SU309254A1 - Способ измерения амплитуд механическихколебаний - Google Patents

Способ измерения амплитуд механическихколебаний

Info

Publication number
SU309254A1
SU309254A1 SU1392637A SU1392637A SU309254A1 SU 309254 A1 SU309254 A1 SU 309254A1 SU 1392637 A SU1392637 A SU 1392637A SU 1392637 A SU1392637 A SU 1392637A SU 309254 A1 SU309254 A1 SU 309254A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
amplitudes
measuring
mechanical oscillations
mirror
microscope
Prior art date
Application number
SU1392637A
Other languages
English (en)
Inventor
Н. Романов Б.
Original Assignee
Всесоюзный научно исследовательский , конструкторский институт
научного приборостроени
Publication of SU309254A1 publication Critical patent/SU309254A1/ru

Links

Description

Изобретение относитс  к технике измерений параметров механических колебаний и может быть использовано дл  измерени  и контрол  амплитуды колебаний, например, электрода электромеханического емкостного преобразовател  (динамического конденсатора) в лабораторных и производственных услови х, а также дл  измерени  преимущественно малых амплитуд механических колебаний звуковой и ультразвуковой частот в радиотехнической и электронной промышленности.
Известны способы измерени  амплитуд механических колебаний путем использовани  системы двух взаимно параллельных зеркал (зеркальных умножителей), сущность которых заключаетс  в измерении длины хода или углового положени  многократно отраженных от зеркал параллельных пучков.
Однако известные способы не могут быть использованы в производственных услови х, так как требуют точной юстировки параллельности отражающих поверхностей зеркал при установке каждого испытуемого вибропреобразовател .
Цель изобретени  - устранени  указанных недостатков известных способов.
калу второго зеркала, прикрепленного к контролируемому объекту с возможностью плоско-параллельного перемещени , а о контролируемом параметре суд т по щирине свет щейс  полосы, образованной смещением дифракционного изображени  скощенной кромки неподвиисного зеркала, наблюдаемой с помощью микроскопа. На чертеже изображен вариант устройства,
при помощи которого осуществл етс  предлагаемый способ.
На столике микроскопа установлен наклонный держатель 1, в котором закрепл етс  внбропреобразователь 2. Параллельно зеркальному электроду 3 установлено неподвижное зеркало 4 с острой кромкой 5, освещаемой импульсным источником света 6.
Дифракционное изображение кромки 5 наблюдаетс  через микроскоп 7 и совмещаетс 
в крайних положени х с окул рной нитью. Разница в крайних положени х изображени  определ етс  в увеличенном виде по щкале микрометрического винта столика микроскопа .
25
Предмет изобретени 
ных параллельно относительно друг друга зеркал, одно из которых неподвижно и снабжено острой скошенной кромкой, а другое закреплено на контролируемом объекте, отличающийс  тем, что, с целью повышени  точности и упрош,ени  процесса измерений, световой луч направл ют на скошенную кромку
неподвижного зеркала под углом падени  15-30° к поверхности подвижного зеркала, а о контролируемом параметре суд т по ширине свет шейс  полосы, образованной смешением дифракционного изображени  скошенной кромки, наблюдаемой с помошью микроскопа .
6 Ч
SU1392637A Способ измерения амплитуд механическихколебаний SU309254A1 (ru)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU309254A1 true SU309254A1 (ru)

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109030624B (zh) 缺陷检测方法以及缺陷检测装置
RU2518859C2 (ru) Система обнаружения для динамического зонда
US9304144B2 (en) Multiple probe actuation
US9297991B2 (en) Lighting method and microscopic observation device
KR20010033388A (ko) 막 두께 측정을 위한 향상된 방법 및 장치
US9389243B2 (en) Multiple probe actuation
CN111307269B (zh) 激光共焦/差动共焦拉曼光谱振动参数测量方法
CN110869696B (zh) 耐振白色光干涉显微镜及其振动影响去除方法
SU309254A1 (ru) Способ измерения амплитуд механическихколебаний
CN110850659B (zh) 一种微尺度激光测量扫描装置
US3232165A (en) Interferometer having plural slit source
CN112731345B (zh) 具有主动光学防抖功能的抗振型面阵扫频测距/厚的装置和方法
Lawrence et al. MEMS characterization using new hybrid laser Doppler vibrometer/strobe video system
Shan et al. An automatic stabilization system for a confocal Fabry-Perot interferometer used in the detection of laser-generated ultrasound
KR101085061B1 (ko) 고속카메라와 연속위상주사 방법을 이용한 진동둔감 간섭계
CN112711030A (zh) 一种显微镜面阵扫频测量装置和方法
CN112711029A (zh) 一种面阵扫频测量装置和方法
RU2640963C1 (ru) Способ управления фазовым сдвигом в интерференционных системах
CN111551503B (zh) 一种非接触式检测材料弹性模量的激光超声系统及方法
RU1772634C (ru) Способ измерени амплитуды колебаний
CN111207674B (zh) 一种基于单层光栅多次衍射的位移传感器
CN114018825B (zh) 一种高精度光折变晶体干涉无损探伤设备及方法
CN112731346B (zh) 具有主动光学防抖功能的显微型面阵扫频测距/厚的装置和方法
Carr et al. The use of interferometry in the investigation of ultrasound transducers
Kamshilin et al. Computer acquisition of 3D images utilizing dynamic speckles