SU1647698A1 - Device for catting of electron beam - Google Patents
Device for catting of electron beam Download PDFInfo
- Publication number
- SU1647698A1 SU1647698A1 SU884365795A SU4365795A SU1647698A1 SU 1647698 A1 SU1647698 A1 SU 1647698A1 SU 884365795 A SU884365795 A SU 884365795A SU 4365795 A SU4365795 A SU 4365795A SU 1647698 A1 SU1647698 A1 SU 1647698A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- electron beam
- gap
- increase
- conductor
- dimensions
- Prior art date
Links
Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к микрозондо- вой технике и предназначено дл стробировани электронного пучка в электронно-оптических системах при исследовании динамических процессов. Целью изобретени вл етс повышение чувствительности устройства при сохранении его габаритов. Устройство содержит отсекающую диафрагму 1 и однородную коаксиальную линию, образованную внешним полым проводником 2 с отверсти ми и внутренним проводником 3 с поперечным разрывом, играющим роль межэлектродного зазора. Геометрические размеры внешнего и внутреннего проводников однородной коаксиальной линии определ ютс выбранным волновым сопротивлением линии. Выполнение внутреннего проводника в виде ленты , поперечное сечение которой выт нуто вдоль оптической оси прибора, позвол ет за счет уменьшени емкости зазора подн ть напр женность пол в зазоре и, следовательно , увеличить чувствительность системы при одинаковом напр жении и ширине зазора, а также при одинаковой длине, на которой электронный пучок взаимодействует с полем отклон ющих электродов. 1 ил. г ё ON VJ О О 00The invention relates to microprobe technology and is intended for electron beam gating in electron-optical systems in the study of dynamic processes. The aim of the invention is to increase the sensitivity of the device while maintaining its dimensions. The device contains a cutting diaphragm 1 and a homogeneous coaxial line formed by an external hollow conductor 2 with openings and an internal conductor 3 with a transverse rupture playing the role of an interelectrode gap. The geometrical dimensions of the outer and inner conductors of a uniform coaxial line are determined by the selected characteristic impedance of the line. Making the inner conductor in the form of a tape, the cross section of which is stretched along the optical axis of the device, allows, by reducing the capacitance of the gap, to increase the intensity of the field in the gap and, consequently, increase the sensitivity of the system with the same voltage the length at which the electron beam interacts with the field of the deflecting electrodes. 1 il. g ё ON VJ O O 00
Description
Изобретение относится к микрозондовой технике и предназначено для стробирования электронного пучка в электронно-оптических системах при исследовании динамических процессов. 5The invention relates to microprobe technology and is intended for gating of an electron beam in electron-optical systems in the study of dynamic processes. 5
Целью изобретения является повышение чувствительности устройства при сохранении его габаритов.The aim of the invention is to increase the sensitivity of the device while maintaining its dimensions.
На чертеже представлено устройство для стробирования электронного пучка в разрезе.The drawing shows a device for strobing an electron beam in a section.
Устройство для стробирования электронного^ пучка содержит отсекающую диафрагму 1 и однородную коаксиальную линию, образованную внешним полым проводником 2 с отверстиями и внутренним проводником 3 с поперечным разрывом, играющим роль межэлектронного зазора. Предлагаемое устройство для стробирования электронного пучка может быть выполнено следующим образом: внешний полый проводник 2 изготовлен из тонкостенной медной трубки с двумя поперечными отверстиями, внутрь которого вставлен внутренний проводник 3 с разрывом, торцы 25 которого, расположенные вдоль электронно-оптической оси прибора, являются поверхностями отклоняющих электродов. Геометрические размеры внешнего и внутреннего проводников однородной коакси- 30 алъной линии определяются выбранным волновым сопротивлением линии.A device for strobing an electron beam contains a cutting diaphragm 1 and a uniform coaxial line formed by an external hollow conductor 2 with holes and an internal conductor 3 with a transverse gap playing the role of an electron gap. The proposed device for gating the electron beam can be performed as follows: the outer hollow conductor 2 is made of a thin-walled copper tube with two transverse holes, inside which the inner conductor 3 is inserted with a gap, the ends 25 of which, located along the electron-optical axis of the device, are deflecting surfaces electrodes. The geometric dimensions of the external and internal conductors of a homogeneous coaxial 30 line are determined by the selected line impedance.
Пример конкретного выполнения устройства для стробирования электронного пучка. При волновом сопротивлении одно- 35 родной коаксиальной линии передачи, равном 50 Ом, и ускоряющем напряжении до 15 кВ высота торца (Ь) внутреннего ленточного проводника 3 равна 10 мм, ширина торца < 1 мм, внутренний диаметр(D) внешнего трубчатого проводника 2 должен быть равен 11,5 мм. Торцы внутреннего ленточного проводника 3, вставленного во внешний трубчатый проводник 2, располагаются так, чтобы их поперечное сечение было вы- 45 тянуто вдоль электронно-оптической оси прибора, и образуют межэлектродный зазор.An example of a specific implementation of the device for strobing an electron beam. With a wave impedance of a homogeneous coaxial transmission line of 50 Ω and an accelerating voltage of up to 15 kV, the height of the end face (b) of the inner tape conductor 3 is 10 mm, the width of the end <1 mm, the inner diameter (D) of the outer tubular conductor 2 must be equal to 11.5 mm. The ends of the inner tape conductor 3 inserted into the outer tubular conductor 2 are arranged so that their cross section is elongated along the electron-optical axis of the device and form an interelectrode gap.
Устройство для стробирования электронного пучка работает следующим образом.A device for gating an electron beam operates as follows.
Электронный пучок 4 проходит между торцами внутреннего проводника 3, при подаче на которые переменного напряжения 10 от блока управления создается электрическое поле между отклоняющими электродами, под действием которого электронный пучок 4, проходящий через межэлектродный у зазор, смещается и прерывается диафраг15 мой 1.The electron beam 4 passes between the ends of the inner conductor 3, when an alternating voltage 10 is applied to it from the control unit, an electric field is created between the deflecting electrodes, under the influence of which the electron beam 4, passing through the interelectrode gap, is displaced and interrupted by the diaphragm15 my 1.
Выполнение внутреннего проводника однородной коаксиальной линии в виде ленты, поперечное сечение которой вытянуто вдоль электронно-оптической оси прибора, 20 позволяет по сравнению с устройством прототипа за счет уменьшения емкости зазора при одинаковом напряжении между отклоняющими электродами, одинаковой ширине зазора и одинаковой длине, на которой электронный пучок взаимодействует с отклоняющими электродами, повысить напряженность электрического поля в зазоре и, следовательно, увеличить чувствительность системы.The implementation of the inner conductor of a homogeneous coaxial line in the form of a tape, the cross section of which is elongated along the electron-optical axis of the device, 20 allows compared with the prototype device by reducing the gap capacity at the same voltage between the deflecting electrodes, the same gap width and the same length on which the electronic the beam interacts with deflecting electrodes, increase the electric field strength in the gap and, therefore, increase the sensitivity of the system.
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884365795A SU1647698A1 (en) | 1988-01-19 | 1988-01-19 | Device for catting of electron beam |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884365795A SU1647698A1 (en) | 1988-01-19 | 1988-01-19 | Device for catting of electron beam |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1647698A1 true SU1647698A1 (en) | 1991-05-07 |
Family
ID=21350584
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU884365795A SU1647698A1 (en) | 1988-01-19 | 1988-01-19 | Device for catting of electron beam |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1647698A1 (en) |
-
1988
- 1988-01-19 SU SU884365795A patent/SU1647698A1/en active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № , кл. Н 01J 37/26,1982. Задорф Кратц. Вставна система прерывани электронного пучка дл РЭМ, - Приборы дл научных исследований, 1985, ,с.76-81. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3760306A (en) | Dielectric support for high frequency coaxial lines | |
US4231003A (en) | Shield-type coaxial vacuum feedthrough | |
DE19722272A1 (en) | Device for generating plasma | |
US3908176A (en) | Galvanic isolator for a frequency range of 40 to 900 MHZ | |
US2836758A (en) | Electron discharge device | |
SU1647698A1 (en) | Device for catting of electron beam | |
US20040262268A1 (en) | Plasma burner with microwave stimulation | |
US2305844A (en) | Electron discharge device | |
KR860009448A (en) | Tubular capacitor | |
US3634784A (en) | Fluid-cooled coaxial line terminator | |
US4002957A (en) | Trimmable fixed hermetically sealed capacitor | |
US4547679A (en) | Generator for producing high-voltage rectangular pulses | |
GB1419283A (en) | Wide band width vertically polazized omnidirectional aerial | |
CA2295253A1 (en) | An electron beam tube having a tubular capacitor | |
GB1196285A (en) | Improvements in Electron Discharge Devices | |
KR950009866A (en) | Voltage application method and electrode structure of electron gun for in-line color cathode ray tube | |
US4262266A (en) | Coaxial stub tuner | |
US4459430A (en) | High voltage variable diameter insulator | |
US2197027A (en) | Electric cable | |
JPS60243953A (en) | Coaxial microwave ion source | |
NO932361L (en) | Shared coaxial cable conductor and manufacturing method | |
RU2676470C1 (en) | High-voltage cable | |
US2868978A (en) | Test apparatus | |
RU1808154C (en) | Aerial | |
SU1483517A1 (en) | Spark gap |