SU1652675A1 - Диффузионный насос - Google Patents

Abstract

Изобретение позвол ет уменьшить энергозатраты и увеличить пропускную способность насоса. В корпусе 1 с выпускным патрубком 4 в нижней части и впускным патрубком 5 в верхней части расположена жидкостна  ванна 3. Устройство дл  подачи выполнено в виде источника 6 высокого давлени , св занного трубопроводом 7 с ванной 3 и по меньшей мере одного р да механических распылителей, установленных в стенке корпуса 1 на уровне патрубка 5 и сообщенных с источником 6. Распылитель выполнен в виде цилиндрического стакана 8 с тангенциальным подвод щим каналом 9. Стакан 8 открыт со стороны рабочей камеры 2. Использовани  распылител  и в качестве рабочей среды жидкости позвол ет отказатьс  от системы нагрева и охлаждени  Установка стакана 8 в стенке устран ет сопротивление откачиваемому потоку. 1 з.п.ф-лы 1 ил

Description

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к диффузионным насосам.

Цель изобретения - уменьшение энергозатрат и увеличение пропускной способности насоса.

На чертеже представлен предлагаемый насос, продольный разрез.

Насос содержит корпус 1 с рабочей камерой 2. жидкостной ванной 3 и выпускным 10 патрубком 4 в его нижней части, впускной патрубок 5 в верхней части корпуса 1. Устройство для подачи выполнено в виде источника 6 высокого давления, связанного трубопроводом 7 с ванной 3, механического 15 распылителя, выполненного в виде цилиндрического стакана 8 с тангенциальным каналом 9, связанным с выходом источника 6.

Насос работает следующим образом.

После предварительной откачки насоса 20 форвакуумным насосом включают источник 6 высокого давления, который прокачивает жидкость из ванны 3 в механический распылитель. Поступая в стакан 8 по каналу 9. жидкость закручивается, преобретая высо- 25 кую скорость и низкое давление. Вылетая из стакана 8, жидкость разбивается на мелкие капли, образуя факел, ударяется о противоположную распылителю стенку и стекает в ванну, обеспечивая тем самым непрерыв- 30 ную циркуляцию жидкости. Молекулы газа в системе над насосом в результате благоприятного соударения с тяжелыми каплями рабочей жидкости входят более глубоко в эти капли и увлекаются к внутренним стенкам корпуса и вниз в направлении откачки.

Использование механического распылителя и в качестве рабочей среды жидкость позволят отказаться от системы нагрева и охлаждения, кроме того, установка распылителя в стенке устраняет сопротивление откачиваемому потоку.

Claims (2)

1. Формула изобретения

   1. Диффузионный насос, содержащий вертикальный корпус с рабочей камерой, жидкостной ванной и выпускным патрубком в его нижней части и впускным - в верхней, и устройство для подачи, отличающийс я тем, что, с целью уменьшения энергозатрат и увеличения пропускной способности, устройство для подачи выполнено в виде источника высокого давления, связанного трубопроводом и жидкостной ванной, и по меньшей мере одного ряда механических распылителей, установленных в стенке корпуса на уровне впускного патрубка и сообщенного с выходом источника высокого давления.
2. 2. Насос поп. 1.отличающийся тем, что механический распылитель выполнен в виде цилиндрического стакана с тангенциальным подводящим каналом и открытого со стороны рабочей камеры.