SU207427A1

SU207427A1 - CONTACT INTERFEROMETER UWAIR FOR LINEAR MEASUREMENTS

Info

Publication number: SU207427A1
Application number: SU1013170A
Authority: SU
Original assignee: И. Т. Уверский

Description

Контактные интерферометры предназначены цл измерени наружных линейных размеров различных изделий методом сравнени с концевыми мерами.Contact interferometers are designed to measure the outer linear dimensions of various products by the method of comparison with terminal measures.

Известен контактный интерферометр дл линейных измерений, построенный по принципу двухлучевой интерференции света при контактном касании измер емого объекта. Известные контактные интерферометры дл линейных измерений недостаточно точны потому , что не обеспечивают стабильность контактных сближений между измер емым объектом и предметным столом.A known contact interferometer for linear measurements, built on the principle of two-beam light interference when the contact touches the measured object. The known contact interferometers for linear measurements are not accurate enough because they do not ensure the stability of the contact approaches between the object being measured and the subject table.

Предлагаемый интерферометр свободен от указанного недостатка. Это достигаетс тем, что на линии -измерени установлены два отсчетных устройства с заданными измерительными усили ми. Между ними помещаетс измер емый объект и сумма их показаний дает показание интерферометра с повышенной точностью .The proposed interferometer is free from this drawback. This is achieved by the fact that two readout devices are installed on the measurement line with specified measuring forces. A measured object is placed between them and the sum of their readings gives an interferometer reading with increased accuracy.

На чертеже представлена нринципиальна схема предлагаемого устройства. Два встречных отсчетных устройства интерферометра в основном одинаковы. Свет от источника / с помощью конденсора 2 проходит светофильтр .3 и попадает на пластину , котора раздел ет свет на два когерентных пучка. Один из них направл етс на неподвижное зеркало 5,The drawing shows the principle of the proposed device. Two counter interferometer readout devices are basically the same. The light from the source / by means of the condenser 2 passes the light filter .3 and hits the plate, which divides the light into two coherent beams. One of them is directed to a fixed mirror 5,

а другой - на подвижное зеркало i5, укре.пленное на измерительном стержне 7.and the other on the movable mirror i5, mounted on the measuring rod 7.

Пучки света, отраженные зеркалами, проход т объектив 8 и направл ютс на приемное устройство, например, экран 9 со шкалой. Если разность хода лучей невелика, то световые потоки интерферируют в плоскости экрана-шкалы . В белом свете интерференционные полосы окажутс цветными и .среди них черпа ахроматическа полоса, видима на щкале , может служить указателем положени измерительного стержн на оси прибора.The light beams reflected by the mirrors pass the lens 8 and are directed to a receiving device, for example, a screen 9 with a scale. If the path difference of the rays is small, then the light fluxes interfere in the plane of the screen-scale. In white light, interference fringes will turn out to be colored and, among them, an achromatic stripe, visible on the scale, can serve as an indicator of the position of the measuring rod on the axis of the instrument.

Измерение объекта УО на предлагаемом интерферометре производитс сравнительнымThe measurement of the object of the protective device on the proposed interferometer is performed by comparative

методом и заключаетс в определении суммы осевых смещений измерительных стержней обоих отсчетных устройств от их нулевых положений , установленных но образцовой мере или образцовому изделию.the method and consists in determining the sum of the axial displacements of the measuring rods of both reading devices from their zero positions established by an exemplary measure or exemplary product.

На чертеже экраны наказаны раздельно, в промышленном образце они могут быть совмещены известным способом.In the drawing, the screens are punished separately; in an industrial design, they can be combined in a known manner.

Предмет изобретени Subject invention

Контактный интерферометр дл линейных измерений, содержащий оптическую систему двухлучево.го интерфер01метра, котора состоит из светоделительной пластины, подвижного и неподвижного зеркала, столика дл измер чающийс тем, что, с целью повышени точности измерени , он содержит на оптической оси устройства вторую оптическую систему двухлучевого интерферометра, расположенную встречно относительно первой системы, 5 A contact interferometer for linear measurements containing the optical system of a two-beam interferometer, which consists of a beam-splitting plate, a movable and fixed mirror, and a table for measuring that, in order to improve the measurement accuracy, it contains on the optical axis of the device a second optical system of a two-beam interferometer located opposite to the first system, 5

при этом столик дл измер емого объекта расположен между оптическими системами, дл направлени интерференционных картин на приемное устройство на выходе оптической системы уста.новлена система зеркал.in this case, the table for the object to be measured is located between the optical systems, a system of mirrors is installed to direct the interference patterns to the receiving device at the output of the optical system.