SU260233A1 - PRESSURE SENSOR WITH FREQUENCY OUTPUT - Google Patents

PRESSURE SENSOR WITH FREQUENCY OUTPUT

Info

Publication number
SU260233A1
SU260233A1 SU1259764A SU1259764A SU260233A1 SU 260233 A1 SU260233 A1 SU 260233A1 SU 1259764 A SU1259764 A SU 1259764A SU 1259764 A SU1259764 A SU 1259764A SU 260233 A1 SU260233 A1 SU 260233A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
pressure sensor
frequency output
membranes
pressure
aneroid box
Prior art date
Application number
SU1259764A
Other languages
Russian (ru)
Original Assignee
Г. Г. Смирнов
Publication of SU260233A1 publication Critical patent/SU260233A1/en

Links

Description

Изобретение относитс  к контрольно-измерительным приборам, в частности к датникам давлени , содержащим резонирующий - увствительный элемент, например анероидную коробку .The invention relates to instrumentation, in particular, pressure sensors containing a resonating sensing element, such as an aneroid box.

Известные датчики давлени  с частотным выходом, содержащие анероидную коробку и электро-магнитные системы возбуждени  и съема колебаний, имеют нелинейную характеристику .Known pressure output sensors with frequency output, containing aneroid box and electro-magnetic excitation and pick-up systems, have a non-linear response.

Дл  линеаризации характеристики в предлагаемом датчике давлени  внутри анероидной коробки размещен жестко закрепленный по контуру магнит с полюсами, расположенными на оси, проход щей через центры мембран .In order to linearize the characteristics, in the proposed pressure sensor, inside the aneroid box, a magnet fixed with a contour with poles located on the axis passing through the centers of the membranes is placed.

На фиг. 1 представлена принципиальна  схема устройства; на фиг. 2 - график зависимости между давлением и выходным сигналом датчика.FIG. 1 is a schematic diagram of the device; in fig. 2 is a graph of the relationship between pressure and sensor output.

В корпусе / датчика размещена анероидна  коробка 2, образованна  двум  нлоск ими Me.viбранами 3 с утолщенными по периферии кра ми 4, внутри которой находитс  магнит 5 с полюсами, расположенными на оси 6, проход щей через центры мембран 3. Магнит жестко закреплен по контуру к основани м мембран .An aneroid box 2 is placed in the housing / sensor, formed by two MeloSi-tapes 3 with edges 4 thickened on the periphery, inside which there is a magnet 5 with poles located on axis 6 passing through the centers of the membranes 3. to the bases of the membranes.

На наружных торцовых част х корпуса /On the external end parts of the body /

установлены электромагнитные системы 7 и SElectromagnetic systems 7 and S are installed.

возбуждени  и съема колебани  мембранexcitation and removal of membrane oscillations

соответственно, соединенные через усилитель 9.respectively, connected through an amplifier 9.

Взаимодействие .мембран 3 с магнитом 5 приводит к дополнительному прогибу, су.мм.ирующе1мус  с основным прогибом, вызванным изменением давлени . Экспериментально доказано , что предварительный прогиб мембран составл ет 0,3-0,4 от их статического прогиба в диапазоне измерени  .The interaction of the membrane 3 with the magnet 5 leads to an additional deflection, sum.mm.iruyushchemus with the main deflection caused by the pressure change. It has been experimentally proven that the pre-deflection of the membranes is 0.3-0.4 of their static deflection in the measurement range.

Датчики целесообразно использовать например , дл  измерени  малых давлений газов. Sensors should be used, for example, to measure low gas pressures.

Предмет изобретени Subject invention

Датчик давлени  с -частотным выходом, содерл ащий анероидную коробку, образованную двум  плоскими мембранами, и электромагнитные системы возбуждени  и съема колебаний , отличающийс  тем, что, с целью линеализации характеристик1и, в нем внутри анероидной коробки размещен жестко закрепленный по контуру магнит с полюсами, расположенными на оси, проход щей через центры мембран.A pressure sensor with a frequency output, containing an aneroid box formed by two flat membranes, and electromagnetic systems of excitation and oscillation removal, characterized in that, in order to linearize the characteristics, inside it there is a magnet with poles inside the aneroid box. on the axis passing through the centers of the membranes.

liSMliSM

SU1259764A PRESSURE SENSOR WITH FREQUENCY OUTPUT SU260233A1 (en)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU260233A1 true SU260233A1 (en)

Family

ID=

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4565497A (en) * 1982-12-03 1986-01-21 Novacor Medical Corporation Pump actuator

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4565497A (en) * 1982-12-03 1986-01-21 Novacor Medical Corporation Pump actuator

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4644804A (en) Quartz resonating force and pressure transducer
Harada et al. Various applications of resonant pressure sensor chip based on 3-D micromachining
US4098133A (en) Vibrating diaphragm fluid pressure sensor device
GB2189601A (en) Mechanical resonator device
CN108205118B (en) Resonant magnetic sensor sensitive unit and digital frequency output magnetic sensor
US5969257A (en) Pressure measuring membrane with resonant element vibrating orthogonal to membrane movement
SU260233A1 (en) PRESSURE SENSOR WITH FREQUENCY OUTPUT
US3425281A (en) Vacuum gauge apparatus
US6079266A (en) Fluid-level measurement by dynamic excitation of a pressure- and fluid-load-sensitive diaphragm
US3427885A (en) Differential pressure transducer
US3628381A (en) Electrical pressure transducer for high-temperature fluid systems
JPS58156826A (en) Pressure frequency converter
US4255973A (en) Digital pressure transducer for use at high temperatures
CN210774446U (en) Resonant pressure sensor
GB880361A (en) Dual string force transducer
JPS60186725A (en) Pressure sensor
US3427884A (en) Differential pressure transducer
US4669316A (en) Differential-pressure apparatus employing a resonant force sensor
SU263231A1 (en) PRESSURE SENSOR WITH FREQUENCY OUTPUT
SU164150A1 (en)
SU306373A1 (en) A.I. Ioffe § ^ - ^^ 2HAi1У (^^ “С-Н: .ШНШtVlb / ^ - OTEv: ^
RU1812464C (en) Pressure-to-frequency transducer
CN211147907U (en) Silicon micromechanical resonance pressure sensor based on MEMS technology
SU344303A1 (en) PRESSURE SPEED SENSOR
SU310142A1 (en) PRESSURE SENSOR WITH FREQUENCY OUTPUT