SU1719908A1 - Микродозатор - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к дозирующим устройствам и позвол ет повысить производительность и точность. При подаче сжатого воздуха в отверстие 18 полости 15 он поступает через отверстие 16 в приводную камеру 4. Мембрана 13 под действием сжатого воздуха перемещает скрепленный с ней дозирующий элемент в виде штока 6 с осевым капилл рным каналом, при этом конец штока, расположенный в полости 15 камеры, взаимодействует с выпол- г ненным в ней запорным органом 1.7 в виде отверсти ,.которое перекрывает осевой канал 7, а радиальный капилл рный канал 11, выполненный на выходном конце штока, размещенном в рабочей камере 3, сообщаетс  с последней . Сжатый воздух,поступивший в приводную камеру 4, воздействует на поршень 5, который заталкивает дозу жидкости из рабочей камеры 3 в осевой капилл рный канал 10. После этого подаетс  сжатый воздух в отверстие 19, а отверстие 18 сообщаетс  с атмосферой. Мембрана 13 со штоком 6 перемещаетс , при этом радиальный капилл рный канал 11 отсекаетс  каналом корпуса 1 от рабочей камеры 3. Одновременно из полости 15 сжатый воздух поступает в осевой канал 7 штока 6 и выдает дозу жидкости , сформированную в осевом капилл рном канале 10. 1 з.п ф-лы, 2 ил. (Л

Description

. Изобретение относитс  к дозирующим устройствам и может быть использовано дл  производства полупроводниковых приборов и устройства РЭА, Известно устройство дл  нанесени  жидкости на издели , содержащее корпус цилиндра с соплом и средством подачи рабочей среды, расположенные в нем поршень и эластичную диафрагму. Недостатками устройства  вл ютс : низка  производительность, обуслов- ленна  малой скоростью истечени  дозируемой жидкости из сопла и большой

инерционностью дозирующей системы; невысокое качество нанесени  жидкости на изделие ввиду небольшого скоростного напора истечени  дозируемой жидкости и, следовательно, плохой адгезии жидкости к рабочей поверхности издели ; невысока  точность дозировани  жидкости ввиду большой разности конструктивных параметров поршн , объема цилиндра и сопла.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому  вл етс  микродозатор жидкости, содержащий

CD CD О 00

корпус с каналом и поршень, надетый на дозирующий элемент с осевым капилл рным каналом} камеру дл  жидкости, канал всасывани .

Недостатками известной конструкции дозатора  вл ютс : низка  производительность в результате малой скорости истечени  жидкости из камеры; низкое качество нанесени  рабочей жидкости на обрабатываемую поверхность издели  ввиду малой кинетической энергии выброса рабочей жидкости из иглы, что не обеспечивает качественной адгезии с поверхностью издели ; не обеспечиваетс  стабильность и точность дозировани  рабочей жидкости, так как процесс набора и дозировани  происходит вручную и визуально.

.Цель изобретени - повышение производительности и точности дозировани  о

Указанна  цель достигаетс  тем, что в микродозатор, содержащий корпус с каналом и поршень, надетый на дозирующий элемент с осевым капилл рным каналом, причем канал корпуса и дозирующий элемент расположены соос- но, введена камера с мембраной, р азд л ющей ее на две полости, в каждой из которых выполнено отверстие дл  попеременного сообщени  с источником давлени  и атмосферой, а дозирующий элемент выполнен в виде штока, концами расположенного по разные стороны поршн , раздел ющего корпус на рабочую и приводную камеры, последн   из которых сообщена с одной из полостей камеры, причем на выходном конце штока, размещенном в рабочей камере, выполнен радиальный капилл рный канал, сообщенный с осевым капилл рным каналом, а другой конец штока пропущен через скрепленную с ним мембрану в другую полость камеры, котора  снабжена запорным органом дл  осевого капилл рного канала. Выходной конец штока сопр жен с каналом корпуса с возможностью осевого перемещени , а также тем, что выходной конец штока выполнен в виде сменного наконечника из антиадгезионного материала.

На фиг. 1 схематически представлен , микродозато р; на фиг. 2а,б - схема процесса образовани  микродозы: на фиг. 2в - схема вытекани 

10

15

20

25

.

е-jg & , 7199084

микродозы при наклонном боковом канале .

Микродозатор содержит корпус 1 со съемной крышкой 2, в котором расположены рабоча  3 и приводна  k камеры , разделенные между собой поршнем 5, надетым на дозирующий элемент, который выполнен в виде штока 6 с осевым каналом 7, соединенного по резьбе 8 с наконечником 9 с осевым капилл рным каналом 10 и сообщенным с ним радиальным капилл рным каналом II. В наконечнике 9 выполнена заборна  полость 12. Шток 6 скреплен с мембраной 13, закрепленной в камере 14 и раздел ющей ее на две полости 15, -одна из которых сообщена через дроссельное отверстие 16 с приводной камерой Ь, а втора  полость снабжена запорным органом 17 в виде канала, выполненного в корпусе камеры 14..Отверсти  18 и 19 предназначены дл  попеременного сообщени  полостей 15 с источником сжатого воздуха и атмосферой. Шток 6 подпружинен с помощью пружины 20, размещенной в стакане 21.

Наконечник 9 выполн ют из анти- адгезионного материала.

Микродозатор работает следующим образом

Перед началом работы рабочую камеру 3 заправл ют дозируемой жидкостью . В исходном положении штока 6 заборна  полость 12 перекрыта стенками канала крышки 2, сопр женного с выходным концом наконечника 9, а осевой канал 7 штока 6 сообщен с полостью 15. При подаче сжатого воздуха в отверстие 18 полости 15 он поступает через отверстие 16 в приводную камеру 4, при этом верхн   полость 15 сообщена с атмосферой„ Мембрана 13 под действием сжатого воздуха . перемещает скрепленный с ней шток 6 вверх. При этом запорный орган 17 в виде канала перекрывает осевой канал 7, а заборна  полость 12 наконечника 9 сообщена с рабочей камерой 3 Сжатый воздух, поступивший в приводную камеру 4, воздействует на поршень 5, который заталкивает порцию дозируемой жидкости через заборную полость 12 и радиальный капилл рный-канал 11 в осевой капилл рный канал 10 (фиг 2а)о Величина микродозы определ етс  диаметрами капилл рных каналов 10 и 11, диаметром отверсти  16 и временем подачи сжатого возлуха35

40

55

фиг. 2

Claims (2)

1. Формула изобретения

   1. Микродозатор, 'содержащий корпус с каналом и поршень, надетый на дозирующий элемент с осевым капиллярным каналом, причем канал корпуса и дозирующий элемент расположены соосно, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности и точности дозирования, в него введена камера с мембраной, разделяющей ее на две полости, в каждой из которых выполнено отверстие для попеременного сообщения с источником давления и атмосферой, а дозирующий элемент выполнен в виде штока, концами расположенного по разные стороны поршня, разделяющего корпус на рабочую и приводную камеры, последняя из которых сообщена с од- .· ной полостью камеры, причем на выходном конце штока, размещенном в рабочей камере, выполнен радиальный капиллярный канал, сообщенный с осевым капиллярным каналом, а другой конец штока пропущен через скрепленную с ним мембрану в другую полость камеры, которая снабжена запорным органом для осевого капиллярного канала, при 20 этом выходной конец штока сопряжен с каналом корпуса с возможностью осевого перемещения.
2. 2. Микродозатор поп. 1, о т л и²⁵ чающийся тем, что выходной конец штока выполнен в виде сменного наконечника из антиадгезионного материала.

   фиг. 1

   171yyu8 фиг.2