SU398893A1

SU398893A1 - DEVICE FOR NON-CONTACT

Info

Publication number: SU398893A1
Application number: SU1700435A
Authority: SU
Inventors: В. В. Кущ А. С. Кукуй
Priority date: 1971-09-17
Filing date: 1971-09-17
Publication date: 1973-09-27

Description

1one

Насто щее изобретение относитс к области промышленного производства полупроводниковых материалов.The present invention relates to the field of industrial production of semiconductor materials.

Известны устройства дл бесконтрольного контрол удельного сопротивлени полупроводниковых материалов, использующие емкостной метод измерени , заключающийс в том, что в измерительный колебательный контур , питаемый генератором, помещаетс при помощи электродов измер емый образец, сопротивление которого шунтирует через емкость св зи колебательный контур, а процесс измерени заключаетс в изменении величины емкости св зи до момента резонанса измерительного колебательного контура с генератором . Однако при использовании известных устройств на результаты измерений оказывают вли ние геометрические факторы. Например , отклонение диаметра кристалла от номинального на 1 % при определенной геометрии электродов св зи, вызыва изменение емкости св зи, может привести к изменению показаний регистрирующего прибора при том же значении удельного сопротивлени измер емого кристалла на 10% и более в зависимости от степени «остроты резонанса измерительного колебательного контура.Devices for uncontrolled monitoring of the resistivity of semiconductor materials are known, using a capacitive measurement method, which means that a measuring sample, whose resistance shunts an oscillating circuit through a capacitance through electrodes, and the measurement process consists of electrodes. in changing the magnitude of the coupling capacitance until the moment of resonance of the measuring oscillating circuit with the generator. However, when using known devices, geometrical factors influence the measurement results. For example, the deviation of the diameter of the crystal from the nominal by 1% at a certain geometry of the communication electrodes, causing a change in the communication capacitance, can lead to a change in the readings of the recording device at the same resistivity value of the measured crystal by 10% or more depending on the degree of "sharpness resonance measuring oscillatory circuit.

Вли ние отклонени диаметра измер емого кристалла от номинальной величины может сказатьс на результате измерений в большейThe effect of the deviation of the diameter of the measured crystal from the nominal value can be said to be the result of measurements in a larger

мере, чем изменение величины удельного сопротивлени этого же кристалла. Дл устранени подобных влений необходимо производить подстройку измерительного контура в резонанс с генератором, что осуществл етс изменением емкости св зи между кристаллом и измерительным контуром. Такую настройку осуществл ют вручную. В этом полол ении регистрирующий прибор фиксирует амплитудноеmore than the change in the resistivity value of the same crystal. To eliminate such phenomena, it is necessary to adjust the measuring circuit to resonance with the generator, which is done by changing the coupling capacitance between the crystal and the measuring circuit. This setting is done manually. In this polarization, the recording instrument records the amplitude

значение напр жени измерительного контура , соответствующее сопротивлению измер емого кристалла.the voltage value of the measuring circuit corresponding to the resistance of the measured crystal.

Необходимость ручной настройки измерительного колебательного контура в резонансThe need for manual adjustment of the measuring oscillatory circuit in resonance

с генератором вл етс одним из существенных недостатков устройства.with a generator is one of the significant drawbacks of the device.

Дл повыщени точности измерени и упрощени процесса измерений, предлагаемое устройство снабжено переменным корректирующим конденсатором, одна обкладка которого включена последовательно с одним из электродов св зи,.а друга одновременно св зана с измерительным колебательным контуром иIn order to increase the measurement accuracy and simplify the measurement process, the proposed device is equipped with a variable correction capacitor, one plate of which is connected in series with one of the communication electrodes. And the other is simultaneously connected to the measuring oscillator circuit and

регистрирующим устросйтвом, причем ротор переменного корректирующего конденсатора жестко св зан с вышеуказанным электродом св зи.a recording device, wherein the rotor of the variable correction capacitor is rigidly coupled to the aforementioned communication electrode.

На чертеже приведена функциональна схема предлагаемого устройства.The drawing shows a functional diagram of the proposed device.

Генератор 1 питает измерительный колебательный контур 2, в который через емкость св зи 3 включаетс измер емый образец нолунроводника 4. Предлагаемое устройство содержит переменный корректирующий конденсатор 5, ротор которого механически св зан с одним из электродов св зи, занима то или иное положение в зависимости от величины диаметра измер емого кристалла. Включен переменный корректирующий конденсатор последовательно с емкостью св зи полупроводникового кристалла с измерительным колебательным контуром. При изменении положени ротора корректирующего конденсатора, емкость его мен етс таким образом, что компенсирует изменение емкости св зи, вызванное изменением диаметра кристалла, поддержива измерительный колебательный контур в состо нии резонанса с генератором.The generator 1 feeds the measuring oscillating circuit 2, into which the measured sample of the semiconductor 4 is connected through the capacitance of the communication 3. The proposed device contains a variable correction capacitor 5, the rotor of which is mechanically connected to one of the communication electrodes, takes one or another position depending on magnitude of the diameter of the measured crystal. A variable correction capacitor is connected in series with the coupling capacitance of a semiconductor crystal with a measuring oscillator circuit. When the position of the rotor of the correction capacitor changes, its capacitance changes in such a way that it compensates for the change in the coupling capacitance caused by the change in the diameter of the crystal, maintaining the measuring oscillator circuit in resonance with the generator.

Предмет изобретени Subject invention

Устройство дл бесконтактного контрол удельного сонротивлени полупроводниковых материалов, содержащее задающий генератор, измерительный колебательный контур с электродами св зи, внутри которых помещен испытуемый образец нолупроводника, детектор и регистрирующий прибор, отличающеес тем,A device for contactless monitoring of the specific resistivity of semiconductor materials, comprising a master oscillator, a measurement oscillator circuit with communication electrodes, inside which a test sample of a semi conductor is placed, a detector and a recording device, characterized by

что с целью повыщени точности измерени , оно снабжено неременным корректирующим конденсатором, одна обкладка которого включена последовательно с одним из электродов св зи, а друга одновременно св зана с измерительным колебательным контуром и регистрирующим устройством, нричем ротор переменного корректирующего конденсатора жестко св зан с выщеуказанным электродом св зи.that in order to improve the measurement accuracy, it is equipped with a non-temporal correction capacitor, one plate of which is connected in series with one of the communication electrodes, and the other is simultaneously connected to a measuring oscillatory circuit and a registering device, and the rotor of the variable correction capacitor is rigidly connected to the above electrode zi

ffa вторичному приборуffa secondary device