SU397139A1 - Устройство дл возбуждени электромагнитных волн в плазме - Google Patents

Устройство дл возбуждени электромагнитных волн в плазме

Info

Publication number
SU397139A1
SU397139A1 SU1612253A SU1612253A SU397139A1 SU 397139 A1 SU397139 A1 SU 397139A1 SU 1612253 A SU1612253 A SU 1612253A SU 1612253 A SU1612253 A SU 1612253A SU 397139 A1 SU397139 A1 SU 397139A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
plasma
resonator
electromagnetic waves
exciting electromagnetic
exciting
Prior art date
Application number
SU1612253A
Other languages
English (en)
Inventor
А.В. Лонгинов
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to SU1612253A priority Critical patent/SU397139A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU397139A1 publication Critical patent/SU397139A1/ru

Links

Landscapes

  • Plasma Technology (AREA)

Description

1
Изобретение касаетс  термо дерных исследований и может использоватьс  дл  нагрева плазмы с помощью электромагнитных волн. Известно устройство дл  возбуждени  низкочастотных электромагнитных волн в плазме, содержащее катущку с аксиально периодическим распределением тока. При использовании этого устройства дл  нагрева плазмы в больших объемах и с большой плотностью его эффективность невелика, а электрическа  прочность недостаточна.
Цель изобретени  - увеличение эффективности передачи высокочастотной энергии в плазму и уменьшение габаритов устройства. Цель достигаетс  тем, что в предлагаемом устройстве возбуждающий элемент выполнен в виде диэлектрического резонатора и расположен на внутренней поверхности вакуумной камеры.
Резонатор может быть выполнен в виде трубы , или сегмента трубы, или отдельных колец. Во всех случа х резонатор располагают между вакуумной камерой и плазменным шнуром. В качестве материала дл  резонатора используют диэлектрик с высоким значени-ём диэлектрической проницаемости (). Это позвол ет использовать резонатор с малой толщиной стенки и увеличить эффективность передачи высокочастотной энергии в плотную плазму.
На фиг. 1 схематически показано предлагаемое устройство в двух проекци х; на фиг. 2 - аналогичное устройство с резонатором, выполненным в виде набора колец; на фиг. 3
приведен общий вид резонатора, выполненного в виде сегмента трубы.
Резонатор запитывают от источника 1 высокочастотной энергии через коаксиальные кабели 2 и систему вибраторов 3. Число вибраторов выбирают из услови  согласовани  входных импедансов коаксиальных кабелей. Вибраторы представл ют собой отрезки проводников , расположенные в теле резонатора по его периметру.
В случае выполнепи  резонатора в виде набора колец (фиг. 2) зазоры между кольцами выбирают из услови  обеспечени  необходимого аксиального периода собственных колебаний резонатора.
В предлагаемом устройстве при соответствующем выборе величины диэлектрической проницаемости резонатора можно достичь удовлетворительного согласовани  показателей преломлени .
Использу  различные моды собственных колебаний резонатора, можно в одном и том же резонаторе возбуждать колебани  с различными аксиальными волновыми числами, что весьма существенно при экспериментальных
исследовани х. Возможно также одновременное возбуждение волн на двух различных частотах , например дл  одновременного нагрева ионной и электронной компонент плазмы. Использование предлагаемого устройства целесообразно дл  осуществлени  нагрева плазмы в плазменных ловушках. Предмет изобретени  1. Устройство дл  возбуждени  электромагиз источнинитных волн в плазме, состо щее ка высокочастотной энергии, возбуждающего элемента и вакуумной камеры, отличающеес  тем, что, с целью новыщени  эффективности передачи энергии в плазму, возбуждающий элемент выполнен в виде диэлектрического резонатора, расположенного на внутренней поверхности вакуумной камеры. 2. Устройство по п. 1, отличающеес  тем, что резонатор снабжен системой вибраторов .
Ч
н
Ш 883 8бг
SU1612253A 1971-01-25 1971-01-25 Устройство дл возбуждени электромагнитных волн в плазме SU397139A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU1612253A SU397139A1 (ru) 1971-01-25 1971-01-25 Устройство дл возбуждени электромагнитных волн в плазме

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU1612253A SU397139A1 (ru) 1971-01-25 1971-01-25 Устройство дл возбуждени электромагнитных волн в плазме

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU397139A1 true SU397139A1 (ru) 1975-03-05

Family

ID=20463821

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU1612253A SU397139A1 (ru) 1971-01-25 1971-01-25 Устройство дл возбуждени электромагнитных волн в плазме

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU397139A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3011807B1 (de) * 2013-08-02 2017-11-15 Eeplasma GmbH Vorrichtung und verfahren zur behandlung von prozessgasen in einem plasma angeregt durch elektromagnetische wellen hoher frequenz

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3011807B1 (de) * 2013-08-02 2017-11-15 Eeplasma GmbH Vorrichtung und verfahren zur behandlung von prozessgasen in einem plasma angeregt durch elektromagnetische wellen hoher frequenz

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5389153A (en) Plasma processing system using surface wave plasma generating apparatus and method
US2856497A (en) Dielectric matching devices
SE7605540L (sv) Anordning for hogfrekvensuppvermning
US2468243A (en) Electron discharge device
SU397139A1 (ru) Устройство дл возбуждени электромагнитных волн в плазме
US2476034A (en) Conformal grating resonant cavity
US3095880A (en) Diathermy applicators
US3021120A (en) Ultrasonic irradiating device
US1998332A (en) Heating apparatus and system
US3283113A (en) Electronic oven for vending machine use
SU434891A1 (ru) Устройство дл возбуждени электромагнитных волн в плазме
US3024182A (en) Plasma energization
US3371264A (en) Tuned cavity assembly for harmonic generation of acoustic and electromagnetic waves of gigacycle frequencies
GB580374A (en) Improvements in apparatus for heating by high frequency electric energy
US2466853A (en) Apparatus for microwave heating of dielectric materials
US2897494A (en) Radiator for short-wave devices
US3614512A (en) Ionizing device
Madveika et al. Theoretical analysis of low vacuum microwave discharge exciting and maintaining conditions in resonator type plasmatron
US2823335A (en) Vane type network attenuation means
SU72718A1 (ru) Безэлектродный разр дный прибор
SU553013A1 (ru) Магнитострикционный вибратор
RU2001671C1 (ru) Электромагнитный излучатель В.Г.Вохм нина
SU586575A1 (ru) Устройство дл нагрева токами свч деталей из непровод щего материала
SU648804A1 (ru) Индукционна вибросушилка дл сыпучих материалов
US3544880A (en) Microwave harmonic generator utilizing self-resonant ferrite