SU1683066A1

SU1683066A1 - Method of making magnetic cores of thin-film magnetic heads

Info

Publication number: SU1683066A1
Application number: SU894659583A
Authority: SU
Inventors: Леонид Николаевич Герасимук; Василий Андреевич Сагайдак; Сергей Викторович Павлов; Игорь Михайлович Брызгин; Елена Андреевна Шейгас
Original assignee: Предприятие П/Я В-8071
Priority date: 1989-03-07
Filing date: 1989-03-07
Publication date: 1991-10-07

Abstract

Изобретение относитс к приборостроению . Цель изобретени - повышение качества магнитопроводов. На поверхности немагнитной токонепровод щей подложки формируют углублени по профилю магнитопроводов , напыл ют слой магнитом гкого материала толщиной не менее глубины углублений , нанос т защитную маску на зону профил магнитопровода с увеличением ее на размер допуска формировани защитной маски дл совмещени с профилем магнитопровода , удал ют магнитом гкий слой с не- защищенных участков, после чего механически удал ют оставшийс магнитом гкий слой с поверхности подложки. 6 ил.The invention relates to instrumentation. The purpose of the invention is to improve the quality of the magnetic cores. On the surface of a non-magnetic tokoproviding substrate, recesses are formed along the profile of the magnetic cores, a layer of magnetically soft material is deposited with a thickness not less than the depth of the recesses, a protective mask is applied to the area of the profile of the magnetic circuit with an increase in its size to the tolerance of the formation of a protective mask to align with the profile of the magnetic circuit, remove the magnet a soft layer from unprotected areas, after which the remaining magnetically soft layer is mechanically removed from the substrate surface. 6 Il.

Description

ww

ЈJ

Изобретение относитс к области приборостроени , а именно к технологии производства тонкопленочных магнитных головок.The invention relates to the field of instrumentation, namely to the technology for the production of thin-film magnetic heads.

Целью изобретени вл етс повышение качества магнитопроводов тонкопленочных магнитных головок.The aim of the invention is to improve the quality of the magnetic cores of thin-film magnetic heads.

На фиг. 1-5 представлена последовательность операций по предлагаемому способу; на фиг. 6 - поверхность подложки многодорожечного блока тонкопленочных магнитных головок, вид сверху.FIG. 1-5 presents the sequence of operations for the proposed method; in fig. 6 - the surface of the substrate of a multi-track block of thin-film magnetic heads, top view.

Способ осуществл ют следующим образом .The method is carried out as follows.

На поверхности подложки 1 формируют углублени 2, количество которых равно количеству магнитных головок в многодоро- жечном . Размеры углублений соответствуют размерам магнитопроводов. На поверхность подложки 1 с углублени ми 2 напыл ют слой 3 магнитом гкого материала , формируют маску 4 из фоторезиста, закрыва магнитом гкий слой 3 в углублени х 2 с некоторым припуском 5, определ емым допуском на совмещение маски с профилем углублени 2 под магнитопро- вод, удал ют магнитом гкий слой 3 с неза- щищенных участков поверхности подложки 1 с последующим сн тием защитной маски 4. После этого производ т механическое удаление магнитом гкого сло 3, выступающего над поверхностью подложки 1, получа полностью сформированный в углублении подложки 1 магнито- провод 6. Операци удалени магнитом гкого сло 3 с поверхности подложки 1 может быть осуществлена с помощью св занного мелкодисперсного алмазного абразива, в частности лентами типа АПЛК-9-3. На фиг. 6 приведен вид на подложку 1 со стороны сформированных магнитопроводов 6, по линии 7 может бытьOn the surface of the substrate 1, holes 2 are formed, the number of which is equal to the number of magnetic heads in the multi-turn heads. The dimensions of the recesses correspond to the size of the magnetic cores. A layer 3 of magnetically soft material is deposited onto the surface of the substrate 1 with depressions 2, a mask 4 is made of photoresist, covering the magnetically soft layer 3 in depressions 2 with a certain allowance 5 defined by the tolerance of the combination of the mask with the depression profile 2 under the magnetic conductor , the soft magnetic layer 3 is removed from the unprotected areas of the surface of the substrate 1, followed by the removal of the protective mask 4. Thereafter, the soft magnetic layer 3 protruding above the surface of the substrate 1 is mechanically removed to obtain a fully formed depression substrate 1 enii magneto wire 6. The operation of removing the magnetizable layer 3 with a surface of the substrate 1 may be effected using particulate bound diamond abrasive, particularly ribbons type APLK-9-3. FIG. 6 shows a view of the substrate 1 from the side of the formed magnetic cores 6, along line 7 it can be

оabout

0000

WW

о о оLtd

произведена порезка дл последующей сборки блока тонкопленочных магнитных головок.cut for the subsequent assembly of a unit of thin-film magnetic heads.

Claims

The invention The method of manufacturing the magnetic cores of thin-film magnetic heads, in which recesses with the profile of the magnetic cores are formed on the surface of a non-conductive nonmagnetic substrate, is applied to a magnetically thick layer with a thickness of at least

f /

figure 1

Fig.Z

G IL

U (//// l

y //, /, // / A

Thebes. five

/ Sjjj / f:

0

The depths of the aforementioned cavities and grinding remove the magnetically soft layer from the substrate surface, characterized in that, in order to improve the quality of the magnetic cores, after the magnetically soft layer is sprayed, part of it is removed by photolithography while maintaining the layer in the profile section of the magnetic cores, and the profile area is increased by the size allowing the formation of a protective layer for photolithography.

////// - / g vZZZZt

L

Y / / / # / FIG. Z

/////

Iffffsf

0 # 0 // 0 #

Fig.b

,

& 7Z22

/ X

// f / 4

6