SU1763162A1 - Abrasive cutting circle - Google Patents

Abrasive cutting circle Download PDF

Info

Publication number
SU1763162A1
SU1763162A1 SU904839837A SU4839837A SU1763162A1 SU 1763162 A1 SU1763162 A1 SU 1763162A1 SU 904839837 A SU904839837 A SU 904839837A SU 4839837 A SU4839837 A SU 4839837A SU 1763162 A1 SU1763162 A1 SU 1763162A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
cutting
abrasive
thickness
circles
disc
Prior art date
Application number
SU904839837A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Владимир Петрович Запорожский
Дмитрий Николаевич Гулидов
Николай Иванович Толкачев
Виталий Юрьевич Харламов
Original Assignee
Московское Специальное Конструкторское Бюро
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Московское Специальное Конструкторское Бюро filed Critical Московское Специальное Конструкторское Бюро
Priority to SU904839837A priority Critical patent/SU1763162A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1763162A1 publication Critical patent/SU1763162A1/en

Links

Landscapes

  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)

Abstract

Использование: дл  механической обработки хрупких материалов. За счет наличи  в корпусе радиальных канавок, выполненных на глубине (0,5-0,7)t, где t - толщина корпуса, при рассто нии между канавками Use: for machining fragile materials. Due to the presence in the body of radial grooves made at a depth of (0.5-0.7) t, where t is the thickness of the body, with a distance between the grooves

Description

Изобретение относитс  к механической обработке твердых хрупких материалов и может быть использовано при изготовлении инструмента, предназначенного преимущественно дл  разделени  на пластины моно- кристаллов полупроводниковых и диэлектрических материалов.The invention relates to the machining of hard brittle materials and can be used in the manufacture of tools intended primarily for the separation into plates of single crystals of semiconductor and dielectric materials.

Целью изобретени   вл етс  повышение износостойкости круга.The aim of the invention is to increase the wear resistance of the wheel.

На фиг. 1 показан разрез режущей кромки и корпуса круга; на фиг. 2 - вид сбоку корпуса с выполненными в нем канавками; на фиг. 3 - вид сверху на корпус со стороны канавок, заполненных никелем и алмазными зернами. На чертежах прин ты следующие обозначени : 1 - металлический корпус; 2 - гальванический никель; 3 - алмазные зерна.FIG. 1 shows a section of the cutting edge and the circle body; in fig. 2 is a side view of the housing with grooves formed therein; in fig. 3 is a top view of the housing from the side of the grooves filled with nickel and diamond grains. In the drawings, the following symbols are accepted: 1 - metal case; 2 - galvanic nickel; 3 - diamond grains.

Включенные в формулу изобретени  количественные параметры имеют следующие обосновани .The quantitative parameters included in the claims have the following rationales.

Зернистость алмазного порошка в композите , заполн ющем объем канавок, необходимо выбирать в пределах 60-100 мкм. Если зернистость алмазного порошка меньше 60 мкм, то другие свойства композитаThe grain size of the diamond powder in the composite, which fills the volume of the grooves, must be chosen in the range of 60-100 µm. If the grit of the diamond powder is less than 60 microns, then other properties of the composite

практически не вли ют на динамику работы режущей кромки, поэтому износостойкость кругов не повышаетс . Зернистость алмазного порошка не должна быть больше 120 мкм, так как в этом случае крупные алмазные зерна могут выступать за габариты корпуса круга, принима  участие в процессе обработки. В этом случае недостаточное качество поверхности отрезаемых пластин ис- ключает возможность использовани  кругов после довольно короткого периода эксплуатации.virtually no effect on the dynamics of the cutting edge, therefore the wear resistance of the wheels does not increase. The grain size of the diamond powder should not be greater than 120 microns, since in this case large diamond grains can stand for the dimensions of the circle body, taking part in the process. In this case, the insufficient surface quality of the cut plates excludes the possibility of using circles after a rather short period of operation.

Объемное содержание алмазного порошка в композите должно составл ть 11- 20%, т.е. объемное соотношение никел  и алмазного порошка должно находитьс  в пределах (8:1)-(41), Если объемное содержание алмазного порошка меньше 11%, то не про вл ютс  другие свойства композита, что снижает износостойкость круга. При содержании алмазного порошка более 20% композит становитс  хрупким и быстро разрушаетс  под воздействием циклических нагрузок.The volume content of the diamond powder in the composite should be 11-20%, i.e. the volume ratio of nickel and diamond powder should be within (8: 1) - (41). If the volume content of diamond powder is less than 11%, other properties of the composite do not appear, which reduces the durability of the wheel. When the content of diamond powder is more than 20%, the composite becomes brittle and quickly collapses under the influence of cyclic loads.

Высота канавки в радиальном направлении не должна быть меньше высоты абра (ЛThe height of the groove in the radial direction should not be less than the height of the abra (L

СWITH

vjvj

OsOs

ЈJ

00

юYu

зивосодержащёго сло . В противном случае , учитыва  реальные размеры используемых на практике режущих кромок, не будут про вл тьс  упругие свойства круга, и не будет наблюдатьс  повышени  его износо- стойкости.zivosoderzhёgo layer. Otherwise, taking into account the actual dimensions of the cutting edges used in practice, the elastic properties of the wheel will not appear, and its wear resistance will not increase.

Ограничени , накладываемые на ширину канавок, объ сн ютс  тем, что при ширине канавок более 16t (где t - толщина корпуса круга) снижаетс  жесткость корпу- са до такого уровн , когда не удаетс  обеспечить требуемую геометрию отрезаемых пластин. При ширине канавок менее 9t наблюдаетс  заметное ухудшение качества отрезаемых пластин, практически не позво- л ющее использовать круги дл  получени  прецизионных заготовок.Limitations imposed on the width of the grooves are due to the fact that when the width of the grooves is more than 16t (where t is the thickness of the circle body), the rigidity of the housing decreases to such a level that the required geometry of the cut plates cannot be ensured. With a groove width of less than 9t, a noticeable deterioration in the quality of the cut plates is observed, which practically does not allow the use of circles to obtain precision blanks.

Корпус круга целесообразно изготавливать из холоднокатаного коррозионностой- кого металла с разрывной прочностью не менее 150 кг/мм2. Только технологи  холодной прокатки позвол ет получить листовой металл с высококачественной поверхностью, однородной структурой и достаточной прочностью. Требование корро- зионной стойкости объ сн етс  возможностью использовани  в процессе работы кругов довольно агрессивных сма- зочно-охлаждающих жидкостей.It is advisable to make the body of a circle from cold-rolled corrosion-resistant metal with a breaking strength of at least 150 kg / mm2. Only cold rolling technology produces a sheet metal with a high-quality surface, uniform structure and sufficient strength. The requirement of corrosion resistance is explained by the possibility of using quite aggressive coolants in the process of working circles.

Учитыва  малую толщину корпуса круга и относительно большие локальные усили  резани , корпус должен быть раст нут со значительным нат жением, чтобы обеспечить необходимую жесткость режущей кромки. Минимальна  величина разрывной прочности, обеспечивающа  выполнение упом нутых условий, должна быть не менее 1540 кг/мм2. В противном случае наблюдаютс  разрывы металла корпуса после непродолжительной эксплуатации круга.Taking into account the small thickness of the wheel body and the relatively large local cutting forces, the body must be stretched with considerable tension in order to provide the necessary rigidity of the cutting edge. The minimum value of breaking strength, ensuring the fulfillment of the above conditions, must be at least 1540 kg / mm2. Otherwise, breaks in the metal of the hull are observed after a brief use of the wheel.

Примеры использовани  кругов.Examples of the use of circles.

Разрезались монокристаллические слитки кремни  диаметром 76 мм и германи  диаметром 40 мм на пластины толщиной 0,5 мм. Резание производилось кругами типа АКВР 422x152 с геометрическими размерами , соответствующими ГОСТ 26004- 88. Круг устанавливалс  на барабан станка. Алмаз-6 и приводилс  во вращение с частотой 2000 об/мин. Устанавливалась рабоча  подача величиной 30 мм/мин. Отрезные пластины контролировались на соответствие требовани м технических условий по глубине нарушенного сло , шероховатости поверхности и неплоскостности. Количество отрезанных пластин, которые удовлетвор ли по своей геометрии требовани м технических условий, принималось за износостойкость круга. Круг считалс  выбывшим из стро  в случае, когда по вилс  стабильный брак отрезанных пластин по геометрии, не устран емый правкой режущей кромки и поднат жкой корпуса.Monocrystalline silicon ingots with a diameter of 76 mm and germanium with a diameter of 40 mm were cut into plates with a thickness of 0.5 mm. The cutting was carried out using AKVR 422x152 circles with geometrical dimensions corresponding to GOST 26004- 88. The circle was installed on the drum of the machine. Diamond-6 and was driven at a rotational speed of 2000 rpm. A working feed of 30 mm / min was set. The cutting plates were monitored for compliance with the technical requirements for the depth of the broken layer, surface roughness and non-flatness. The number of cut plates that, according to their geometry, satisfied the requirements of technical conditions, was taken to be the wear resistance of the wheel. The circle was considered to be out of operation in the case when a stable marriage of the cut plates with respect to geometry was observed, which could not be eliminated by correcting the cutting edge and retaining the body.

Количественные характеристики примеров использовани  кругов приведены в таблице. Приведенные результаты свидетельствуют о том, что предлагаемые круги обладают более высокой износостойкостью при сохранении высокого качества отрезаемых пластин.Quantitative characteristics of examples of using circles are given in the table. The results indicate that the proposed circles have a higher wear resistance while maintaining the high quality of the cut plates.

Claims (1)

Формула изобретени  Абразивный отрезной круг, выполненный в виде кольцевого металлического диска , на торцевых поверхност х которого в расположенных в шахматном пор дке канавках глубиной, превышающей половину толщины диска, размещен абразивосодер- жащий режущий слой, отличающийс  тем, что, с целью повышени  износостойкости круга, абразивосодержащий слой выполнен в виде гальванически осажденного никел  с алмазным порошком зернистостью 60-100 мкм с объемным соотношением никел  и порошка (4-8): 1 соответственно, при этом высота канавки в радиальном направлении не меньше высоты абразивосодержа- щего сло , а ширина ее составл ет (9-16)t, где t - толщина корпуса.Claims An abrasive cutting disc made in the form of an annular metal disc, on the end surfaces of which, in grooves arranged in a checkerboard depth exceeding half the thickness of the disc, is placed an abrasive containing cutting layer, characterized in that The abrasive-containing layer is made in the form of galvanically deposited nickel with diamond powder with a grain size of 60-100 μm with a volume ratio of nickel and powder (4-8): 1, respectively, with the height of the groove in ialnom direction is not less than the height abrazivosoderzha- conductive layer, while its width is (9-16) t, where t - the thickness of the housing. Примеры использовани  кругов при резке слитковExamples of using circles when cutting ingots NNV-NV4 x чNNV-NV4 x h NN ; , - xO О ; , - xO О ч ч ч - noOO.OWV  h h - noOO.OWV - lOQgO-QcSQ- lOQgO-QcSQ Pu« 2Pu "2 II (2- ю) t(2-y) t JJ - noOO.OWV- noOO.OWV - lOQgO-QcSQ.- lOQgO-QcSQ.
SU904839837A 1990-04-02 1990-04-02 Abrasive cutting circle SU1763162A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU904839837A SU1763162A1 (en) 1990-04-02 1990-04-02 Abrasive cutting circle

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU904839837A SU1763162A1 (en) 1990-04-02 1990-04-02 Abrasive cutting circle

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1763162A1 true SU1763162A1 (en) 1992-09-23

Family

ID=21521274

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU904839837A SU1763162A1 (en) 1990-04-02 1990-04-02 Abrasive cutting circle

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1763162A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 1320048, кл. В 24 D 5/12, 1985. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9827691B2 (en) Scribing wheel, method for manufacturing the scribing wheel, and scribing method
US20150107572A1 (en) Dicing Blade
EP2879164B1 (en) Dicing device and dicing method
US11878359B2 (en) Wire saw, wire guide roll and method for simultaneously cutting a multiplicity of wafers from an ingot
US4739745A (en) Circular diamond saw blade incorporating a novel cutting segment
KR19990078121A (en) Ultra fine groove chip and ultra fine groove tool
US4339896A (en) Abrasive compact dressing tools, tool fabrication methods for dressing a grinding wheel with such tools
US5261385A (en) Abrasive cutting blade assembly with multiple cutting edge exposures
SU1763162A1 (en) Abrasive cutting circle
JP2000094297A (en) Multi-wire saw
US7614395B2 (en) Electroformed thin-wall cutting saw impregnated with abrasives
US8191545B2 (en) Electroformed thin-wall core drills impregnated with abrasives
CN110722465A (en) Silicon chip thinning grinding wheel
JP2001018164A (en) Pad with hard foam resin groove for working semiconductor device and tool for turning grooving of this pad
CN1073493C (en) Cutter for cast iron cut-off
JP2001025948A (en) Spherical grinding wheel
JP2002192469A (en) Super abrasive grain sharp-edged cutting grinding wheel
WO2009138435A1 (en) An abrasive material, wheel and tool for grinding semiconductor substrates, and method of manufacture of same
JPH0730279Y2 (en) Electroformed thin blade grindstone
CN111993295A (en) Grinding wheel with one coarse groove and four fine grooves and application thereof
JPH087272A (en) Production of magnetic disk substrate
JPS58186572A (en) Diamond grindstone for cutting off by internal circumferential part
Herbert Sawing and Grinding of Brittle Materials
JP2003285273A (en) Cutting wheel
JPH0288177A (en) Grinding wheel with inner peripheral cutting edge