SU187531A1 - - Google Patents
Info
- Publication number
- SU187531A1 SU187531A1 SU934218A SU934218A SU187531A1 SU 187531 A1 SU187531 A1 SU 187531A1 SU 934218 A SU934218 A SU 934218A SU 934218 A SU934218 A SU 934218A SU 187531 A1 SU187531 A1 SU 187531A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- air flow
- cavities
- membranes
- regulator
- command device
- Prior art date
Links
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 7
- 210000000188 Diaphragm Anatomy 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory Effects 0.000 description 1
Description
Известны командные приборы регул тора расхода воздуха с пр молинейной характеристикой , чувствительные элементы которых содержат мембрану и вакуумированный сильфон , соединенные с исполнительным органом системой т г и рычагов.
Однако такие приборы сложны но конструкции , нестабильны в работе из-за наличи трущихс пар в рычажной системе, невзаимозамен емы вследствие отклонений эффективной площади сильфонов от номинальной, имеют большие габариты и вес, а так}ке высокую стоимость изготовлени .
Предложенный командный прибор отличаетс от известных тем, что в нем чувствительный элемент выполнен в виде двух подпружиненных мембран с разными эффективными площад ми, соединенных между собой жестким центром и образующих в корпусе прибора герметичную полость с посто нным давлением .
На чертеже схематически изображен регул тор расхода воздуха с предложенным командным прибором.
В герметичном корпусе 1 командного прибора расположены две мембраны 2 к. 3, дел щие внутренний объем корпуса на три полости А, Ь А В. Мембраны соединены жестким центром 4, и на них действует усилие пружины 5, которое регулируетс винтом 6. На штоке 7, который центрируетс в направл ющих корпуса, укреплен контакт 6. Неподвижные контакты закреплены на корпусе .У и Ш. Полость b герметически отделена от полостей А и и и давление в ней посто нно. В полости Л и i3 подаютс управл ющие давлени от датчика 11 расхода воздуха, например труоки Ьентури, установленной в трубопроводе Г2. Регулирующий орган , получающий сигнал на открытие и закрытие от командного прибора , непосредственно измен ет расход воздуха в трубопроводе.
Нри определенном соотношении между давлени ми в полост х А и С шток 7 находитс в
равновесии и контакты 8, 9 и W разомкнуты.
Ь случае отклонени расхода воздуха от заданной величины соотношение давлений на входе и в узкой части трубки Вентури измен етс .
С изменением соотношений давлений на мембранах 2 и 3 равновесие нарушаетс , шток 7 иеремещаетс и контакт 8 замыкаетс с контактом У или 10 в зависимости от того, уменьщаегс или увеличиваетс расход воздуха.
с)лектрический сигнал поступает на регулирующий орган 13, который увеличит или уменьшит проходное сечение трубопровода 12, а следовательно, и расход воздуха. Расчет командного прибора на такое сооттором шток 7 будет находитьс в равновесном состо нии и контакты 8, 9 и W разомкнуты, производитс соответствующим подбором соотношени эффективных площадей мембран 2 иЗ.
Предмет изобретени
Командный прибор регул тора расхода воздуха с пр молинейной характеристикой, содержащий чувствительные элементы с подвижным контактом электрической цепи регулирующего органа и две полости, в которые
подаютс давлени от датчика расхода, выполненного , нанример, по форме критической трубки Вентурн, отличающийс тем, что, с целью обеспечени точного поддержани расхода воздуха, повышени эксплуатационной надежности , а также дл уменьшени габаритов и веса, в нем чувствительные элементы выполнены в )зиде установленных между указанными полост ми двух подпружиненных мембран с разными эффективными площад ми, соединенных между собой жестким центром, причем полость, образованна этими мембранами , сделана герметичной.
, - t л , , . :
V, .
.
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU187531A1 true SU187531A1 (ru) |
Family
ID=
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3559488A (en) | Differential pressure measuring apparatus | |
US4325399A (en) | Current to pressure converter apparatus | |
US2568226A (en) | Pressure responsive device | |
KR20120081595A (ko) | 유량 측정 기구, 매스 플로우 콘트롤러 및 압력 센서 | |
WO2019059043A1 (ja) | バルブ装置、流量調整方法、流体制御装置、流量制御方法、半導体製造装置および半導体製造方法 | |
US4273150A (en) | Leverless pressure transducer | |
US2162779A (en) | Pressure regulator | |
SU187531A1 (ru) | ||
US2537474A (en) | Differential pressure controlled switch | |
US2593564A (en) | Pilot operated valve | |
US2804877A (en) | Pilot controlled fluid pressure regulator | |
US20200370671A1 (en) | Valve device, its control device, control methods using the same, fluid control device and semiconductor manufacturing apparatus | |
US2816561A (en) | Pressure reducing valve | |
US2179450A (en) | Control system | |
US4285313A (en) | Air flow measuring device | |
US2916577A (en) | Fluid pressure responsive switch | |
US3461726A (en) | Apparatus for measuring a difference in pressure | |
US3683968A (en) | Reverse-acting relay valve | |
SU164978A1 (ru) | ||
SU397982A1 (ru) | Реле разности давлений | |
SU254144A1 (ru) | Командный прибор автоматического регулятора | |
US3221761A (en) | Pneumatic controller | |
US3441695A (en) | Rate of fluid pressure change sensor for effecting a signal | |
US3417919A (en) | Pneumatic temperature transmitters | |
SU319848A1 (ru) | Устройство для контроля расхода газа |