SU304427A1

SU304427A1 - DEVICE FOR TESTING AND CERTIFICATION OF CURVOLINEAR EVOLUTIONAL SURFACES

Info

Publication number: SU304427A1
Application number: SU1357837A
Authority: SU
Original assignee: Г. Я. Гафанович

Description

Изобретение относитс к области машиностроени , в частности, к измерительной технике дл линейно-угловых измерений и может быть применено при контроле -и аттестации рабоч.их профилей образцовых эвольвентных кулаков, зубьев зубчатых колес и других изделий .The invention relates to the field of mechanical engineering, in particular, to measuring equipment for linear-angular measurements and can be applied in the control and certification of working profiles of exemplary involute cams, gear teeth and other products.

Известен прибор дл поверки .и аттестации криволинейных эвольвентных новерхносте, содержащий две системы, одна из которых предназначена дл измерени пол рного угла, а друга - дл измерени радиуса-вектора.A device for checking and certifying curvilinear involute surfaces is known, containing two systems, one of which is designed to measure the polar angle and the other to measure the radius vector.

Предлагаемый прибор отличаетс от .известного тем, что с целью повышени точности и производительности поверки системы вылолнены в виде двух совместно работа1от.их интерферометров с эталонами Фабри-Перо, а .интерферометр дл измерени нол рного угла снабжен светоделительным элементом, образующим два иараллельных рабочих плеча ийтерферометра , и .компенсаторами, установленными в этих плечах.The proposed device differs from that known in order to improve the accuracy and performance of the calibration, the systems are filled in the form of two jointly work of their interferometers with Fabry-Perot standards, and the interferometer for measuring the zero angle is equipped with a beam-splitting element forming two and parallel working arms of the interferometer , and. compensators installed in these shoulders.

На фиг. 1 и фиг. 2 изображена нрннциннальна схема предлагаемого прибора.FIG. 1 and FIG. 2 shows an effective circuit diagram of the proposed device.

Прибор содержит интерферометр дл ,измерени пол рного угла, включающий в себ источник / света, поворотный столик 2, на котором установлены уголковые отражатели 3, ком.пенсаторы 4, нредставл юиаие собой две Плоские клиновидные нластины, светоделительный элемент 5 в в,нде призмы Кестерса; иитерферометр дл измерени радиуса-вектора , включающий в себ источник 6 света, светоделительное устройство 7 (делительный кубик), зеркала 8 и 9, объектив 10, окул рный микрометр //; эталоны 12 и 13 ФабриПеро , установленные дл двух нлечей в пучке белого света обоих интерферометров; зрительную трубу, состо щую из объектива 14, окул ра 15 и щели 16. Кроме того, прибор имеет повер емый профиль 17.The device contains an interferometer for measuring the polar angle, which includes the source / light, turntable 2, on which the corner reflectors 3 are installed, the capacitors 4, which represent two wedge-shaped flat plates, the beam-splitting element 5 in the Kesters prism ; an interferometer for measuring the radius-vector, which includes a source of light 6, a beam-splitting device 7 (dividing cube), mirrors 8 and 9, a lens 10, an ocular micrometer //; FabriPero standards 12 and 13 set for two nukes in a white light beam of both interferometers; telescope consisting of a lens 14, an eyepiece 15 and a slit 16. In addition, the device has a profile to be turned 17.

Работает предлагаемый прибор следующим образом.Works proposed device as follows.

От источников 1 п 6 света параллельные нучкн белого света поступают на эталоны фабрн-Перо, с размерами /i - дл интерферометра измерени пол рного угла и дл интерферометра измереии радиуса-вектора , благодар чему можно наблюдать интерференционные картины в белом свете при разност х хода 0,2 f, 4/, ..., 2 nt (где п 0, 1, 2 ...).From sources 1 and 6 of light, parallel white light nucc signals arrive at the Fabr-Perot standards, with dimensions / i for the polar angle measurement interferometer and for the interferometer for measuring the radius vector, so that interference patterns in white light can be observed at path differences 0 , 2 f, 4 /, ..., 2 nt (where n 0, 1, 2 ...).

Таким образом, образуетс «интерференционна щкала с нитервалом делений в 2t, реалнзуема ахроматическими полосами переналожени ; далее, попада на светоделительный элемент 5 и светоделительный кубик 7, каждый луч раздел етс на две составл ющих . Пз светоделительиого элемента 5 в виде приз.мы Кестерса онн выход т двум параллсльнымн лучами, каждый из которых, пройд компенсатор 4 и попада на уголковые отражатели 3, возврап1аетс в светоделительнын элемент 5 и затем в зрителвпую трубу, где п наблюдаетс интерференционна картина . За счет поворота компенсатора вокруг оптпческо осн лгогут быть исключены иогрешиости :31отовлени и склейки светоделнтельного элемента 5 ( Кестерса), а также обеснечиваетс оптимальна интерференциониа картнна (в части ширины и направлени И1Г1е;)ферепцнонных полос). При этом iioiicр змый профиль 17 (в сечении-эвольвента), последовательные положени которого определ ютс угловым шагом Дер, вл етс отражающей поверхностью в рабочем нлече интерферометра типа Майкельсона, поворачиваюн1 ,ейс вокруг оси О вместе со столиком 2.Thus, an "interference scale with a 2t division interval in 2t, realized with achromatic relocation bands; Next, fall on the beam-splitting element 5 and the beam-splitting cube 7, each beam is divided into two components. Pz of the beam-splitting element 5 in the form of a Kesters prize. It comes out with two parallel beams, each of which, having passed the compensator 4 and falling on the corner reflectors 3, returns to the beam-splitting element 5 and then to the spectator tube, where n is observed the interference pattern. Due to the rotation of the compensator around the mainframe, the faults can be eliminated: 31students and gluing of the shedding-making element 5 (Kesters), as well as cleaning the optimal interference pattern (in terms of the width and direction of I1G1e;) of the fractal stripes). The iioiic profile 17 (in section-involute), whose sequential positions are determined by the angular pitch Der, is a reflective surface in the working arm of the Michelson-type interferometer, rotated 1, around the axis O along with the table 2.

В интерферометре дл измерени радиусавектора из делительного кубика 7 выход т два взаимно перпеидпкул рных луча, один из которы.х попадает на зеркало 5 посто нного нлеча (референтное зеркало), а другой на отражаю1цую поверхпость провер емого профил 17.In the interferometer for measuring the radius tector of the dividing cube 7, two mutually perpendicular beams emerge, one of which hits the mirror 5 of the constant null (reference mirror), and the other onto the reflecting surface of the profile being tested 17.

Отраженные лучи, пройд светоделительный кубик 7, направл ютс в оптическую систему , состо щую из объектива 10, зеркала 9Reflected rays, passing the beam-splitting cube 7, are directed into the optical system consisting of lens 10, mirror 9

и окул рного микрометра //, где наблюдаетс иитерференциоииа картина и нроизводитс объективный отсчет иогрешпости провер емого профил /7.and the ocular micrometer //, where the interference and the picture are observed and an objective reading of the error of the profile being checked / 7 is produced.

Таким образом, измерени свод тс к гдинственному неремещению - вращению новер емого профил вокруг оси, а интерферометры показывают отклонени реального профил от теоретического непосредственно в длинах световых 1ВОЛН, что значительно упрои1.ает процесс измерени , поБьпнает его точность И производительность.Thus, measurements are reduced to only non-displacement — rotation of the indented profile around the axis, and interferometers show deviations of the real profile from the theoretical one directly in the light lengths of 1 VOLN, which greatly simplifies the measurement process, its accuracy and performance.

Предмет изобретени Subject invention

Прибор дл поверки и аттестации криволинейных эвольвентных поверхностей, содержаший две системы, одна из которых предиазиачена дл измерени пол рного угла, а друга - дл измерени радиуса-вектора, отличающийс тем, что, с целью повышепи точпости п нроизводительиости иоверки, системы вынолнены в виде двух совместно работаюнигх интерферометров с эталонами Фабри-Перо, а интерферо.метр дл измереTiHH пол рного угла снабжен светоделительным эле.ментом, образующим два параллельных рабочих плеча интерферометра, и компенсаторами , установленными в этих нлечах.A device for checking and certifying curvilinear involute surfaces, containing two systems, one of which is predicated for measuring the polar angle and the other for measuring the radius vector, characterized in that, in order to improve the accuracy of the verification, the systems are implemented as two co-operate with interferometers with Fabry-Perot etalons, and the interferometer meter for measuring the TiHH polar angle is provided with a beam-splitting element forming two parallel working arms of the interferometer, and in these nlechas.