SU1647698A1 - Device for catting of electron beam - Google Patents

Device for catting of electron beam Download PDF

Info

Publication number
SU1647698A1
SU1647698A1 SU884365795A SU4365795A SU1647698A1 SU 1647698 A1 SU1647698 A1 SU 1647698A1 SU 884365795 A SU884365795 A SU 884365795A SU 4365795 A SU4365795 A SU 4365795A SU 1647698 A1 SU1647698 A1 SU 1647698A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
electron beam
gap
increase
conductor
dimensions
Prior art date
Application number
SU884365795A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Владимир Борисович Вяхирев
Андрей Николаевич Осипов
Александр Владимирович Суворинов
Сергей Владимирович Титов
Сергей Юрьевич Шахбазов
Original Assignee
Московский Институт Электронного Машиностроения
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Московский Институт Электронного Машиностроения filed Critical Московский Институт Электронного Машиностроения
Priority to SU884365795A priority Critical patent/SU1647698A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1647698A1 publication Critical patent/SU1647698A1/en

Links

Landscapes

  • Electron Beam Exposure (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к микрозондо- вой технике и предназначено дл  стробировани  электронного пучка в электронно-оптических системах при исследовании динамических процессов. Целью изобретени   вл етс  повышение чувствительности устройства при сохранении его габаритов. Устройство содержит отсекающую диафрагму 1 и однородную коаксиальную линию, образованную внешним полым проводником 2 с отверсти ми и внутренним проводником 3 с поперечным разрывом, играющим роль межэлектродного зазора. Геометрические размеры внешнего и внутреннего проводников однородной коаксиальной линии определ ютс  выбранным волновым сопротивлением линии. Выполнение внутреннего проводника в виде ленты , поперечное сечение которой выт нуто вдоль оптической оси прибора, позвол ет за счет уменьшени  емкости зазора подн ть напр женность пол  в зазоре и, следовательно , увеличить чувствительность системы при одинаковом напр жении и ширине зазора, а также при одинаковой длине, на которой электронный пучок взаимодействует с полем отклон ющих электродов. 1 ил. г ё ON VJ О О 00The invention relates to microprobe technology and is intended for electron beam gating in electron-optical systems in the study of dynamic processes. The aim of the invention is to increase the sensitivity of the device while maintaining its dimensions. The device contains a cutting diaphragm 1 and a homogeneous coaxial line formed by an external hollow conductor 2 with openings and an internal conductor 3 with a transverse rupture playing the role of an interelectrode gap. The geometrical dimensions of the outer and inner conductors of a uniform coaxial line are determined by the selected characteristic impedance of the line. Making the inner conductor in the form of a tape, the cross section of which is stretched along the optical axis of the device, allows, by reducing the capacitance of the gap, to increase the intensity of the field in the gap and, consequently, increase the sensitivity of the system with the same voltage the length at which the electron beam interacts with the field of the deflecting electrodes. 1 il. g ё ON VJ O O 00

Description

Изобретение относится к микрозондовой технике и предназначено для стробирования электронного пучка в электронно-оптических системах при исследовании динамических процессов. 5The invention relates to microprobe technology and is intended for gating of an electron beam in electron-optical systems in the study of dynamic processes. 5

Целью изобретения является повышение чувствительности устройства при сохранении его габаритов.The aim of the invention is to increase the sensitivity of the device while maintaining its dimensions.

На чертеже представлено устройство для стробирования электронного пучка в разрезе.The drawing shows a device for strobing an electron beam in a section.

Устройство для стробирования электронного^ пучка содержит отсекающую диафрагму 1 и однородную коаксиальную линию, образованную внешним полым проводником 2 с отверстиями и внутренним проводником 3 с поперечным разрывом, играющим роль межэлектронного зазора. Предлагаемое устройство для стробирования электронного пучка может быть выполнено следующим образом: внешний полый проводник 2 изготовлен из тонкостенной медной трубки с двумя поперечными отверстиями, внутрь которого вставлен внутренний проводник 3 с разрывом, торцы 25 которого, расположенные вдоль электронно-оптической оси прибора, являются поверхностями отклоняющих электродов. Геометрические размеры внешнего и внутреннего проводников однородной коакси- 30 алъной линии определяются выбранным волновым сопротивлением линии.A device for strobing an electron beam contains a cutting diaphragm 1 and a uniform coaxial line formed by an external hollow conductor 2 with holes and an internal conductor 3 with a transverse gap playing the role of an electron gap. The proposed device for gating the electron beam can be performed as follows: the outer hollow conductor 2 is made of a thin-walled copper tube with two transverse holes, inside which the inner conductor 3 is inserted with a gap, the ends 25 of which, located along the electron-optical axis of the device, are deflecting surfaces electrodes. The geometric dimensions of the external and internal conductors of a homogeneous coaxial 30 line are determined by the selected line impedance.

Пример конкретного выполнения устройства для стробирования электронного пучка. При волновом сопротивлении одно- 35 родной коаксиальной линии передачи, равном 50 Ом, и ускоряющем напряжении до 15 кВ высота торца (Ь) внутреннего ленточного проводника 3 равна 10 мм, ширина торца < 1 мм, внутренний диаметр(D) внешнего трубчатого проводника 2 должен быть равен 11,5 мм. Торцы внутреннего ленточного проводника 3, вставленного во внешний трубчатый проводник 2, располагаются так, чтобы их поперечное сечение было вы- 45 тянуто вдоль электронно-оптической оси прибора, и образуют межэлектродный зазор.An example of a specific implementation of the device for strobing an electron beam. With a wave impedance of a homogeneous coaxial transmission line of 50 Ω and an accelerating voltage of up to 15 kV, the height of the end face (b) of the inner tape conductor 3 is 10 mm, the width of the end <1 mm, the inner diameter (D) of the outer tubular conductor 2 must be equal to 11.5 mm. The ends of the inner tape conductor 3 inserted into the outer tubular conductor 2 are arranged so that their cross section is elongated along the electron-optical axis of the device and form an interelectrode gap.

Устройство для стробирования электронного пучка работает следующим образом.A device for gating an electron beam operates as follows.

Электронный пучок 4 проходит между торцами внутреннего проводника 3, при подаче на которые переменного напряжения 10 от блока управления создается электрическое поле между отклоняющими электродами, под действием которого электронный пучок 4, проходящий через межэлектродный у зазор, смещается и прерывается диафраг15 мой 1.The electron beam 4 passes between the ends of the inner conductor 3, when an alternating voltage 10 is applied to it from the control unit, an electric field is created between the deflecting electrodes, under the influence of which the electron beam 4, passing through the interelectrode gap, is displaced and interrupted by the diaphragm15 my 1.

Выполнение внутреннего проводника однородной коаксиальной линии в виде ленты, поперечное сечение которой вытянуто вдоль электронно-оптической оси прибора, 20 позволяет по сравнению с устройством прототипа за счет уменьшения емкости зазора при одинаковом напряжении между отклоняющими электродами, одинаковой ширине зазора и одинаковой длине, на которой электронный пучок взаимодействует с отклоняющими электродами, повысить напряженность электрического поля в зазоре и, следовательно, увеличить чувствительность системы.The implementation of the inner conductor of a homogeneous coaxial line in the form of a tape, the cross section of which is elongated along the electron-optical axis of the device, 20 allows compared with the prototype device by reducing the gap capacity at the same voltage between the deflecting electrodes, the same gap width and the same length on which the electronic the beam interacts with deflecting electrodes, increase the electric field strength in the gap and, therefore, increase the sensitivity of the system.

Claims (1)

Формула изобретенияClaim Устройство для стробирования электронного пучка, содержащее отсекающую диафрагму и однородную коаксиальную линию, подключенную к блоку управления, с внутренним проводником, разделенным поперечным разрывом на отклоняющие электроды, отличаю щ е е с я тем, что, с целью 40 повышения чувствительности устройства при сохранении его габаритов, внутренний проводник с максимальным и минимальный поперечными размерами ориентирован максимальным размером вдоль оси электронного пучка.A device for strobing an electron beam containing a cutting diaphragm and a uniform coaxial line connected to the control unit, with an internal conductor divided by a transverse gap into deflecting electrodes, characterized in that, in order to increase the sensitivity of the device while maintaining its dimensions , the inner conductor with the maximum and minimum transverse dimensions is oriented by the maximum size along the axis of the electron beam. Составитель Е.Барышевский Compiled by E. Baryshevsky Редактор Т.Юрчикова Editor T. Yurchikova Техред М.Моргентал Корректор И.Муска Tehred M. Morgenthal Corrector I. Muska
Заказ 1650 Тираж 328 ПодписноеOrder 1650 Circulation 328 Subscribed ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5VNIIIPI of the State Committee for Inventions and Discoveries under the State Committee for Science and Technology of the USSR 113035, Moscow, Zh-35, Raushskaya nab., 4/5 Производственно-издательский комбинат Патент, г. Ужгород, ул.Гагарина, 101Production and Publishing Combine Patent, Uzhgorod, 101 Gagarin St.
SU884365795A 1988-01-19 1988-01-19 Device for catting of electron beam SU1647698A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884365795A SU1647698A1 (en) 1988-01-19 1988-01-19 Device for catting of electron beam

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884365795A SU1647698A1 (en) 1988-01-19 1988-01-19 Device for catting of electron beam

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1647698A1 true SU1647698A1 (en) 1991-05-07

Family

ID=21350584

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU884365795A SU1647698A1 (en) 1988-01-19 1988-01-19 Device for catting of electron beam

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1647698A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № , кл. Н 01J 37/26,1982. Задорф Кратц. Вставна система прерывани электронного пучка дл РЭМ, - Приборы дл научных исследований, 1985, ,с.76-81. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3760306A (en) Dielectric support for high frequency coaxial lines
US4231003A (en) Shield-type coaxial vacuum feedthrough
DE19722272A1 (en) Device for generating plasma
US3908176A (en) Galvanic isolator for a frequency range of 40 to 900 MHZ
US2836758A (en) Electron discharge device
SU1647698A1 (en) Device for catting of electron beam
US20040262268A1 (en) Plasma burner with microwave stimulation
US2305844A (en) Electron discharge device
KR860009448A (en) Tubular capacitor
US3634784A (en) Fluid-cooled coaxial line terminator
US4002957A (en) Trimmable fixed hermetically sealed capacitor
US4547679A (en) Generator for producing high-voltage rectangular pulses
GB1419283A (en) Wide band width vertically polazized omnidirectional aerial
CA2295253A1 (en) An electron beam tube having a tubular capacitor
GB1196285A (en) Improvements in Electron Discharge Devices
KR950009866A (en) Voltage application method and electrode structure of electron gun for in-line color cathode ray tube
US4262266A (en) Coaxial stub tuner
US4459430A (en) High voltage variable diameter insulator
US2197027A (en) Electric cable
JPS60243953A (en) Coaxial microwave ion source
NO932361L (en) Shared coaxial cable conductor and manufacturing method
RU2676470C1 (en) High-voltage cable
US2868978A (en) Test apparatus
RU1808154C (en) Aerial
SU1483517A1 (en) Spark gap