SU260233A1 - PRESSURE SENSOR WITH FREQUENCY OUTPUT - Google Patents
PRESSURE SENSOR WITH FREQUENCY OUTPUTInfo
- Publication number
- SU260233A1 SU260233A1 SU1259764A SU1259764A SU260233A1 SU 260233 A1 SU260233 A1 SU 260233A1 SU 1259764 A SU1259764 A SU 1259764A SU 1259764 A SU1259764 A SU 1259764A SU 260233 A1 SU260233 A1 SU 260233A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- pressure sensor
- frequency output
- membranes
- pressure
- aneroid box
- Prior art date
Links
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 8
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static Effects 0.000 description 1
Description
Изобретение относитс к контрольно-измерительным приборам, в частности к датникам давлени , содержащим резонирующий - увствительный элемент, например анероидную коробку .The invention relates to instrumentation, in particular, pressure sensors containing a resonating sensing element, such as an aneroid box.
Известные датчики давлени с частотным выходом, содержащие анероидную коробку и электро-магнитные системы возбуждени и съема колебаний, имеют нелинейную характеристику .Known pressure output sensors with frequency output, containing aneroid box and electro-magnetic excitation and pick-up systems, have a non-linear response.
Дл линеаризации характеристики в предлагаемом датчике давлени внутри анероидной коробки размещен жестко закрепленный по контуру магнит с полюсами, расположенными на оси, проход щей через центры мембран .In order to linearize the characteristics, in the proposed pressure sensor, inside the aneroid box, a magnet fixed with a contour with poles located on the axis passing through the centers of the membranes is placed.
На фиг. 1 представлена принципиальна схема устройства; на фиг. 2 - график зависимости между давлением и выходным сигналом датчика.FIG. 1 is a schematic diagram of the device; in fig. 2 is a graph of the relationship between pressure and sensor output.
В корпусе / датчика размещена анероидна коробка 2, образованна двум нлоск ими Me.viбранами 3 с утолщенными по периферии кра ми 4, внутри которой находитс магнит 5 с полюсами, расположенными на оси 6, проход щей через центры мембран 3. Магнит жестко закреплен по контуру к основани м мембран .An aneroid box 2 is placed in the housing / sensor, formed by two MeloSi-tapes 3 with edges 4 thickened on the periphery, inside which there is a magnet 5 with poles located on axis 6 passing through the centers of the membranes 3. to the bases of the membranes.
На наружных торцовых част х корпуса /On the external end parts of the body /
установлены электромагнитные системы 7 и SElectromagnetic systems 7 and S are installed.
возбуждени и съема колебани мембранexcitation and removal of membrane oscillations
соответственно, соединенные через усилитель 9.respectively, connected through an amplifier 9.
Взаимодействие .мембран 3 с магнитом 5 приводит к дополнительному прогибу, су.мм.ирующе1мус с основным прогибом, вызванным изменением давлени . Экспериментально доказано , что предварительный прогиб мембран составл ет 0,3-0,4 от их статического прогиба в диапазоне измерени .The interaction of the membrane 3 with the magnet 5 leads to an additional deflection, sum.mm.iruyushchemus with the main deflection caused by the pressure change. It has been experimentally proven that the pre-deflection of the membranes is 0.3-0.4 of their static deflection in the measurement range.
Датчики целесообразно использовать например , дл измерени малых давлений газов. Sensors should be used, for example, to measure low gas pressures.
Предмет изобретени Subject invention
Датчик давлени с -частотным выходом, содерл ащий анероидную коробку, образованную двум плоскими мембранами, и электромагнитные системы возбуждени и съема колебаний , отличающийс тем, что, с целью линеализации характеристик1и, в нем внутри анероидной коробки размещен жестко закрепленный по контуру магнит с полюсами, расположенными на оси, проход щей через центры мембран.A pressure sensor with a frequency output, containing an aneroid box formed by two flat membranes, and electromagnetic systems of excitation and oscillation removal, characterized in that, in order to linearize the characteristics, inside it there is a magnet with poles inside the aneroid box. on the axis passing through the centers of the membranes.
liSMliSM
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU260233A1 true SU260233A1 (en) |
Family
ID=
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4565497A (en) * | 1982-12-03 | 1986-01-21 | Novacor Medical Corporation | Pump actuator |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4565497A (en) * | 1982-12-03 | 1986-01-21 | Novacor Medical Corporation | Pump actuator |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4644804A (en) | Quartz resonating force and pressure transducer | |
Harada et al. | Various applications of resonant pressure sensor chip based on 3-D micromachining | |
US4098133A (en) | Vibrating diaphragm fluid pressure sensor device | |
GB2189601A (en) | Mechanical resonator device | |
CN108205118B (en) | Resonant magnetic sensor sensitive unit and digital frequency output magnetic sensor | |
US5969257A (en) | Pressure measuring membrane with resonant element vibrating orthogonal to membrane movement | |
SU260233A1 (en) | PRESSURE SENSOR WITH FREQUENCY OUTPUT | |
US3425281A (en) | Vacuum gauge apparatus | |
US6079266A (en) | Fluid-level measurement by dynamic excitation of a pressure- and fluid-load-sensitive diaphragm | |
US3427885A (en) | Differential pressure transducer | |
US3628381A (en) | Electrical pressure transducer for high-temperature fluid systems | |
JPS58156826A (en) | Pressure frequency converter | |
US4255973A (en) | Digital pressure transducer for use at high temperatures | |
CN210774446U (en) | Resonant pressure sensor | |
GB880361A (en) | Dual string force transducer | |
JPS60186725A (en) | Pressure sensor | |
US3427884A (en) | Differential pressure transducer | |
US4669316A (en) | Differential-pressure apparatus employing a resonant force sensor | |
SU263231A1 (en) | PRESSURE SENSOR WITH FREQUENCY OUTPUT | |
SU164150A1 (en) | ||
SU306373A1 (en) | A.I. Ioffe § ^ - ^^ 2HAi1У (^^ “С-Н: .ШНШtVlb / ^ - OTEv: ^ | |
RU1812464C (en) | Pressure-to-frequency transducer | |
CN211147907U (en) | Silicon micromechanical resonance pressure sensor based on MEMS technology | |
SU344303A1 (en) | PRESSURE SPEED SENSOR | |
SU310142A1 (en) | PRESSURE SENSOR WITH FREQUENCY OUTPUT |