SU1755074A1 - Устройство дл измерени давлени - Google Patents

Устройство дл измерени давлени Download PDF

Info

Publication number
SU1755074A1
SU1755074A1 SU904835044A SU4835044A SU1755074A1 SU 1755074 A1 SU1755074 A1 SU 1755074A1 SU 904835044 A SU904835044 A SU 904835044A SU 4835044 A SU4835044 A SU 4835044A SU 1755074 A1 SU1755074 A1 SU 1755074A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
capacitor
measuring
ring
base
membrane
Prior art date
Application number
SU904835044A
Other languages
English (en)
Inventor
Евгений Алексеевич Мокров
Евгений Михайлович Белозубов
Original Assignee
Научно-исследовательский институт физических измерений
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Научно-исследовательский институт физических измерений filed Critical Научно-исследовательский институт физических измерений
Priority to SU904835044A priority Critical patent/SU1755074A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1755074A1 publication Critical patent/SU1755074A1/ru

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике, а именно к емкостным датчикам давлени . Целью изобретени   вл етс  повышение точности за счет уменьшени  температурной погрешности. Емкостный датчик давлени , содержащий корпус 1, мембрану 2 с цилиндрическим опорным основанием 3, измерительный 5 и эталонный 6 конденсаторы, снабжен кольцом 10с электродом 9, конденсатором 7 и втулкой 11, соединенной с пальцем 10 и закрепленной на основании. При воздействии давлени  мембрана 2 прогибаетс , измен етс  емкость конденсатора 5, по которой суд т об измер емом давлении. При изменении температуры перемещаетс  кольцо 10 «измен етс  емкость конденсатора 7, который будучи соответствующим образом подключенным к измерительному конденсатору 5, компенсирует температурную погрешность последнего. 1 з.п. ф-лы, 1 ил. (Л С

Description

где Sot - площадь поверхности электродовПосле преобразовани  получим:
при температуре t; .Q
Aot - межэлектродный зазор при темпе-UeMXlo д иВыхю 1в(Оч - OeXt-to) ратуре t.
Площадь электродов термозависимого ивыхп (1-10);(17)
конденсатора при температуре to равнав
Snn-jrfAft-Art П1145, - ивыхюДю-ивыхпДюМ +cfti(t-to)i2 .
boo Л(ГОО roi;,U1JLBUewdO(%,)(-ад;
где roo; roi - соответственно наружный иц
внутренний радиусы электродов термозави- Доо 1 +Qu(t-to)r j.
симого конденсатора.g0LB(оц -OaH t -to)
Площадь электродов термозависимогоПодставл   в полученное выражение
конденсатора в случае выполнени  его иззначени  UBblxit и ивыхю и учитыва , что коматериала , идентичного материалу упруго-эффициенты преобразовани  опреде  ютго элемента, при температуре t равна55с  электронным преобразователем,
797располагающимс  на некотором рассто Sot jr(root-i oiO KV oo -нии от датчика и непосредственно не под«вергающимс  воздействию температуры
-пи) 1 + «ц (t-to)r-(2)измер емой среды, т.е. Кю - Kit и Кзо и K2t.
получаем
LB
.M -a S/a + -)}
(Сц-«вУ(т-ю)I
(18)
Технико-экономическим преимуществом предлагаемого устройства по сравнению с прототипом  вл етс  уменьшение температурной погрешности за счет возможности учета температуры измер емой среды и коррекции неидентичного изменени  емкостей первой и второй пар от температуры , а также уменьшение погрешности при воздействии нестационарной температуры измер емой среды.
Уменьшение погрешности при воздействии нестационарной температуры измер емой среды происходит за счет возможности учета непосредственно термодеформации опорного основани .

Claims (2)

  1. Формула изобретени  1. Устройство дл  измерени  давле- ни , содержащее корпус, мембрану с цилиндрическим опорным основанием, диск, закрепленный с зазором Дю относительно мембраны и измерительный и эталонный конденсаторы, образованные круглыми электродами в центрах мембраны и диска и кольцевыми электродами, размещенными на опорном основании и периферии диска, и измерительную схему, отличающеес  тем, что, с целью повышени  точности за счет уменьшени  температурной погрешности , он снабжен кольцом, охватывающим
    диск, парой кольцевых электродов, размещенных на кольце и основании и образующих компенсационный конденсатор, и втулкой, охватывающей основание и закрепленной одним торцом на основании, а другим на кольце, причем длина U втулки определена соотношением:
    ..VSffi +« ( -« ) l
    (Оц-аь/(1-ед)
    где Схо, Cxt. Coo, Cot - соответственно емкости измерительного и эталонного конденсаторов при минимальной to и максимальной t температурах рабочего диапазона температур:
    К - коэффициент пропорциональности;
    «ц, % - температурные коэффициенты линейного расширени  материалов опорного основани  и втулки, при этом кольцо выполнено из материала, температурный коэффициент линейного расширени  которого равен Оц.
  2. 2. Устройство поп.1,отличающее- с   тем, что в нем измерительна  схема выполнена в виде первого и второго усили- телей и дополнительного конденсатора, причем эталонный конденсатор включен на вход первого усилител , в цепь обратной св зи которого включен измерительный конденсатор, а выход первого усилител  подключен через компенсационный конденсатор к входу второго усилител , в цепь обратной св зи которого включен дополнительный конденсатор.
SU904835044A 1990-06-04 1990-06-04 Устройство дл измерени давлени SU1755074A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU904835044A SU1755074A1 (ru) 1990-06-04 1990-06-04 Устройство дл измерени давлени

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU904835044A SU1755074A1 (ru) 1990-06-04 1990-06-04 Устройство дл измерени давлени

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1755074A1 true SU1755074A1 (ru) 1992-08-15

Family

ID=21518612

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU904835044A SU1755074A1 (ru) 1990-06-04 1990-06-04 Устройство дл измерени давлени

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1755074A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР №533674, кл. G 01 L9/12, 1977. Авторское свидетельство СССР № 1622788,кл. G 01 L 9/12, 1988. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4572006A (en) Load cells
US6205861B1 (en) Transducer having temperature compensation
US5233875A (en) Stable capacitive pressure transducer system
US4357834A (en) Displacement converter
RU96107790A (ru) Экранированный емкостной датчик
SE8302479L (sv) Elektronisk nivelleringscell
US4449409A (en) Pressure measurement system with a constant settlement time
SE8700556L (sv) Tryckgivare
KR100514064B1 (ko) 용량식 역학량 센서
US4741214A (en) Capacitive transducer with static compensation
SU1755074A1 (ru) Устройство дл измерени давлени
US4103555A (en) Pressure sensor for high-temperature liquids
JPH07174652A (ja) 半導体圧力センサ及びその製造方法並びに圧力検出方法
RU1818559C (ru) Емкостный датчик давлени
CN112747858A (zh) 一种石英压电传感器
SU1765734A1 (ru) Емкостный датчик давлени
DE60015878D1 (de) Kapazitiver kraftwandler
SU1622788A1 (ru) Датчик давлени
SU1719941A1 (ru) Датчик давлени
CN109631741B (zh) 一种高精度补偿的谐振式应变传感器
SU1663461A1 (ru) Датчик давлени
SU1663462A1 (ru) Устройство дл измерени давлени
JPS6294988A (ja) 電界効果型圧力センサ
SU1111033A1 (ru) Весоизмерительный датчик
SU1472773A1 (ru) Датчик давлени