SU1696920A1 - Capacitive pressure pickup - Google Patents

Capacitive pressure pickup Download PDF

Info

Publication number
SU1696920A1
SU1696920A1 SU884619634A SU4619634A SU1696920A1 SU 1696920 A1 SU1696920 A1 SU 1696920A1 SU 884619634 A SU884619634 A SU 884619634A SU 4619634 A SU4619634 A SU 4619634A SU 1696920 A1 SU1696920 A1 SU 1696920A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
electrodes
rocker
housing
membranes
elastic
Prior art date
Application number
SU884619634A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Владимир Рубенович Варданян
Вардан Владимирович Варданян
Норайр Владимирович Варданян
Орбели Телемакович Абгарян
Original Assignee
Ереванский политехнический институт им.К.Маркса
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ереванский политехнический институт им.К.Маркса filed Critical Ереванский политехнический институт им.К.Маркса
Priority to SU884619634A priority Critical patent/SU1696920A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1696920A1 publication Critical patent/SU1696920A1/en

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

Изобретение может быть использовано дл  измерени  абсолютного давлени . Цель изобретени  - повышение чувствительности и виброударной устойчивости, а также обеспечени  высокой точности за счет уменьшени  гистерезиса В датчике силопе- редающа  и компенсационна  системы выполнены в виде двух идентичных балок 20 и 21, выполненных заодно с крышкой 1 корпуса . Один конец силопередающей балки 20 выполнен заодно с мембраной 4, а другой ее конец выполнен заодно с упругим несдвигаемым шарниром 22 с крышкой 1 корпуса, и присоединен к подвижному электроду плоского коромысла, выполненного фрезеровкой пр моугольной плиты с образованием наружной рамки 11. Компенсационна  балка 21 выполнена аналогично и развернута на 180° по отношению к балке 20 7 ил.The invention can be used to measure absolute pressure. The purpose of the invention is to increase the sensitivity and vibration impact resistance, as well as to ensure high accuracy by reducing the hysteresis. In the sensor, the force transmitting and compensation systems are made in the form of two identical beams 20 and 21, integral with the cover 1 of the body. One end of the force-transmitting beam 20 is integral with the membrane 4, and the other end is integral with the elastic non-sliding hinge 22 with the housing cover 1 and attached to the moving electrode of the flat rocker arm, made by milling the rectangular plate with the outer frame 11. The compensation beam 21 is made similarly, it is rotated 180 °. in relation to the beam 20 7 Il.

Description

(L

СWITH

Изобретение относитс  к контрольно- измерительной технике, в частности к датчикам , предназначенным дл  измерени  абсолютного давлени .The invention relates to a measuring and control technique, in particular to sensors for measuring absolute pressure.

Целью изобретени   вл етс  повышение чувствительности и виброударной устойчивости и обеспечение высокой точности.The aim of the invention is to increase the sensitivity and vibration impact resistance and to ensure high accuracy.

На фиг. 1 изображен предлагаемый датчик давлени ; на фиг. 2 - сечение А-А на фиг. 1; на фиг. 3 - сечение Б-Б на фиг. 1 ; на фиг. 4 - электронна  рама, оазрез; на фиг. 5 - сечение В-В на фиг 4; на фиг. 6 - вид А на фиг. 5; на фиг. 7 - блок-схема измерени .FIG. Figure 1 shows the proposed pressure sensor; in fig. 2 is a section A-A in FIG. one; in fig. 3 is a section BB in FIG. one ; in fig. 4 - electronic frame, oazrez; in fig. 5 - section bb In Fig 4; in fig. 6 is a view A of FIG. five; in fig. 7 is a measurement block diagram.

Корпус датчика состоит из трех частей: 1 - верхней крышки, 2 -средней части дл  закреплени  неподвижных электродов и 3 - нижней крышки. В верхней крышке 1 выполнены смещенные по оси симметрии двеThe sensor body consists of three parts: 1 - the top cover, 2 - the middle part for fixing stationary electrodes and 3 - the bottom cover. In the top cover 1, two are offset along the axis of symmetry.

мембраны 4 и 5 с жесткими центрами. Мембрана 5 наглухо закрываетс  колпаком 6. Корпус 1 опираетс  на плоскую электродную раму 7 с упрочн ющими ребрами 8, 9 иmembranes 4 and 5 with rigid centers. The membrane 5 is tightly closed by the cap 6. The housing 1 is supported on a flat electrode frame 7 with reinforcing ribs 8, 9 and

10(фиг. 1 и 4). Неподвижна  наружна  рама10 (Fig. 1 and 4). Fixed exterior frame

11получена фрезеровкой заодно с плоским коромыслом 12 внутри нее, где коромысло переходит в рамку через упругие элементы в виде шеек 13 и 14.-Коромысло 12 на концах одной стороны имеет пр моугольные электроды 15 и 16, полученные обработкой в поперечном направлении в виде плоского выреза 17 Пр моугольные электроды в двух местах, смещенных от центра в разные стороны , через штоки (стержни) 18 и 19с двухсторонними вырезами шарнирно соедин ютс  с кон ;ами двух балок 20 и 21 (силопередающей и компенсационной), а также через упругие несдвигаемые шарниО11 obtained by milling along with a flat beam 12 inside it, where the beam moves into the frame through elastic elements in the form of necks 13 and 14. The beam 12 at the ends of one side has rectangular electrodes 15 and 16 obtained by processing in the transverse direction in the form of a flat cut 17 The rectangular electrodes in two places, displaced from the center in different directions, through the rods (rods) 18 and 19 with double-sided cuts, are pivotally connected to the cone of two beams 20 and 21 and also through elastic non-shifting hinges.

ю оyoo o

Ч)H)

го оabout

ры 22 и 23, выполненные заодно в верхней крышке 1 корпуса с внутренней стенкой последнего .. Другие концы балок 20 и 21 выполнены заодно с жесткими центрами мембран 4 и 5. С дном средней части 2 корпуса через изол ционные прокладки 24- 27 св заны неподвижные пр моугольные электроды 28 и 29, регулировочные штоки 30 и 31 которых в конце имеют отверсти  дл  прикреплени  токоведущей проволоки и подведени  ее к печатной плате (на фиг, 1 не показано), на которой собираетс  схема измерени . Неподвижные электроды с изол ционными прикладками прикреплены к дну средней части 2 корпуса, выполненной в виде полосовой консоли путем фрезеровки .The rings 22 and 23, which are made integral in the upper case cover 1 with the inner wall of the latter. The other ends of the beams 20 and 21 are made integral with the rigid centers of the membranes 4 and 5. Fixed are connected to the bottom of the middle part 2 of the case through insulating gaskets 24-27. rectangular electrodes 28 and 29, the adjusting rods 30 and 31 of which at the end have holes for attaching a current-carrying wire and leading it to a printed circuit board (not shown in Fig. 1), on which the measurement circuit is assembled. Stationary electrodes with insulating attachments are attached to the bottom of the middle part 2 of the housing, made in the form of a strip console by milling.

Дл  облегчени  деформации консоли, с целью регулировани  емкостных зазоров, ее опорный участок снизу имеет поперечный паз 32. После шлифовки электродной частичс закрепл ющими поверхност ми частей 1 и 2 корпуса и дл  получени  необходимого начального зазора между электродами 15, 28 и 16, 29 примен етс  фольгова  прокладка 33 необходимой толщины. После герметического закрыти  корпуса производ т по периметрам примыкающих участков сваривание, например электронно-лучевой сваркой. Дл  повышени  температурной стабильности внутри датчика создаетс  вакуум величиной 10 - мм рт.ст. Колпачок 34 имеет штуцер дл  подвода давлени .To facilitate the deformation of the cantilever, in order to adjust the capacitive gaps, its supporting section has a transverse groove 32 at the bottom. After grinding the electrode part, the fixing surfaces of the housing parts 1 and 2 and to obtain the necessary initial clearance between the electrodes 15, 28 and 16, 29 are used foil gasket 33 required thickness. After the hermetic closure of the housing, welding is performed around the perimeters of the adjacent portions, for example electron beam welding. To increase temperature stability, a vacuum of 10 mm Hg is created inside the sensor. The cap 34 has a pressure fitting.

На фиг. 7 приведена схема измерени , где емкости С1 и С2, образованные соответственно между электродами 15, 28 и 16, 29, вход т в схему автогенераторов 35 и 36, выходные сигналы которых с частотами f 1 и fa подаютс  смесителю 37. Разностна  частота подаетс  измерителю 38 частоты.FIG. 7 shows a measurement circuit where capacitors C1 and C2, formed respectively between electrodes 15, 28 and 16, 29, are included in the circuit of autogenerators 35 and 36 whose output signals with frequencies f 1 and fa are fed to mixer 37. The difference frequency is supplied to meter 38 frequencies.

Предлагаемый емкостный датчик давлени  работает следующим образом.The proposed capacitive pressure sensor operates as follows.

Через штуцер колпачка 34 давление Р подаетс  к мембране 4 с жестким центром и в виде усили  передаетс  к концу силопередающей балки 20, к другому концу которой присоединен податливый силопередающий стержень 18, который давление в виде усили  передает к подвижному электроду 15 плоского коромысла 12. Если этот электрод приближаетс  к неподвижному электроду 28, увеличива  емкость, то второй подвижный электрод 16 коромысла удал етс  от неподвижного электрода 29, уменьша  емкость. При полной симметрии изменение обеих емкостей равно ±ДС. Если автогенератор 35 уменьшает свою частоту на величину A f, то автогенератор 36Through the nozzle of the cap 34, pressure P is applied to the membrane 4 with a rigid center and in the form of a force is transmitted to the end of the power-transmission beam 20, to the other end of which a compliant force-transmitting rod 18 is attached, which transmits the pressure in the form of force to the moving electrode 15 of the flat rocker 12. If The electrode approaches the stationary electrode 28, increasing the capacitance, then the second movable electrode 16 of the rocker arm moves away from the stationary electrode 29, reducing the capacitance. With full symmetry, the change in both capacities is ± DS. If the oscillator 35 reduces its frequency by the value of A f, then the oscillator 36

увеличивает частоту на такую же величину. Так как выходные сигналы автогенераторов подаютс  к смесителю 37, то на выходе ее изменение частоты будет ± 2 Af. По величине измер емой частоты частотометром 38 можно судить о величине давлени .increases frequency by the same amount. Since the output signals of the autogenerators are fed to the mixer 37, at the output its frequency change will be ± 2 Af. From the magnitude of the measured frequency, the frequency meter 38 can judge the magnitude of the pressure.

Температурна  компенсаци  и повышение виброударной устойчивости осуществл етс  термокомпенсационной балкой 21,Temperature compensation and increase in vibro-impact resistance is carried out by a temperature-compensating beam 21,

котора  одним концом св зана с корпусомwhich is connected at one end to the housing

1через упругий несдвигаемый шарнир 23, а другим - с жестким центром мембраны 5. Из-за несимметричного прикреплени  си- лопередающих податливых штоков 18, 19 к1 through the elastic non-moving hinge 23, and the other with the rigid center of the membrane 5. Due to the asymmetrical attachment of the force-transmitting pliable rods 18, 19 to

электродам 15 и 16 плоского коромысла при ударных нагрузках могут возникнуть скручивающие инерционные моменты и поэтому плоское коромысло с обратной стороны имеет упрочн ющие ребра, расположенныеElectrodes 15 and 16 of the flat rocker under shock loads may cause torsional inertia moments and therefore the flat rocker on the reverse side has reinforcing ribs located

симметрично по диагонали этого коромысла , позвол ющие произвести регулирование несимметричных инерционных моментов путем передвижени  винтов на крайних ребрах 8 и 10 на коромысле с возможностью добавки инерционных грузов к этим же винтам.symmetrically along the diagonal of this rocker, allowing adjustment of asymmetrical inertia moments by moving the screws on the extreme edges 8 and 10 on the rocker with the possibility of adding inertial loads to the same screws.

Так каксилопередающа  система в виде балок, несдвигаемых упругих шарниров и силопередающих стержней и мембран с жесткими центрами выполнены за одно целое с корпусом 1 и так как при действии давлени  Р центр мембраны 4 перемещаетс  незначительно , то значением гистерезиса можно пренебречь.Since the force-transmitting system in the form of beams, non-moving elastic hinges and power-transmitting rods and membranes with rigid centers are made in one piece with the housing 1 and since under the action of pressure P the membrane 4 moves slightly, the hysteresis value can be neglected.

Перемещению плоского коромысла противодействуют узкие шейки 13 и 14, выполн ющие роль опорных упругих шарниров. По размерам указанных шеек, по жесткости и упругости как мембран, так и несдвигаемых упругих шарниров определ ютс  разрешающа  способность и чувствительность датчика. При толщине 3 мм и при высоте ихThe movement of the flat rocker is opposed by narrow necks 13 and 14, which play the role of supporting elastic hinges. The sizes and the stiffness and elasticity of both the membranes and the non-displaceable elastic hinges determine the resolution and sensitivity of the sensor. With a thickness of 3 mm and with a height of

2мм нижний предел измер емых давлений можно довести до 1,5-2,0 мм рт.ст. Разрешающую способность датчика можно увеличить удлинением коромысла и изменением размера шеек,The 2mm lower limit of the measured pressures can be increased to 1.5-2.0 mm Hg. The resolution of the sensor can be increased by lengthening the rocker arms and changing the size of the necks,

Изменение емкости С1 и С2 произво- дитс  передвижением конца консоли дна корпуса путем передвижени  по отношению к опоре с помощью регулирующей системы ,The change in capacitance C1 and C2 is made by moving the end of the bottom of the body console by moving towards the support with the help of a regulating system,

Дл  перевода конструкции в состо -, ние измерени  разности давлений необходимо второй колпак 6 мембраны 5 заменить колпачком со штуцером, аналогичным колпачку 34.To convert the construction to the state of measuring the pressure difference, it is necessary to replace the second cap 6 of the membrane 5 with a cap with a fitting similar to the cap 34.

Чувствительность емкостного датчика увеличиваетс  во столько раз, во сколько раз отношение рассто ни  центровки опоры и мембраны больше, чем рассто ние центров силопередающего стержн  и опо- ры. Чувствительность датчика увеличиваетс  также благодар  выполнению поверхности электрода пр моугольной формы в сравнении с круглой, когда датчик имеет форму пр моугольной призмы.The sensitivity of the capacitive sensor increases by as many times as the ratio of the centering distance of the support and the membrane is greater than the distance of the centers of the power-transmitting rod and the support. The sensitivity of the sensor is also increased by making the surface of the electrode rectangular in shape compared to a round one when the sensor is in the shape of a rectangular prism.

Создание электродов плоской пр моугольной формы св зано поперечным поло - сковым вырезом центральной части плоского коромысла. Такие вырезы привод т к снижению прочности хоромысла, кото- рое при ударных нагрузках может обломитьс , возможны также изгибы концов коромысла с получением ложных сигналов . Поэтому с обратной стороны электродов коромысла выполнены упрочн - ющие ребра, расположенные симметрично по отношению к его диагонали. Кроме того, из-за несимметричного прикреплени  сило- передающихстержней к подвижным пр моугольным электродам при ударных нагрузках могут возникнуть скручивающие моменты инерции, крайние ребра компенсируют по вление таких моментов, заодно увеличива  прочность кордмысла.The creation of flat rectangular electrodes is connected by a transverse cut of the central part of the flat rocker. Such cuts lead to a decrease in the strength of the pole arm, which can be broken off under shock loads; bending of the ends of the rocker arm with the production of false signals is also possible. Therefore, reinforcing ribs located symmetrically with respect to its diagonal are made on the back side of the electrodes of the rocker arm. In addition, due to the asymmetric attachment of the force-transmitting rods to the movable rectangular electrodes, under shock loads, torsional moments of inertia may occur, the outer edges compensate for the occurrence of such moments, at the same time increasing the strength of the cord.

Кроме того, в предлагаемом датчике значительно проще получение плоскопараллельного расположени  электродов путем фрезеровки и шлифовки пр моугольной части силопередающего участка корпуса и плоского коромысла с его наружной рамкой. После закреплени  неподвижных электродов на корпусе производитс  шлифовка примыкающей внешней поверхности и при применении фольговой прокладки между корпусом 2 и рамкой 7 можно легко пол- учить плоскопараллельное расположение подвижных и неподвижных электродов, удаленных друг от друга по толщине фольговой прокладки.In addition, in the proposed sensor, it is much easier to obtain a plane-parallel arrangement of electrodes by milling and grinding the rectangular part of the force-transmitting part of the body and the flat rocker with its outer frame. After fixing the stationary electrodes on the housing, the adjacent outer surface is polished, and when using a foil gasket between the housing 2 and the frame 7, it is possible to easily locate the plane-parallel arrangement of the moving and stationary electrodes that are spaced apart from each other by the thickness of the foil gasket.

Благодар  применению второй балки создаетс  полна  термокомпенсаци  сило- передающей системы датчика, так как воздействие этих двух балок при изменении температуры на подвижные электроды дает одинаковые изменени  и поэтому на выходе ложный сигнал будет отсутствовать (все узлы датчика изготовлены из одного металла).Due to the use of the second beam, a full thermal compensation of the sensor's force-transmitting system is created, since the effect of these two beams upon changing the temperature on the movable electrodes gives the same changes and therefore there will be no false signal at the output (all sensor assemblies are made of the same metal).

В датчике вследствие выполнени  заодно шеек между наружной рамкой и полоско- вым коромыслом, а также благодар  монолитности силопередающей системы,, т.е. за счет отсутстви  отдельных прикрепл емых узлов, значительно уменьшаетс  возможный гистерезис, а следовательно, повышаетс  точность.In the sensor, due to the performance of necks at the same time between the outer frame and the strip arm, as well as due to the monolithicity of the force-transmitting system, i.e. due to the absence of separate attachments, the possible hysteresis is significantly reduced, and consequently, the accuracy is increased.

Конструкци  датчика позвол ет без особых изменений, только заменив колпак наглухо закрытой мембраны на крышку со штуцером, производить измерение разностного давлени .The design of the sensor allows, without any special changes, only by replacing the cap of a tightly closed membrane with a lid with a socket, to measure the differential pressure.

Наличие зазора величиной 50 мкм, где воздушный слой наполовину заменен слюдой , позвол ет емкость каждого конденсатора увеличить в 1,5-2,0 раза. Изменение емкостного зазора всего лишь на 2-3%, в пределах которого сохран етс  линейна  характеристика, приводит к изменению частоты каждого генератора 25 кГц (основна  частота автогенератора была 10 МГц).The presence of a gap of 50 microns, where the air layer is half replaced by mica, allows the capacitance of each capacitor to be increased 1.5-2.0 times. A change in the capacitive gap of only 2-3%, within which the linear characteristic is maintained, leads to a change in the frequency of each oscillator of 25 kHz (the fundamental frequency of the oscillator was 10 MHz).

Подбором толщины мембран с жестким центром и размером упругих шеек (2x2 мм) нижний предел измер емых давлений доведен до 1-2 мм рт.ст. Вес датчика не превышает 500 г.By selecting the thickness of the membranes with a rigid center and the size of elastic necks (2x2 mm), the lower limit of the measured pressures was brought to 1-2 mm Hg. Sensor weight does not exceed 500 g.

Испытание датчика на виброударную нагрузку показало отсутствие выходных ложных сигналов. Сн та  характеристика между изменением частоты выходного сигнала и приложенным давлением была линейной .The vibration test of the sensor showed no output spurious signals. The characteristic between the change in frequency of the output signal and the applied pressure was linear.

Claims (1)

Формула изобретени  Емкостный датчик давлени , содержащий установленные в корпусе две мембраны , соединенные через силопередающие элементы с подвижными электродами, раз- мещенными на противоположных плечах с одной стороны плоского коромысла,ось вращени  которого св зана с закрепленной на корпусе пр моугольной опорной рамкой через упругие перемычки, выполненные за одно целое с рамкой, и неподвижные электроды, установленные с регулируемым зазором относительно подвижных электродов , отличающийс  тем, что, с целью повышени  чувствительности и виброударной устойчивости, а также обеспечени  высокой точности, в нем силопередающие элементы выполнены в виде двух идентичных консольных балок с закрепленными на противоположных сторонах корпуса упру- гимиопорами,св занных одними концами с центрами соответствующих мембран, а другими - с соответствующими подвижными электродами, при этом балки размещены с возможностью углового перемещени  относительно соответствующих упругих опор в двух параллельных плоскост х, перпендикул рных оси вращени  коромысла и симметричных относительно его продольной оси, и выполнены за одно целое с мембранами и корпусом, а коромысло снабжено ребрами жесткости, расположенными с противоположной стороны относительно подвижных электродов параллельно продольной оси коромысла и симметрично его диагонали, и балансировочными грузами,Claims of Invention A capacitive pressure sensor comprising two membranes mounted in a housing connected via transmitting elements with movable electrodes placed on opposite arms on one side of a flat rocker, whose axis of rotation is connected to a rectangular support frame fixed to the housing through elastic jumpers, made in one piece with the frame, and fixed electrodes installed with an adjustable gap relative to the moving electrodes, characterized in that, in order to increase the sensitivity stability and vibro-impact resistance, as well as ensuring high accuracy, in it the power-transmitting elements are made in the form of two identical cantilever beams with elastic resistors fixed on opposite sides of the body, connected at one end to the centers of the corresponding membranes, and This beam is placed with the possibility of angular displacement relative to the corresponding elastic supports in two parallel planes, perpendicular to the axis of rotation of the rocker arm and symmetrical from ositelno its longitudinal axis, and are integrally formed with the membranes and the housing, and the rocker arm is provided with ribs disposed on the opposite side with respect to the movable electrodes parallel to the longitudinal axis of the rocker and its diagonally symmetric and balancing mass, //rf/У//////////////////////////.// rf / U //////////////////////////. 3232 3131 // Фиг.11 -- ,1,one установленными на крайних pebpax жесткости .installed on extreme stiffness pebpax. А-АAa :;К 25:; To 25 30thirty -)©-) © JLJl иг.2ig.2 1one |«аь. | гg 4s4s 1one ОаOh -- а оoh О5O5 о юo you оabout NN гьgb СаSa 4four ТT 16sixteen -G-G ВидАVida J LJ l XX 1515 //// XX fiui.efiui.e
SU884619634A 1988-12-13 1988-12-13 Capacitive pressure pickup SU1696920A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884619634A SU1696920A1 (en) 1988-12-13 1988-12-13 Capacitive pressure pickup

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884619634A SU1696920A1 (en) 1988-12-13 1988-12-13 Capacitive pressure pickup

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1696920A1 true SU1696920A1 (en) 1991-12-07

Family

ID=21414873

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU884619634A SU1696920A1 (en) 1988-12-13 1988-12-13 Capacitive pressure pickup

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1696920A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 1500887, кл. G 01 L 9/12, 1987. Авторское свидетельство СССР № 1615581, кл. G 01 L 9/12; 17.10.88. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4295376A (en) Force responsive transducer
CA1324497C (en) Compact force transducer with mechanical motion amplification
CA1215243A (en) Accelerometer with beam resonator force transducer
FI93579C (en) Capacitive encoder feedback with electrostatic force and method for controlling the shape of its active element
US11105828B2 (en) Microelectromechanical device for out-of-plane motion detection
US4433580A (en) Pressure transducer
US4944184A (en) Asymmetric flexure for pendulous accelerometer
SU1696920A1 (en) Capacitive pressure pickup
US5974880A (en) Capacitance acceleration sensor
JPH0682469A (en) Accelerometer
CA2203975A1 (en) Capacitive pressure transducer
JPH0225141Y2 (en)
GB2068551A (en) Vortex Shedding Flow Measuring Device
SU1179236A1 (en) Capacitive seismic sensor
SU1615581A1 (en) Capacitive pressure transducer
RU2179710C2 (en) Method of in-operation adjustment of absolute-pressure capacitance sensor for determination of flying vehicle altitude
JPH05240641A (en) Inclination meter
KR200141925Y1 (en) Weight sensor
JP2518609Y2 (en) Pressure sensor
RU2028000C1 (en) Compensating accelerometer
RU1800299C (en) Capacitance pressure pickup
RU2098832C1 (en) Sensitive element of capacitance acceleration meter
RU1811612C (en) Electrostatic accelerometer
SU1721438A1 (en) Inclination meter
SU940074A1 (en) Accelerometer