SU1737930A1 - Устройство для нанесения тонких пленок в вакууме - Google Patents

Устройство для нанесения тонких пленок в вакууме

Info

Publication number
SU1737930A1
SU1737930A1 SU4816839/21A SU4816839A SU1737930A1 SU 1737930 A1 SU1737930 A1 SU 1737930A1 SU 4816839/21 A SU4816839/21 A SU 4816839/21A SU 4816839 A SU4816839 A SU 4816839A SU 1737930 A1 SU1737930 A1 SU 1737930A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
evaporator
spiral
application
vacuum
design
Prior art date
Application number
SU4816839/21A
Other languages
English (en)
Inventor
Д.А. Носков
Л.Н. Орликов
Original Assignee
Томский Институт Автоматизированных Систем Управления И Радиоэлектроники
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Томский Институт Автоматизированных Систем Управления И Радиоэлектроники filed Critical Томский Институт Автоматизированных Систем Управления И Радиоэлектроники
Priority to SU4816839/21A priority Critical patent/SU1737930A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1737930A1 publication Critical patent/SU1737930A1/ru

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Использование: устройство предназначено для нанесения качественных пленок в вакууме и может быть использовано в электронной промышленности. Сущность изобретения состоит в том, что газоразрядная камера испарителя выполнена в виде спирали, охватываемой корпусом из немагнитного материала с профилем сверхзвукового сопла, открытого в сторону подложки, при этом начальные участки спирали подключены через индуктивное сопротивление к генератору импульсов, а конец спирали заземлен. Конструкция испарителя позволяет получать потоки наносимого материала с равномерным распределением концентрации и скорости по поперечному сечению сопла при более простой конструкции испарителя и повышенном ресурсе работы. 1 ил.
SU4816839/21A 1990-04-19 1990-04-19 Устройство для нанесения тонких пленок в вакууме SU1737930A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4816839/21A SU1737930A1 (ru) 1990-04-19 1990-04-19 Устройство для нанесения тонких пленок в вакууме

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4816839/21A SU1737930A1 (ru) 1990-04-19 1990-04-19 Устройство для нанесения тонких пленок в вакууме

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1737930A1 true SU1737930A1 (ru) 1998-04-10

Family

ID=60532531

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU4816839/21A SU1737930A1 (ru) 1990-04-19 1990-04-19 Устройство для нанесения тонких пленок в вакууме

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1737930A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107419224A (zh) * 2017-09-26 2017-12-01 佛山市博雅钛金科技有限公司 一种彩色不锈钢真空镀膜装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107419224A (zh) * 2017-09-26 2017-12-01 佛山市博雅钛金科技有限公司 一种彩色不锈钢真空镀膜装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AU2933189A (en) Procedure and apparatus for the coating of materials by means of a pulsating plasma beam
ATE120400T1 (de) Vorrichtung und verfahren für die plasmabehandlung dünner schläuche.
DE69814687D1 (de) Plasmavorrichtung mit einem mit einer spannungsquelle verbundenen metallteil, das zwischen einer rf-plasma-anregungsquelle und dem plasma angeordnet ist
CA2122611A1 (en) A Short Dwell Coater Apparatus
ATE92787T1 (de) Elektrostatisches spruehbeschichtungsgeraet mit rotationszerstaeuber.
JPS5359737A (en) Electrostatic powder coating and its equipment
ATE96343T1 (de) Elektrostatische pulverbeschichtungseinrichtung.
GB1335071A (en) Process and apparatus for electrostatically spraying colourants powders fibrous materials
ATE112982T1 (de) Flache spritzdüse für eine spritzpistole.
MY130795A (en) Method for manufacturing resin thin film
GEP20012380B (en) Apparatus for Dispensing Liquid
ES8303125A1 (es) Metodo para resistir cada articulo de una pluralidad de articulos con un material de revestimiento preelegido.
ZA98346B (en) A device for dispensing a fluid or a powder at a predetermined distance
EP0387977A3 (en) Electrostatic spray coating system
SU1737930A1 (ru) Устройство для нанесения тонких пленок в вакууме
FR2445405A1 (fr) Procede et dispositif de fabrication d'une matiere formee par des filaments lies
GB1507561A (en) Electrostatic spray coating apparatus
GB1522097A (en) Apparatus for externally coating endless metal tubing
ATE41331T1 (de) Verfahren und vorrichtung zur ein-oder mehrfachen beschichtung der oberflaechen, vorzugsweise der inneren oberflaeche eines offenen hohlkoerpers aus kunststoff.
IN162804B (ru)
FR2398299A1 (fr) Dispositif impacteur pour la separation des particules d'un aerosol en classes granulometriques
AU4740885A (en) Method and apparatus for dispensing particles into a container
JPS57105608A (en) Atomizer
HUT57085A (en) Device for applying solid powdered material suspended in gas onto translating substratum
JPS6475680A (en) Plasma cvd device