-02 | 1971-12-02 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU1720372A SU411335A1 (ru) | 1971-12-02 | 1971-12-02 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU411335A1 true SU411335A1 (ru) | 1974-01-15 |
Family
ID=20494852
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU1720372A SU411335A1 (ru) | 1971-12-02 | 1971-12-02 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU411335A1 (ru) |
-
1971
- 1971-12-02 SU SU1720372A patent/SU411335A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4636714A (en) | Capacitive transducer and method | |
SU593674A3 (ru) | Датчик давлени | |
EP0642658B1 (en) | Pressure transducer | |
RU2144680C1 (ru) | Экранированный емкостной датчик | |
US4586108A (en) | Circuit for capacitive sensor made of brittle material | |
US4357834A (en) | Displacement converter | |
US4432238A (en) | Capacitive pressure transducer | |
US4233848A (en) | Strain gauge pressure transducer apparatus having an improved impedance bridge | |
US4449409A (en) | Pressure measurement system with a constant settlement time | |
KR20010039758A (ko) | 센서 신호 처리 장치 | |
JPH03210446A (ja) | 差圧測定装置 | |
JP2717011B2 (ja) | 容量性圧力センサと差圧センサの温度補償用回路装置 | |
SU411335A1 (ru) | ||
US2582400A (en) | Capacitance type liquid quantity gauge | |
SU884587A3 (ru) | Устройство дл измерени плотности газообразных сред | |
SU393629A1 (ru) | Ан ссср | |
US3664237A (en) | Pressure sensor | |
Grohmann et al. | Extension of the application range of a piston pressure gauge to low pressures | |
US4423638A (en) | Capacitive system for manometric detection and measurement of differential pressures | |
US3225600A (en) | Electrical differential-pressure meter | |
SU1124178A1 (ru) | Измеритель толщины полимерных пленок | |
SU1689795A1 (ru) | Устройство дл измерени плотности жидкости | |
SU805058A1 (ru) | Устройство дл измерени перемещений | |
JPH0448165B2 (ru) | ||
SU460463A1 (ru) | Способ калибровки мембранного емкостного манометра |