SU1677540A1 - Емкостный датчик давлени - Google Patents

Емкостный датчик давлени Download PDF

Info

Publication number
SU1677540A1
SU1677540A1 SU894665844A SU4665844A SU1677540A1 SU 1677540 A1 SU1677540 A1 SU 1677540A1 SU 894665844 A SU894665844 A SU 894665844A SU 4665844 A SU4665844 A SU 4665844A SU 1677540 A1 SU1677540 A1 SU 1677540A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
plate
electrode
housing
electrodes
capacitor
Prior art date
Application number
SU894665844A
Other languages
English (en)
Inventor
Евгений Михайлович Белозубов
Юрий Николаевич Ишкатов
Original Assignee
Предприятие П/Я А-1891
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я А-1891 filed Critical Предприятие П/Я А-1891
Priority to SU894665844A priority Critical patent/SU1677540A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1677540A1 publication Critical patent/SU1677540A1/ru

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  измерени  давлени  высокотемпературных газовых сред. Цель изобретени  - улучше . ние технологичности изготовлени . Измер емое давление воздействует на мембрану 2, вызыва  перемещение центрального электрода 8 измерительного конденсатора. Второй электрод 13 размещен на пластине 3. На этой же пластине размещен второй кольцевой электрод 12 эталонного конденсатора, первый электрод которого размещен на корпусе 1. По величине емкостей этих конденсаторов суд т о давлении измер емой среды. Вторые электроды 13 и 12 конденсаторов дл  улучшени  технологичности выполнены за одно целое с пластиной 3 и разделены между собой кольцевой проточкой 10, что уменьшает краевой эффект и взаимовли ние конденсаторов. 1 ил.

Description

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения статических и динамических давлений газообразных высокотемпературных сред.
Цель изобретения - улучшение технологичности.
На чертеже изображен предлагаемый емкостный датчик давления, разрез.
Датчик содержит корпус ! упругий элемент 2, выполненный за одно целое с корпусом, пластину 3, присоединенную с зазором S к корпусу 1 через кольцевую диэлектрическую прокладку 4, и дополнительный диск 5, соединенный по периферии с торцом цилиндрической диэлектрической втулки 6, жестко заделанной на корпусе 1. На упругий элемент 2, выполненный в виде мембраны с жестким центром 7, и корпус 1 методом тонкопленочной технологии нанесены круглый электрод 8 и кольцевой электрод 9. Пластина 3 представляет собой металлический диск, на поверхности которого, обращенной к упругому элементу, имеются кольцевые проточки 10 и 11 глубиной h, расположенные против зон, разделяющих и ограничивающих электроды 8 и 9 на упругом элементе 2 и корпусе 1. Ограниченные кольцевыми проточками электроды 12 и 13 вме- . сте с электродами 8 и 9 образуют измерительный и эталонный конденсаторы, заключенные в замкнутую герметичную полость при помощи кольцевой прокладки 4. Пластина 3 и дополнительный диск 5 образуют конденсатор температурной компенсации. Электроды 8 и 9, пластина 3 и дополнительный диск 5 соединены проводниками с выводами 14 из герметичной зоны, ограниченной кожухом 15.
Датчик работает следующим образом.
Измеряемое статическое и динамическое давление высокотемпературной среды воздействует на упругий элемент 2, вызывая перемещение электрода 8 измерительного конденсатора, что приводит к изменению его емкости по сравнению с емкостью эталоного конденсатора. Одновременно от воздействия температуры и пропорционально ее величине меняется емкость между пластиной 3 и дополнительным диском 5. Величины емкостей измерительного, эталонного конденсаторов и конденсатора температурной компенсации передаются на аппаратуру, преобразующую их в выходной сигнал, пропорциональный измеряемому давлению.
Технологичность предлагаемой конструкции по сравнению с известной повышается за счет того, что неподвижные электроды объединены между собой и выполнены в виде металлического диска 3, присоединенного с зазором к упругому элементу через кольцевую диэлектрическую прокладку 4. Для исключения краевых эффектов в измерительном и эталонном конденсаторах на стороне металлического диска, обращенной к упругому элементу, имеются кольцевые проточки 10 и 11 глубиной, превышающей в 10 раз величину первоначального зазора в конденсаторах, расположенные против зон, разделяющих электроды на упругом элементе и корпусе. Кольцевые проточки одновременно выполняют роль защиты электродов, сформированных проточками, от температурных напряжений, возникающих в неразъемном соединении объединенного неподвижного электрода с корпусом. Диэлектрическая кольцевая прокладка 4 обеспечивает вакуум-плотность межэлектродного пространства и при изготовлении препятствует попаданию в зазор между упругим элементом и металлическим диском мельчайших проводящих частиц и, таким образом, предохраняет от замыкания между собой электродов конденсаторов.

Claims (1)

  1. Формула изобретения
    Емкостный датчик давления, содержащий корпус с выполненной за одно целое с ним мембраной, в центре которой размещен первый изолированный круглый электрод, первый изолированный кольцевой электрод, размещенный на корпусе, пластину с размещенными на ней зеркальносимметричными вторыми электродами, о тличающийся тем, что, с целью улучшения технологичности изготовления , в нем пластина выполнена металлической, а вторые электроды выполнены за одно целое с пластиной и разделены между собой кольцевой проточкой, выполненной в пластине, которая укреплена на корпусе с помощью введенной в датчик кольцевой диэлектрической прокладки.
SU894665844A 1989-01-17 1989-01-17 Емкостный датчик давлени SU1677540A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894665844A SU1677540A1 (ru) 1989-01-17 1989-01-17 Емкостный датчик давлени

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894665844A SU1677540A1 (ru) 1989-01-17 1989-01-17 Емкостный датчик давлени

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1677540A1 true SU1677540A1 (ru) 1991-09-15

Family

ID=21435755

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU894665844A SU1677540A1 (ru) 1989-01-17 1989-01-17 Емкостный датчик давлени

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1677540A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Патент СССР № 593674. кл. G01 L9/12, 1977. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4628403A (en) Capacitive detector for absolute pressure
CA1134164A (en) Force responsive transducer
US3952234A (en) Pressure transducers
US3557621A (en) Variable capacitance detecting devices
SU593674A3 (ru) Датчик давлени
US4301492A (en) Pressure-sensing transducer
EP0376631A1 (en) Differential capacitive pressure sensor with over-pressure protection and method of providing over-pressure protection to a capacitive pressure sensor
JPS5829862B2 (ja) 圧力測定装置
SU1677540A1 (ru) Емкостный датчик давлени
US2879450A (en) Pressure measuring device
US4244228A (en) Pressure transducer
RU2263291C2 (ru) Емкостный датчик давления
JPS57139633A (en) Capacitive pressure-difference converter
SU1176278A1 (ru) Дифференциальный емкостный датчик малых перемещений
RU1789896C (ru) Датчик давлени
RU4822U1 (ru) Измеритель давления
SU1076785A1 (ru) Емкостной датчик давлени
SU1732201A1 (ru) Емкостный датчик давлени и способ его изготовлени
JPS62204137A (ja) 圧力検出器
SU1675703A1 (ru) Емкостный датчик давлени
JPS6236087Y2 (ru)
RU1793286C (ru) Емкостный датчик давлени
SU1753313A1 (ru) Датчик давлени
SU1182370A2 (ru) Емкостной датчик дл измерени физико-химических свойств рыхлых и сыпучих веществ
SU1719942A1 (ru) Датчик давлени