SU187531A1 - - Google Patents

Info

Publication number
SU187531A1
SU187531A1 SU934218A SU934218A SU187531A1 SU 187531 A1 SU187531 A1 SU 187531A1 SU 934218 A SU934218 A SU 934218A SU 934218 A SU934218 A SU 934218A SU 187531 A1 SU187531 A1 SU 187531A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
air flow
cavities
membranes
regulator
command device
Prior art date
Application number
SU934218A
Other languages
English (en)
Publication of SU187531A1 publication Critical patent/SU187531A1/ru

Links

Description

Известны командные приборы регул тора расхода воздуха с пр  молинейной характеристикой , чувствительные элементы которых содержат мембрану и вакуумированный сильфон , соединенные с исполнительным органом системой т г и рычагов.
Однако такие приборы сложны но конструкции , нестабильны в работе из-за наличи  трущихс  пар в рычажной системе, невзаимозамен емы вследствие отклонений эффективной площади сильфонов от номинальной, имеют большие габариты и вес, а так}ке высокую стоимость изготовлени .
Предложенный командный прибор отличаетс  от известных тем, что в нем чувствительный элемент выполнен в виде двух подпружиненных мембран с разными эффективными площад ми, соединенных между собой жестким центром и образующих в корпусе прибора герметичную полость с посто нным давлением .
На чертеже схематически изображен регул тор расхода воздуха с предложенным командным прибором.
В герметичном корпусе 1 командного прибора расположены две мембраны 2 к. 3, дел щие внутренний объем корпуса на три полости А, Ь А В. Мембраны соединены жестким центром 4, и на них действует усилие пружины 5, которое регулируетс  винтом 6. На штоке 7, который центрируетс  в направл ющих корпуса, укреплен контакт 6. Неподвижные контакты закреплены на корпусе .У и Ш. Полость b герметически отделена от полостей А и и и давление в ней посто нно. В полости Л и i3 подаютс  управл ющие давлени  от датчика 11 расхода воздуха, например труоки Ьентури, установленной в трубопроводе Г2. Регулирующий орган , получающий сигнал на открытие и закрытие от командного прибора , непосредственно измен ет расход воздуха в трубопроводе.
Нри определенном соотношении между давлени ми в полост х А и С шток 7 находитс  в
равновесии и контакты 8, 9 и W разомкнуты.
Ь случае отклонени  расхода воздуха от заданной величины соотношение давлений на входе и в узкой части трубки Вентури измен етс .
С изменением соотношений давлений на мембранах 2 и 3 равновесие нарушаетс , шток 7 иеремещаетс  и контакт 8 замыкаетс  с контактом У или 10 в зависимости от того, уменьщаегс  или увеличиваетс  расход воздуха.
с)лектрический сигнал поступает на регулирующий орган 13, который увеличит или уменьшит проходное сечение трубопровода 12, а следовательно, и расход воздуха. Расчет командного прибора на такое сооттором шток 7 будет находитьс  в равновесном состо нии и контакты 8, 9 и W разомкнуты, производитс  соответствующим подбором соотношени  эффективных площадей мембран 2 иЗ.
Предмет изобретени 
Командный прибор регул тора расхода воздуха с пр молинейной характеристикой, содержащий чувствительные элементы с подвижным контактом электрической цепи регулирующего органа и две полости, в которые
подаютс  давлени  от датчика расхода, выполненного , нанример, по форме критической трубки Вентурн, отличающийс  тем, что, с целью обеспечени  точного поддержани  расхода воздуха, повышени  эксплуатационной надежности , а также дл  уменьшени  габаритов и веса, в нем чувствительные элементы выполнены в )зиде установленных между указанными полост ми двух подпружиненных мембран с разными эффективными площад ми, соединенных между собой жестким центром, причем полость, образованна  этими мембранами , сделана герметичной.
, - t л , , . :
V, .
.
SU934218A SU187531A1 (ru)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU187531A1 true SU187531A1 (ru)

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3559488A (en) Differential pressure measuring apparatus
US4325399A (en) Current to pressure converter apparatus
US2568226A (en) Pressure responsive device
KR20120081595A (ko) 유량 측정 기구, 매스 플로우 콘트롤러 및 압력 센서
WO2019059043A1 (ja) バルブ装置、流量調整方法、流体制御装置、流量制御方法、半導体製造装置および半導体製造方法
US4273150A (en) Leverless pressure transducer
US2162779A (en) Pressure regulator
SU187531A1 (ru)
US2537474A (en) Differential pressure controlled switch
US2593564A (en) Pilot operated valve
US2804877A (en) Pilot controlled fluid pressure regulator
US20200370671A1 (en) Valve device, its control device, control methods using the same, fluid control device and semiconductor manufacturing apparatus
US2816561A (en) Pressure reducing valve
US2179450A (en) Control system
US4285313A (en) Air flow measuring device
US2916577A (en) Fluid pressure responsive switch
US3461726A (en) Apparatus for measuring a difference in pressure
US3683968A (en) Reverse-acting relay valve
SU164978A1 (ru)
SU397982A1 (ru) Реле разности давлений
SU254144A1 (ru) Командный прибор автоматического регулятора
US3221761A (en) Pneumatic controller
US3441695A (en) Rate of fluid pressure change sensor for effecting a signal
US3417919A (en) Pneumatic temperature transmitters
SU319848A1 (ru) Устройство для контроля расхода газа