SU1728833A1

SU1728833A1 - Способ исследовани планарного оптического волновода

Info

Publication number: SU1728833A1
Application number: SU904803490A
Authority: SU
Inventors: Михаил Владимирович Катин; Игорь Сергеевич Столетов
Original assignee: Омский научно-исследовательский институт приборостроения
Priority date: 1990-01-15
Filing date: 1990-01-15
Publication date: 1992-04-23

Abstract

Способ исследовани пленарного оптического волновода относитс к оптическим испытани м и может быть использован дл исследовани параметров тонких диэлектрических пленок. Цель изобретени - сни2 жение трудоемкости процесса измерений и повышение соотношени сигнал/шум. Способ включает создание оптического контакта между поверхностью волноводного сло и элементом св зи, возбуждение волновода посредством ввода оптического излучени через элемент св зи, измерение углового распределени интенсивности излучени , прошедшего через волновод, и вычисление по угловому распределению параметров волновода. При этом осуществл ют модул цию мощности вводимого в волновод излучени посредством изменени величины зазора между элементом св зи и поверхностью волновода, а измерение углового распределени интенсивности прошедшего через волновод излучени производ т приемником излучени с фильтрацией на частоте модул ции ширины зазора.

Description

Изобретение относитс к оптическим испытани м и может быть использовано дл исследовани пленарных оптических волноводов (ПОВ), в частности тонких диэлектрических пленок.

Известен способ исследовани ПОВ, включающий возбуждение волновода лазерным лучом с применением дифракционной решетки, сформированной на поверхности ПОВ, в качестве элемента св зи , измерение углового распределени прошедшего через волновод излучени и вычисление по угловому распределению параметров ПОВ.

Однако данный способ характеризуетс высокой трудоемкостью и сложностью, поскольку дифракционную решетку необходимо формировать на каждом исследуемом образце, что может приводить к его разрушению .

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому вл етс способ ис- следовани ПОВ, заключающийс в создании оптического контакта (ОК) между поверхностью полноводного сло и элементом св зи, возбуждении волновода посредством ввода лазерного излучени через элемент св зи, измерении углового распределени интенсивности прошедшего через волновод излучени и вычислении по угловому распределению параметров волновода .

Однако данный способ характеризуетс сложностью и трудоемкостью, так как мощЈ

VI

ю

00 00

со со

ность прошедшего через волновод излучени невелика по сравнению с мощностью излучени , падающей на область оптического контакта, в силу чего ркость высвечивающихс мод (наблюдаемые на экране характерные гп-линии) обычно ниже фоновой засветки, в силу чего настройка на моду и измерение ее угла ввода вл етс трудоемкой задачей. Кроме того, из-за большой фоновой засветки данный способ характе- ризуетс низким соотношением сигнал/шум .

Цель изобретени - снижение трудоемкости процесса измерений и повышени точности.

Указанна цель достигаетс тем, что в известном способе исследовани ПОВ, заключающемус в создании ОК между поверхностью волноводного сло и элементом св зи, возбуждении волновода посредст вом ввода оптического излучени через элемент св зи, измерении углового распределени интенсивности излучени , прошедшего через волновод и вычислении по угловому распределению параметров волновода, осуществл ют модул цию мощности вводимого в волновод излучени посредством изменени величины зазора между элементом св зи и поверхностью волновода, а измерение углового распреде- лени интенсивности прошедшего через волновод излучени производ т приемником излучени с фильрацией на частоте модул ции ширины зазора.

Модул ци мощности вводимого в вол- новод излучени приводит к изменению мощности излучени , прошедшего через волновод, при этом уровень фона остаетс неизменным, что позвол ет избавитьс от

фона при последующей фильтрации сигнала , идущего от приемника излучени .

Предлагаемый способ исследовани ПОВ реализован следующим образом.

ПОВ возбуждали лучом лазера ЛГ-52 с использованием призменного элемента св зи. Дл модул ции ширины зазора было использовано прижимное устройство, основанное на применении пьезоэлемента в качестве модул тора. Сигнал от приемника излучени поступал на усилитель с последующей фильтрацией на частоте модул ции ширины зазора. В результате трудоемкость измерений снизилась по сравнению с трудоемкостью обычно примен емого способа в среднем в 1,5 раза, а соотношение сигнал/шум увеличилось в 10-20 раз.

Claims

Формула изобретени

Способ исследовани планарного оптического волновода, включающий создание оптического контакта между поверхностью волновода и элементом св зи, возбуждение волновода посредством ввода оптического излучени через элемент св зи, измерение углового распределени интенсивности излучени , прошедшего через волновод, и вычисление по угловому распределению параметров волновода, отличающийс тем, что, с целью снижени трудоемкости процесса измерений и повышени точности, осуществл ют модул цию мощности вводимого в волновод излучени посредством изменени величины зазора между элементом св зи и поверхностью волновода, а измерение углового распределени интенсивности прошедшего через волновод излучени производ т приемником излучени с фильтрацией на частоте модул ции ширины зазора.