SU387225A1

SU387225A1 - OPTICAL RADIATION ENERGY DISPENSER

Info

Publication number: SU387225A1
Application number: SU1430564A
Authority: SU
Inventors: П. Сироткин А. В. Ярош В. Грудинский
Priority date: 1970-04-23
Filing date: 1970-04-23
Publication date: 1973-06-21

Description

....

Изобретение относитс к области фототехники и литографии. ,:The invention relates to the field of photographic equipment and lithography. ,:

Известный дозатор энергии оптического излучени , содержащий фотоэлектрический преобразователь, усилитель, нуль-орга.н, делитель напр жени и измерительный прибор, обладает малым быстродействием и низкой точностью, а также ненадежен в работе.The known optical radiation energy metering device containing a photoelectric converter, an amplifier, a zero-organ, a voltage divider and a measuring device has a low speed and low accuracy, and is also unreliable in operation.

В предлагаемый дозатор, с целью повышени быстродействи и точности измерени , введен компенсирующий траизистор, база которого соединена с делителем напр жени , а измерительный прибор включен между выходом нуль-органа и эмиттером компенсирующего транзистора.In the proposed metering device, in order to increase the speed and accuracy of measurement, a compensating tracer is inserted, the base of which is connected to a voltage divider, and the measuring device is connected between the zero-organ output and the emitter of the compensating transistor.

На чертеже представлена схема предлагаемого устройства.The drawing shows a diagram of the proposed device.

Дозатор содержит фотоэлектрический преобразователь /, который состоит из фотоэлемента 2, зар дного конденсатора 3, реле 4 с контактами 5 И 6; усилитель 7, собранный на лаМПе 8; нуль-орган 9, собранный на транзисторах 10 и 11; компенсирующий транзистор 12; делитель 13 напр жени , содержащий -потенциометр 14; измерительный, прибор 15.Устройство р-аботает следующим образом.The dispenser contains a photoelectric converter /, which consists of a photocell 2, a charge capacitor 3, a relay 4 with contacts 5 AND 6; amplifier 7 assembled on lampe 8; zero-body 9, assembled on transistors 10 and 11; compensating transistor 12; voltage divider 13 containing a potentiometer 14; measuring device 15. The device p-works as follows.

Запускающий импульс переключает ч контакты 5 6 реле 4 в нижнее положение. Ток фотоэлемента 2 зар жает конденсатор 5, потенциал зар да конденсатора увеличиваетс The triggering pulse switches the contacts 5 5 of the relay 4 to the lower position. The photocell current 2 charges the capacitor 5, the potential of the capacitor charge increases

пропорционально величине энергии излучени , поступающей иа фотокатод фотоэлемента- , с/тот потенциал додаетс посредством катодного повторител на один из входов нуль-органа 9, на второй вход которого подаетс потенциал средней точки потенциометра 14 делител 13. По достижении напр жени на конденсаторе 5 потенциала средней точки потенциометра делител сигнал сproportional to the amount of radiation energy supplied to the photocathode of the photoelectric cell, c / the potential is given by a cathode follower to one of the inputs of the zero body 9, to the second input of which the potential of the midpoint of the potentiometer 14 of the divider 13 is applied. points potentiometer divider signal with

выхода нуль-органа прекращаетс . Цикл дозации завершаетс . Длительность дозировани определ етс длительностью импульса с выхода нуль-органа, который возникает в момент прихода запускающего импульса наthe null organ output is terminated. The dosing cycle is completed. The duration of the dosing is determined by the pulse duration from the output of the null organ, which occurs at the moment of the arrival of the trigger pulse at

контактах 6 реле 4.contacts 6 relays 4.

Величина дозы энергии излучени задаетс регулированием потенциометра 14. Дозу энергии и ее остаток (энергии излучени , необходимой дл завершени дозировани ) вThe dose of radiation energy is set by adjusting the potentiometer 14. The dose of energy and its remainder (the radiation energy required to complete the dosing) in

процессе дозации измер ют с помощью измерительного прибора 15.The dosing process is measured using a measuring device 15.

Предлагаемое устройство может найти применение в электронной промышленности приThe proposed device can be used in the electronics industry when

производстве интегральных схем методом фотолитографии , . в /полиграфической промышленности П,ри фоторепродукционных работах, а также в других област х техники, где требуетс точное .дозирование энергий излучени оптического диапазона.the manufacture of integrated circuits by the photolithography method,. in the printing industry, photo reproduction, as well as in other areas of technology where precise dosing of the radiation energy of the optical range is required.

Предмет изобретени Subject invention

Дозатор энергии оптического излучени , содержащий измерительный прибор, делитель напр жени и фотоэлектрический преобразователь , соединенный со входом нуль-органа через усилитель, отличающийс тем, что, сAn optical radiation energy meter containing a measuring device, a voltage divider and a photoelectric converter connected to the zero-organ input through an amplifier, characterized in that

целью ловышени быстродействи и точности измерен)и , в дозатор введен комленсирую-щий транзистор, база «оторого соединена с делителем напр жени , а измерительный прибор включен между выходом нуль-органа и эмиттером ком-пенсирующего транзистора.the purpose of speeding and accuracy is measured) and, a metering transistor is inserted into the metering unit, the base is connected to the voltage divider, and the measuring device is connected between the zero-output circuit and the emitter of the compensating transistor.

1 tlj1 tlj