SU1728629A1 - Устройство дл измерени линейных перемещений - Google Patents

Устройство дл измерени линейных перемещений

Info

Publication number
SU1728629A1
SU1728629A1 SU894761304A SU4761304A SU1728629A1 SU 1728629 A1 SU1728629 A1 SU 1728629A1 SU 894761304 A SU894761304 A SU 894761304A SU 4761304 A SU4761304 A SU 4761304A SU 1728629 A1 SU1728629 A1 SU 1728629A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
diffraction grating
indicator
measuring
carriage
grating
Prior art date
Application number
SU894761304A
Other languages
English (en)
Inventor
Юрий Илларионович Зубков
Виктор Иосифович Павлов
Original Assignee
Ленинградское научно-производственное объединение "Красная заря"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ленинградское научно-производственное объединение "Красная заря" filed Critical Ленинградское научно-производственное объединение "Красная заря"
Priority to SU894761304A priority Critical patent/SU1728629A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1728629A1 publication Critical patent/SU1728629A1/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использована в отсчетных системах измерительных приборов, координатно-измерительных машин и прецизионных станков. Целью изобретени.   вл етс  повышение точности измерений за счет устранени  перекосов индикаторной решетки, обеспечени  посто нствз зазорэ между решеткз.ми и снижени  вли ни  температуры окруж-аю1ией средь:. При измерении отсчетна  головка 3 перемеидаетс  с подЕижнь^м органом станка. Движение Передаетс  каретке ^. несуш.ей решетку 9. При4 .8 23

Description

////////,/// /7//777777,
:
27 26 J - П А
этом зазор между решетками 2 и 9 посто неН за счет фиксации решетки 9 на сферических опорах 6-8 с помощью цилиндрических эксцентриков 11-13, обладающих демпфирующими свойствами. При освещении решеток 2 и 9 образуетс  модул ционна  картина комбинационных полос, пропорциональных 1/4 периода решетки 2, котора  воспринимаетс  фотодиодами и преобразуетс  к виду , удобному дл  счета и индикации. 3 ил.
Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано в отсчетных системах измерительных приборэв , кооординатио-измерительных машин, прецизионных станков. Известно устройство дл  измерени линейных перемещений, содержащее осветитэль , измерительную и индикаторную дифракционные решетки / узел фотоэлементов . Индикаторна  дифракционна  решетка приклеена к каретке, котора  через штифты, располагающиес  на эксцентричных ос х, прижимаетс  к измерительной дифракционной решетке с возможностью перемещени  относительно нее, Прижмм каретки обеспечиваетс  с помощью упругого элемента в форме си/ ьфона, прикрепленного к корпусу узла фотоэлементов по одной оси с ним. Недостатком этого устройства  вл етс  неудобство его сборки и проведени  контрольных операций при юстировке, обусловленное тем. что индикаторна  дифракционна  решетка приклеена к корпусу каретки , что делает конструкцию устройства неразборной. При настройке устройства необходимо установить и проконтролировать зазор между измерительной и индикаторной дифракционными решетками, взаимное расположение которых должно быть строго согпасовано . Чтобы добитьс  посто нства зазора между решетками при настройке устройства eждy ними ставитс  упруга  прокладка, после чего индикаторна  дифракционна  решетка приклеиваетс  к каретке. Затем прокладка Еынимаетс . Однако, если при проведении контрол  индикатором положени  опорных ьитифтов, через которые каретка поджимаб тс  к измерительной дифракционной решетке , окажетс  что зазор неравномерен, 10 положени  индикаторной дифракционной решетки, приклеэнной к каретке, уже не изменить. Перекос ее приводит к снижению точности измерений. Кроме того, температурные колебани  могут вызвать деформацию клеевого сло , что приводит к подвижке индикаторной дифракционной )ешетки и также к снижению точности изг ерений . Известно устройство дл  измерени  линейных перемещений, содержащее корпус, жестко закрепленную в нем измерительную дифракционную ре иетку, отсчетную головку , установленную с возможностью перемещени  вдоль измерительной дифракционной решетки, установленную в отсчетной головке каретку, механизм прижати  каретки к измерительной дифракционной решетке индикаторную дифракционную решетку, двум  противоположными гран ми приклеенную к стенкам окна, выполненного в каретке, и выполненную с возможностью взаимодействи  с измерительной дифракционной решеткой . Недостатками этого устройства  вл ютс  неудобство проведени  операций контрол  и юстировки при сборке устройства и снижение точности измерен1/:й, оиусловленное тем, что индикаторна  дифракционна  решетка закреплена в окне, Быполненном в каретке, с помощью кле , т.е. тем. что конструкци   вл етс  неразборной и тем, что ввиду колебаний температуры окружающей средь возмо.укна подвижка приклеенной индикаторной дифракционной решетки, так как зазоры под клей между стенками окна и гран ми каретки не могут быть вьтолнень: абсолютно идентичными по толщине, что приводит к снижению точности измерений. Наиболее близким к предлагаемому  вл етс  устройство дл  измерени  линейных перемещений, содержащее корпус , закрепленную в нем измерительную дифракционную решетку, отсчетную головку , установленную с возможностью перемещени  вдоль решетки, установленную в отсчетной головке каретку с пр моугольным вырезом, продольна  ось которого параллельна оси симметрии измерительной дифракционной решетки, а на взаимно перпендикул рных сторонах которого выполнены сферические опоры, индикаторную дифракционную решетку, установленную в пр моугольном вырезе, механизм фиксации индикаторной дифракционной решетки на сферических опорах и механизм прижати  каретки к измерительной дифракционной решетке.
Недостатками известного устройства  вл ютс  неудобства юстировки при сборке устройства и снижение точности измерений .
Целью изобретени   вл етс  повышение точности измерений.
Поставленна  цель достигаетс  тем, что в устройстве дл  измерений линейных перемещений , содержащем корпус, закрепленную в нем измерительную дифракционную решетку, отсчетную головку, установленную с возможностью перемещени  вдоль решетки , установленную в отсчетной головке каретку с пр моугольным вырезом, продольна  ось которого параллельна оси симметрии измерительной дифракционной решетки, а на взаимно перпендикул рных сторонах которого выполнены сферические опоры, индикаторную дифракционную решетку, установленную в пр моугольном вырезе, механизм фиксации индикаторной дифракционной решетки на сферических опорах и механизм прижати  каретки к измерительной дифракционной решетке, механизм фиксации индикаторной дифракционной решетки на сферических опорах выполнен в виде демпфирующих элементов по числу сферических опор, установленных оппозитно к ним по лини м контакта с индикаторной дифракционной решеткой, а каждый из демпфирующих элементов выполнен в виде эксцентрично закрепленного донной поверхностью на каретке с возможностью вращени  тонкостенного стакана со сферическим буртиком на наружной поверхности, контактирующим с индикаторной дифракционной решеткой, а стакан подпружинен в направлении контакта донной части с кареткой .
На фиг.1 показана схема устройства дл  измерени  линейных перемещений; на фиг.2 - сечение А-А на фиг.1; на фиг.З сечение Б-Б на фиг.1.
Устройство содержит корпус 1, закрепленную в нем измерительную дифракционную решетку 2, отсчетную головку 3, установленную с возможностью перемещени  вдоль решетки 2, установленную в отсчетной головке 3 каретку 4 с пр моугольным вырезом 5, продольна  ось которого параллельна оси симметрии измерительной дифракционной решетки 2, а на взаимно перпендикул рных сторонах которого выполнены сферические опоры 6-8. В пр моугольном вырезе 5 установлена индикаторна  дифракционна  решетка 9. Устройство содержит механизм 10 прижати  каретки 4 к измерительной дифракционной решетке 2 и механизм фиксации индикаторной дифракциионной решетки 9 на сферических опорах
6-8, который выполнен в виде демпфирующих элементов 11-13 по числу сферических опор, установленных оппозитно к ним по лини м контакта с индикаторной дифракционной решеткой 9.
Каждый из демпфирующих элементов 11-13 выполнен в виде эксцентрично закрепленного донной поверхностью на каретке 4 с возможностью вращени 
0 тонкостенного стакана со сферическим буртиком на наружной поверхности, контактирующим с индикаторной дифракционной решеткой 9, а стакан подпружинен в направлении контакта донной части с кареткой 4. Причем демпфирующие элементы 11-13 установлены в сквозных цилиндрических отверсти х 1416 , выполненных в корпусе каретки 4. Стакан подпружинен в направлении контакта донной части с кареткой 4, например, с помощью
0 пружин или шайб Гровера 17-19.
Механизм 10 прижати  каретки 4 к измерительной дифракционной решетке 2 может быть выполнен, например, в виде цилиндрических пружин 20 и 21, которые с
5 тарированным усилием поджимают каретку 4 к направл ющим плоскост м измерительной дифракционной решетки 2 через подшипники 22-26 скольжени , установленные на каретке 4, один из которых, а именно
0 подшипник 26 скольжени , закреплен в регулировочном винте 27, предназначенном дл  согласовани  наклона штрихов индикаторной 9 и измерительной 2 дифракционных решеток,
5 В корпусе подвижной отсчетной головки 3 со стороны индикаторной дифракционной решетки 9 установлен излучатель, со стороны измерительной дифракционной решетки 2 - фотодиоды (не показаны). В устройстве предусмотрена система обработки и выдачи информации об измерении. В случае применени  предлагаемого устройства дл  измерени  линейных перемещений в измерительных системах станков с ЧПУ или
5 с цифровой индикацией корпус 1 устройства с измерительной дифракционной решеткой 2 жестко крепитс  на подвижном органе станка - на столе, а подвижна  отсчетна  головка 3 с индикаторной дифракционной
0 решеткой 9 крепитс  на неподвижном органе станка - станине.
Устройство работает следующим образом .
При перемещении подвижного органа

Claims (1)

  1. 5 станка, на котором жестко закреплена отсчетна  головка 3, движение передаетс  каретке 4, а вместе с ней и индикаторной дифракционной решетке 9, которые перемещаютс  относительно измерительной дифракционной решетки 2 по ее направл ющим плоскост м. При их освеидении излучателем пГЗразуетс  модул ционна  картина комбинационных полос, пропорциональных 1/4 периода измерительной дифракционной решетки 2 котора  воспринимаетс  фотодиодами . Светова  энерги , проход ща  через образуюи иес  комбинационные полосы, преобразуетс  фотодиодами в сигналы напр жени . Сигналы с фотодиодов поступают в электронное устройство.дл  преобразовани , счета и индикации величины перемещени . При этом при перемещении индикаторной дифракционной решетки 9 вдоль измерительной дифракционной решетки 2 зазор между ними должен быть посто нным. Зазор выставл етс , контролируетс  и регулируетс  при проведении юстировки. Применение в механизме фиксации индикаторной дифракционной решетки 9 на сферических опорах 6-8 в пр моугольном вырезе 5 каретки 4 цилиндрических эксцентриков 1113 делает конструкцию механизма фиксации разборной. При юстировке, если окажетс , что выставленный зазор между измерительной 2 и индикаторной 9 дифракционными реи .ютками изменилс , то можно отпустить э сцентрики, ослабить крепление, выставить новый зазор, подрегулировать его, после чего оп ть закрепить индикаторную дифракционную решетку 9 в пр моугольном вырезе 5 каретки 4, прижав ее демпфирующими элементами 11-13 к опорам 6-8. Предлагаемое устройство позвол ет сохранить выставленное при юстировке положение индикаторной дифракционной решетки 9 при ее фиксации, так как сами демпфирующие элементы 11-13 поджаты к корпусу, имеют фиксированное осевое положение , т.е..зазор между измерительной и индикаторной дифракционными решетками 2 и 9 не изменитс  при фиксации последней. Применение предлагаемого устройства позвол ет повысить точность измерений за счетустранени  перекосов индикаторной решетки, обеспечени  посто нства зазора между измерительной и индикаторной решетками , устранени  погрешностей, св занных с подвижной индикаторной решеткой при изменени х температуры окружающей среды, за счет фиксировани  положени  индикаторной дифракционной решетки в продольном, поперечном и в осевом направлени х. Формула изобретени  Устройство дл  измерени  линейных перемещений, содержащее корпус, закрепленную в нег- измерительну 0 дифрзкционную решетку, отсчетную головку, установленную с возможностью перемещени  вдоль решетки, установленную в отсчетной головке каретку с пр моугольным вырезом, продольна  ось которого параллельна оси симметрии измерительной дифракционной решетки, а на взаимно перпендикул рных сторонах которого выполнены сферические опоры, индикаторную дифракционную решетку, установленную в пр моугольном вырезе, механизм фиксации индикаторной дифракционной решетки на сферических опорах и механизм прижати  каретки кизмерительной дифракционной решетке , о т л и ч а ю щ е е с   тем. что, с целью повышени  точности измерений, механизм фиксации индикаторной дифракционной решетки на сферических опорах выполнен в виде демпфирующих элементов по числу сферических опор, установленных оппозитно к ним по лини м контакта с индикаторной дифра.кционной решеткой, а каждый из демпфирующих элементов выполнен в виде эксцентрично закрепленного донной поверхностью на каретке с возможностью вращени  тонкостенного стакана со сферическим буртиком ча наружной поверхности, контактирующим с индикаторной дифракционной решеткой, а стакан подпружинен в направлении контакта донной части с кареткой.
    10
    А-А
    Фиг. 2
SU894761304A 1989-11-22 1989-11-22 Устройство дл измерени линейных перемещений SU1728629A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894761304A SU1728629A1 (ru) 1989-11-22 1989-11-22 Устройство дл измерени линейных перемещений

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894761304A SU1728629A1 (ru) 1989-11-22 1989-11-22 Устройство дл измерени линейных перемещений

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1728629A1 true SU1728629A1 (ru) 1992-04-23

Family

ID=21480685

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU894761304A SU1728629A1 (ru) 1989-11-22 1989-11-22 Устройство дл измерени линейных перемещений

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1728629A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Патент PL № 116339. кл. G 01 В 9/00. 1982.Montage und Betriebsanleitung LTD 300 I nkrementales Langenrnep system. 21156193.10 10/86. E Printed in West Germany. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3786332A (en) Micro positioning apparatus
US3867037A (en) Linear motion encoder
US4160328A (en) Segmented longitudinal measuring device
US4573000A (en) Measuring instrument
US4852267A (en) Coordinate measuring machine having a guide section for a column of a measuring member support body
US3918167A (en) Apparatus for sensing relative movement of a work table and tool
US4031595A (en) High precision incremental distance measuring system
US3688410A (en) Measuring and display system
JPH05209708A (ja) 直線測定装置
US5258931A (en) Precision electronic absolute and relative position sensing device and method of using same
US3708681A (en) Position and velocity sensor
KR20040014303A (ko) 디지털 측정헤드
US4297033A (en) Incremental photoelectric measuring device
US3533703A (en) Linear motion encoder
US4149319A (en) Positioning apparatus
US3957378A (en) Two-axis moire fringe displacement transducer
US4215480A (en) Distance measuring gauge
US5408750A (en) X-Y table apparatus
SU1728629A1 (ru) Устройство дл измерени линейных перемещений
US20020019718A1 (en) Dial indicator calibration apparatus
CA1338291C (en) Precision electronic absolute and relative position sensing device and method of using same
US4881324A (en) Apparatus for linear measurements
US4684257A (en) Measuring instrument
US3916528A (en) Apparatus for compensation of dimensional position changes
US4184262A (en) Device for determining the exact position of two members linearly displaceable relative to each other