SU1659872A1 - Accelerometer - Google Patents

Accelerometer Download PDF

Info

Publication number
SU1659872A1
SU1659872A1 SU884491593A SU4491593A SU1659872A1 SU 1659872 A1 SU1659872 A1 SU 1659872A1 SU 884491593 A SU884491593 A SU 884491593A SU 4491593 A SU4491593 A SU 4491593A SU 1659872 A1 SU1659872 A1 SU 1659872A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
inertial mass
elastic elements
base
electrodes
measuring
Prior art date
Application number
SU884491593A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Михаил Владимирович Тюрин
Нина Васильевна Марова
Николай Серафимович Мешков
Original Assignee
Предприятие П/Я А-1891
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я А-1891 filed Critical Предприятие П/Я А-1891
Priority to SU884491593A priority Critical patent/SU1659872A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1659872A1 publication Critical patent/SU1659872A1/en

Links

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике, а именно к конструкци м датчиков линейных ускорений - акселерометрам, и может быть использовано дл  измерени  ускорений при движении различных объектов . Цель изобретени  - повышение помехозащищенности от действи  поперечных ускорений, параллельных упругим элементам . Чувствительный элемент состоит из несущего элемента 5, четырех упругих элементов 6 и инерционной массы 7, упругие элементы представл ют собой балку с двум  упругими перемычками 8. Кольцевые электроды опорного конденсатора формируютс  по периферии основани  и на несущем элементе 5, а круглые электроды измерительного конденсатора формируютс  в центре основани  и на инерционной массе 7. Таким образом измерительный конденсатор чувствителен к измер емому параметру . Под действием линейного ускорени  положение инерционной массы 7 изменитс  благодар  прогибу упругих перемычек 8, и, соответственно, происходит изменение зазора между электродами измерительного конденсатора, расположенного на основании и инерционной массе 7. При воздействии ускорени  перпендикул рно измерительной оси центр т жести инерционной массы посто нно находитс  симметрично поверхности несущего элемента, на которой закреплены упругие элементы. 1 з.п. ф-лы, 5 ил. ЁThe invention relates to a measurement technique, in particular, to designs of linear acceleration sensors — accelerometers, and can be used to measure accelerations during the movement of various objects. The purpose of the invention is to increase the noise immunity from transverse accelerations parallel to the elastic elements. The sensing element consists of a carrier element 5, four elastic elements 6 and an inertial mass 7, the elastic elements are a beam with two elastic jumpers 8. The ring electrodes of the reference capacitor are formed around the periphery of the base and on the carrier element 5, and the round electrodes of the measuring capacitor are formed in center of the base and inertial mass 7. Thus, the measuring capacitor is sensitive to the measured parameter. Under the action of linear acceleration, the position of the inertial mass 7 changes due to the deflection of the elastic jumpers 8, and, accordingly, the gap between the electrodes of the measuring capacitor located on the base and the inertial mass 7 changes. Under the action of the acceleration perpendicular to the measuring axis, the center of gravity of the inertial mass is constantly symmetrically to the surface of the bearing element, on which elastic elements are fixed. 1 hp f-ly, 5 ill. Yo

Description

Фиг.ЧFig.Ch

5-65-6

Фиг. 5FIG. five

Claims (2)

Формула изобретенияClaim 1. Акселерометр, содержащий основание с закрепленным на нем чувствительным элементом, состоящим из несущего элемента, инерционной массы и четырех расположенных попарно параллельно упругих элементов, связанных одним концом с несущим элементом, а другим - с инерционной массой, и преобразователь перемещений, отличающийся тем, что, с целью повышения помехозащищенности от действия поперечных ускорений, параллельные упругие элементы имеют утонения в местах соединения их с несущим элементом и инерционной массой, причем для одной пары параллельных упругих элементов они выполнены с одной стороны от. нейтральной плоскости чувствительного элемента, а для другой пары параллельных упругих элементов - с другой стороны от нейтральной плоскости чувствительного элемента.1. The accelerometer containing a base mounted on it with a sensitive element, consisting of a bearing element, an inertial mass and four paired in parallel elastic elements connected at one end with a bearing element, and the other with an inertial mass, and a displacement transducer, characterized in that , in order to increase the noise immunity from the action of transverse accelerations, parallel elastic elements have thinning in the places of their connection with the bearing element and inertial mass, and for one pair of parallel of elastic elements they are made on one side of. the neutral plane of the sensor, and for another pair of parallel elastic elements, on the other side of the neutral plane of the sensor. 2. Акселерометр по п.1, о т л и чающий с я тем, что преобразователь перемещений выполнен емкостным, состоящим из опорного и измерительного конденсаторов, причем опорный конденсатор выполнен в виде кольцевых электродов, расположенных на несущем элементе и основании, а измерительный - в виде круглых электродов, расположенных на инерционной массе и основании, при этом все электроды соосно, а электроды, расположенные на несущем элементе и инерционной массе, соединены перемычкой через один из упругих элементов.2. The accelerometer according to claim 1, with the fact that the displacement transducer is capacitive, consisting of a reference and measuring capacitors, and the reference capacitor is made in the form of ring electrodes located on the supporting element and the base, and the measuring one is in in the form of round electrodes located on the inertial mass and the base, while all the electrodes are coaxial, and the electrodes located on the supporting element and the inertial mass are connected by a jumper through one of the elastic elements.
SU884491593A 1988-10-10 1988-10-10 Accelerometer SU1659872A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884491593A SU1659872A1 (en) 1988-10-10 1988-10-10 Accelerometer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884491593A SU1659872A1 (en) 1988-10-10 1988-10-10 Accelerometer

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1659872A1 true SU1659872A1 (en) 1991-06-30

Family

ID=21403126

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU884491593A SU1659872A1 (en) 1988-10-10 1988-10-10 Accelerometer

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1659872A1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020092565A1 (en) * 2018-10-30 2020-05-07 Texas Instruments Incorporated Piezoelectric accelerometer

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 737834, кл.СО Р 15/08, 1978. Патент US № 4553436, кл.6 01 Р 15/12, 1985. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020092565A1 (en) * 2018-10-30 2020-05-07 Texas Instruments Incorporated Piezoelectric accelerometer

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3327595B2 (en) 3-axis accelerometer
RU99101087A (en) SENSOR FOR THREE-DIMENSIONAL MEASUREMENT OF POSITION OR ACCELERATION
SU1659872A1 (en) Accelerometer
US6895819B1 (en) Acceleration sensor
US6631641B1 (en) Device and method for determining frequency and amplitude of an oscillating structure, especially for measuring acceleration or rotational rates
FR2317631A1 (en) Distance measuring probe for solid objects - calculates distance between two points by moving probe accelerometer along orthogonals
SU1441170A1 (en) Device for measuring deviation of alignment of holes in housing parts
SU1561047A1 (en) Capacitive accelerometer
SU514243A1 (en) Electrochemical accelerometer
RU22331U1 (en) MICROMECHANICAL ACCELEROMETER
SU1569725A1 (en) Acceleration meter
RU204922U1 (en) SENSING ELEMENT OF A THREE-AXIS MICROMECHANICAL ACCELEROMETER
SU947628A1 (en) Capacitive displacement pickup
SU940074A1 (en) Accelerometer
SU527665A1 (en) Piezoelectric accelerometer
SU532821A1 (en) Accelerometer
RU1791782C (en) Semiconductor integral strain-gauge accelerometer
SU742850A1 (en) Hydrostabilized gravimeter
SU879327A1 (en) Mechanical impedance meter
SU526793A1 (en) Device for measuring the level of vibration of rolling bearings
SU392410A1 (en) ACCELERATION SENSOR WITH FREQUENCY OUTPUT
SU847064A1 (en) Vibration pickup
SU513276A1 (en) Piezoelectric static force measuring device
SU1415073A1 (en) Vibration meter for measuring amplitude
SU491899A1 (en) Accelerometer