SU408144A1

SU408144A1 - УСТРОЙСТВО дл КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПОВЕРХНОСТЕЙ плоского ИЗДЕЛИЯ

Info

Publication number: SU408144A1
Application number: SU1732249A
Authority: SU
Inventors: Д. П. Ловцов Ю. И. Герман
Original assignee: ФОНД шпгрто
Priority date: 1971-12-31
Filing date: 1971-12-31
Publication date: 1973-12-10

Description

1

Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл контрол контактных новерхностей, например, элементов полупроводниковых приборов.

Известное устройство содержит корпус, в котором размещены измерительное сопло, сопр гаемое рабочей поверхностью с контролируемой поверхностью издели , и пневматический упругий элемент поджима издели к соплу , натекатель и измеритель давлени , сообщенные с корпусом, вакуумный насос и вакуумметр , сообщенные с измерительным соплом .

В устройстве реализуетс молекул рный режим течени воздуха во всей зоне измерени и по показани м вакуумметра оцениваетс .качество поверхности, контактирующей с измерительным соплом.

Цель изобретени - обеспечить контроль качества и параллельности обеих поверхностей .

Это достигаетс тем, что устройство снабжено подвижным к первому соплу вторым измерительным соплом, рабоча поверхность которого параллельна рабочей поверхности первого сопла, сообщенным с вакуумным насосом .

Устройство может быть снабжено плунжером , размещенным внутри второго измерительного сопла и сообщенным с вакуумным

насосом, и пружиной, поджимающей плунжер к изделию.

Это обеспечивает прижатие издели независимо от работы второго измерительного сопла.

На чертеже представлена конструктивна схема устройства.

В корпусе 1 размещены измерительные сопла 2 и 3, плунжер 4 и пружина 5, котора упираетс во фланец 6, соединенный через резиновую мембрану 7 с корпусом.

Вакуумный насос 8 сообщен каналами с сонлами 2 и 3 и вакуумметром 9. К корпусу присоединены натекатель 10 и измеритель 11 давлени .

Взаимное положение сопл и корпуса фиксируетс щ.понками 12.

Рабочие поверхности сопл параллельны. Перед измерением изделие 13 помещают в корпус, сопло 2 жестко скрепл ют с корпусом , а сопло 3 накрывают фланцем 6 и включают насос 8.

Атмосферный воздух давит на фланец 6, выполн ющий вместе с мембраной 7 роль пневматического упругого элемента, и зажимает изделие между рабочими поверх1 ост ми сопл.

Плунжер 4 обеспечивает надежный поджим издели к соплу 2.

Регулиру натекатель 10, устанавливают заданное давление по измерителю 11.

Дл одновременного контрол качества и параллельности обеих поверхностей насос 8 сообщают с обоими соплами.

При контроле качества одной из поверхностей с насосом сообщают сопло, контактирующее с этой поверхностью.

Показани вакуумметра 9 характеризуют в первом случае плоскопараллельность и качество обеих поверхностей, а во втором - качество контролируемой поверхности издели .

Предмет изобретени

Claims

1. Устройство дл контрол качества поверхностей плоского издели , содержащее предназначенный дл установки издели корпус , в котором размещены измерительное сопло, сопр гаемое рабочей поверхностью с

контролируемой поверхностью, и пневматический упругий элемент поджима издели к соплу , натекатель и измеритель давлени , сообщенные с корпусом, вакуумный насос и вакуумметр , сообщенные с измерительным соплом, отличающеес тем, что, с целью одновременного контрол качества и параллельности обеих поверхностей, оно снабжено нодвижным к первому соплу вторым измерительным соплом, рабоча поверхность которого параллельна рабочей поверхности первого сопла , сообщенным с вакуумным насосом.

2. Устройство по п. 1, отличающеес тем, что, с целью прижати издели независимо от работы второго измерительного сопла, оно снабжено плунжером, размещенным внутри второго измерительного сопла и сообщенным с вакуумным насосом, и пружиной, поджимающей плунжер к изделию.

Q Г - --У.

К + li ((л}

- .

V у .,-.

Д ..iLlt L

.