SU317928A1 - PIEZOELECTRIC PRESSURE SENSOR - Google Patents

PIEZOELECTRIC PRESSURE SENSOR

Info

Publication number
SU317928A1
SU317928A1 SU1459720A SU1459720A SU317928A1 SU 317928 A1 SU317928 A1 SU 317928A1 SU 1459720 A SU1459720 A SU 1459720A SU 1459720 A SU1459720 A SU 1459720A SU 317928 A1 SU317928 A1 SU 317928A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
pressure sensor
piezoelectric pressure
sensors
piezocrystal
piezoelectric
Prior art date
Application number
SU1459720A
Other languages
Russian (ru)
Original Assignee
Г. Сунцов
Publication of SU317928A1 publication Critical patent/SU317928A1/en

Links

Description

Изобретение относитс  к области измерительной техники и предназначено дл  улучшени  характеристики пьезоэлектрических датчиков давлени , работающих в услови х интенсивных вибраций.The invention relates to the field of measurement technology and is intended to improve the performance of piezoelectric pressure sensors operating under conditions of intense vibrations.

Известны датчики давлени  с пьезоэлементом , выполненным в виде одиночного пьезокристалла .Pressure sensors with a piezoelectric element made in the form of a single piezocrystal are known.

Недостатками подОбных датчиков  вл ютс  сложность конструкции, технологии сборки и подстройки датчиков в цел х снижени  восприимчивости к ускорени м. В этих случа х используютс  либо два отдельных пьезоэлемента, состо щих,.как пр авило, минимум из двух пьезопластин , либо стопа из нескольких рабочих пьезопластин и инерщионного груза, зажатого между рабочими и компенсирующими льезоэлементами . У пьезокерамических комиенсировапных датчиков происходит со временем увеличение восприимчивости к ускорени м, так как при старени  керамики характеристики отдельных пьезокерамических пластин мен ютс  неодинаково.The disadvantages of sub-common sensors are the complexity of the design, the assembly technology and the adjustment of the sensors in order to reduce susceptibility to accelerations. In these cases either two separate piezoelements are used, consisting, for example, of a minimum of two piezoplates, or a foot of several workers piezoplastin and inertial load, sandwiched between workers and compensating for the elements. With piezoelectric sensors, over time, the increase in susceptibility to acceleration occurs, as the characteristics of individual piezoceramic plates change differently with the aging of ceramics.

Следствием конструктивной сложности виброкомпенсированных датчиков и наличи  в них большого числа деталей  .вл етс  низка  частота собственных колебаний и плохое временное разрещение этих датчиков.The consequence of the structural complexity of the vibration-compensated sensors and the presence of a large number of parts in them is the low natural frequency and the poor temporal resolution of these sensors.

ни  - повышение точности измерений и вр менного разрешени , снижение восприимчив сти к ускорени м, а также упрощение коне рукции и снижение стоимости датчиков.Neither - improving the accuracy of measurements and time resolution, reducing the susceptibility to accelerations, as well as simplifying the design and reducing the cost of sensors.

Дл  этого опора пьезоэлемента в датчик расположена в плоскости, раздел ющей ц линдр на две симметричные части.For this, the support of the piezoelectric element in the sensor is located in the plane dividing the cylinder into two symmetric parts.

На чертеже схематически изображен пре. л гаемый датчик.The drawing shows schematically pre. l goy sensor

Датчик содержит корпус 1 с уступом дл опоры и креплени  одиночного закрепленно-г по по су пьезокристалла 2, имеющего выв ды 5 и от активных .поверхностей, и экран соединенный с корпусом.The sensor includes a housing 1 with a ledge for supporting and securing a single fixed-on-the-cue piezocrystal 2 having outputs 5 and from active surfaces, and a screen connected to the housing.

По.д дей1ствием давлени  деформируете верхн   часть пьезокристалла от верхней а тивной поверхности до кольцевой опоры, нил н   часть пьезокристалла остаетс  недеформ. рованной. Полезный сигнал снимаетс  с выв дов 5 и 4. В то же црем  при действии у-скор НИИ в направлении оси датчика в верхней нижней част х пьезокристалла возникают о ратно симметричные картины напр женнь состо ний, благодар  чему суммарный выхо ной сигнал датчика стремитс  к нулю. Пс действием поперечных составл ющих ускор НИИ паразитных сигналов практически не во никает вследствие симметрии пьезокристал; относительно его продольной оси.By the action of the pressure, you deform the upper part of the piezocrystal from the upper active surface to the annular support, while the nil and part of the piezocrystal remain nondeform. mated The useful signal is removed from outputs 5 and 4. At the same time, under the action of u-speed, the scientific research institute in the direction of the sensor axis in the upper lower part of the piezocrystal there appear neatly symmetrical patterns of stress states, due to which the total output signal of the sensor tends to zero . The action of the transverse components of the acceleration of the scientific research institute of spurious signals practically does not arise due to the symmetry of the piezocrystal; relative to its longitudinal axis.

ка обеспечивает по1ВЫ1шенную защищенность,от электроматнитных помех, в особенности при его подключении к цредусилителю с симметричным (балансным) входом.It provides very high protection against electromagnetic interference, especially when it is connected to a co-amplifier with a balanced (balanced) input.

Предмет изобретени Subject invention

Пьезоэлектрический датчик давлени , содержащий размещенный в корпусе пьезоэлемент , выполненный в виде .одиночного цилиндр ического пьезокрИСталла с металлизированными торцовыми поверхност ми с выводами, отличающийс  тем, что, с целью повышени  точности .и уменьшени  вли ни  ускорени , в нем опора пьезозлемента расположена в плоскости , раздел ющей цилиндр на две симметричные части.A piezoelectric pressure sensor containing a piezoelectric element placed in a housing, made in the form of a single cylinder of a piezoelectric crystal with metallized face surfaces with leads, characterized in that, in order to improve accuracy and decrease acceleration, the piezoelement support is located in a plane, separating the cylinder into two symmetrical parts.

SU1459720A PIEZOELECTRIC PRESSURE SENSOR SU317928A1 (en)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU317928A1 true SU317928A1 (en)

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4479385A (en) Double resonator cantilever accelerometer
US5117696A (en) Biaxial accelerometer
EP3615945B1 (en) High performance micro-electro-mechanical systems accelerometer with electrostatic control of proof mass
CN109883602B (en) Self-compensating silicon micro-resonant pressure sensitive chip based on SOI
US8939027B2 (en) Acceleration sensor
CN108375371A (en) A kind of four-degree-of-freedom weak coupling resonance type accelerometer based on mode localization effect
SU317928A1 (en) PIEZOELECTRIC PRESSURE SENSOR
US11604207B2 (en) High performance micro-electro-mechanical systems accelerometer with suspended sensor arrangement
US3440888A (en) Bifurcate resonance column
SU558220A1 (en) Piezoelectric accelerometer
JPS6321518A (en) Vibration sensor
RU2046348C1 (en) Accelerometer
SU1760462A1 (en) Three-component piezoelectric accelerometer
SU811174A1 (en) Seismometer
RU2098832C1 (en) Sensitive element of capacitance acceleration meter
SU567970A1 (en) Pressure pickup
SU1587344A1 (en) Three-component vibration transducer
SU1464110A1 (en) Device for measuring linear acceleration
SU588497A1 (en) Piezoelectric accelerometer
SU1075170A1 (en) Vibration acceleration pickup
SU1354148A1 (en) Vertical geophone
SU641380A1 (en) Gravimeter
SU1449959A1 (en) Three-component piezoelectric seismometer
RU2061242C1 (en) Three-component piezoelectric vibrational accelerometer with single sensitive element
JP3129022B2 (en) Acceleration sensor