SU1610464A1 - Scanning device - Google Patents

Scanning device Download PDF

Info

Publication number
SU1610464A1
SU1610464A1 SU874273895A SU4273895A SU1610464A1 SU 1610464 A1 SU1610464 A1 SU 1610464A1 SU 874273895 A SU874273895 A SU 874273895A SU 4273895 A SU4273895 A SU 4273895A SU 1610464 A1 SU1610464 A1 SU 1610464A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
fixed support
base
axis
contacts
spring
Prior art date
Application number
SU874273895A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Ефим Михайлович Копелев
Original Assignee
Научно-Производственное Объединение Космических Исследований
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Научно-Производственное Объединение Космических Исследований filed Critical Научно-Производственное Объединение Космических Исследований
Priority to SU874273895A priority Critical patent/SU1610464A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1610464A1 publication Critical patent/SU1610464A1/en

Links

Landscapes

  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к оптическим устройствам дл  отклонени  светового луча от объекта и примен етс  дл  качани  вторичных зеркал орбитального телескопа при исследовании источников инфракрасного излучени . Цель изобретени  - расширение функциональных возможностей сканирующего устройства и повышение его точности. Сканирующее устройство содержит подложку 2 с отражающей поверхностью 1, установленную на подвижных опорах с возможностью качани  относительно своей оси, неподвижную опору 20, магнитоэлектрические движители 10 и 11, установленные в плоскости, перпендикул рной оси качани , и состо щие из магнитопроводов с посто нными магнитами, и катушек с обмотками, вход щих в рабочие зазоры 15 магнитопроводов и закрепленных на подложке. В основании 8 выполнены пазы, совпадающие с рабочими зазорами магнитопроводов. Основание 8 установлено на неподвижной опоре 20 с возможностью вращени  в плоскости отражающей поверхности, на нем закреплены подвижна  опора, магнитопроводы, узлы перемещени  и фиксации, взаимодействующие с неподвижной опорой 20 и контактами платы положени  плоскости сканировани , а обмотки снабжены выступами 17, взаимодействующими с узлами перемещени  24 и 25. Узел перемещени  содержит подпружиненный шток с канавкой, контактирующей с выступом 17 обмотки, противоположный конец штока имеет скошенную поверхность, взаимодействующую с отверсти ми неподвижной опоры, а узел фиксации содержит стакан, в котором установлен подпружиненный шарик, взаимодействующий с фиксирующими отверсти ми неподвижной опоры и контактами платы. 1 з.п. ф-лы, 11 ил.The invention relates to optical devices for deflecting a light beam from an object and is used to swing the secondary mirrors of an orbiting telescope in the study of infrared radiation sources. The purpose of the invention is to expand the functionality of the scanning device and increase its accuracy. The scanning device contains a substrate 2 with a reflecting surface 1 mounted on movable supports with the possibility of swinging about its axis, a fixed support 20, magnetoelectric propellers 10 and 11 installed in a plane perpendicular to the axis of swing, and consisting of permanent magnetic magnets, and coils with windings included in the working gaps of the 15 magnetic circuits and attached to the substrate. In the base 8 there are grooves that coincide with the working gaps of the magnetic circuits. The base 8 is mounted on the fixed support 20 so that it can rotate in the plane of the reflecting surface, a movable support, magnetic cores, displacement and fixation units cooperating with the fixed support 20 and the contacts of the scanning plane position board are mounted on it, and the windings are provided with protrusions 17 interacting with the displacement nodes 24 and 25. The transfer unit contains a spring-loaded rod with a groove in contact with the winding protrusion 17; the opposite end of the rod has a beveled surface that interacts with the hole and a fixed support, and the fixing unit contains a cup in which a spring-loaded ball is installed, which interacts with the fixing holes of the fixed support and the contacts of the board. 1 hp f-ly, 11 ill.

Description

ИAND

Фиг.33

ТT

катушек с обмотками, вход щих в рабочие зазоры 15 магнитопроводов и закрепленных на подложке. В основании 8 выполнены пазы, совпадающие с рабочими зазорами магнитопроводов. Основание 8 установлено на неподвижной опоре 20 с возмозйностью вращени  в плоскости отражающей поверхности,, на нем закреплены подвижна  опора, маг- нитопроводы, узлы перемещени  и фиксации , взаимодействующие с неподвиж-. ной опорой 20 и контактами платы положени  плоскости сканировани , а .coils with windings included in the working gaps of the 15 magnetic circuits and attached to the substrate. In the base 8 there are grooves that coincide with the working gaps of the magnetic circuits. The base 8 is mounted on a fixed support 20 with possible rotation in the plane of the reflecting surface, on it a movable support is fixed, magnetic conductors, displacement and fixation units interacting with the fixed one. the support 20 and the contacts of the board of the position of the scanning plane, a.

обмотки снабжены выступами 17, взаимодействующими с узлами- перемещени  24 и 25. Узел перемещени  содержитthe windings are provided with protrusions 17 interacting with the movement nodes 24 and 25. The movement node comprises

подпружиненный шток с канавкой, контактирующей с выступом 17 обмо тки, противоположный конец штока имеет скошенную поверхность, взаимодействующую с отверсти ми неподвижной опоры , а узел фиксации- содержит стакан, в котором установлен подпружиненный шарик, взаимодействующей с фиксирующими отверсти ми неподвижной опоры и контактами платы. 1 з.п. ф-лы, 11 ил.A spring-loaded rod with a groove in contact with the protrusion 17 of the winding, the opposite end of the rod has a beveled surface that interacts with the holes of the fixed support, and the fixing unit contains a cup in which a spring-loaded ball is installed that interacts with the fixing holes of the fixed support and the contacts of the board. 1 hp f-ly, 11 ill.

Изобретение относитс  к оптическим устройствам дл  отклонени  светового луча от объекта и примен етс  дл  ка- нани  вторичных зеркал орбитального ггелескопа при исследовании источников инфракрасного излуче ни . Целью изобретени   вл етс  расширение диапазона сканиро1зани  и повышение точности.The invention relates to optical devices for deflecting a light beam from an object and is used to tilt secondary mirrors of an orbital heplescope when examining sources of infrared radiation. The aim of the invention is to expand the scanning range and increase accuracy.

На фиг.1 изображено сканирующее устройство; на фиг.2 - сечение Г-Г на фиг.З; на фиг.З - сечение А-А на фиг.1, на фиг.4 - сечение на .фиг. 3, первое промежуточное положение} на фиг.5 - то же, второе про- межуточное положениеJ на фиг,6 - сечение В-В на фиг.З, первое промежуточное положение , на. фиг.7 - то же, . в торое промежуточное положение , на фиг. 8 - сечение И-И на фиг. 2, на фиг.9 - сечение К--К на фиг.2, на фиг. 10 - сечение Д-Д на фиг. 3, на фиг. 11 -сечение Л-Л на фиг.З.Figure 1 shows a scanning device; figure 2 - section GG on fig.Z; on fig.Z - section aa in figure 1, figure 4 - section on. 3, the first intermediate position} in FIG. 5 is the same, the second intermediate position in FIG. 6, the section B-B in FIG. 3, the first intermediate position, on. 7 - the same,. in a second intermediate position, in FIG. 8 is a section through the AND-FIG. 2, FIG. 9 is a section K — K in FIG. 2, FIG. 10 - section DD in FIG. 3, in FIG. 11 is a cross section of LL in FIG.

Сканирующее устройство (фиг.1) содержит отражающую поверхность 1, изготовленную на подложке 2, установленную на подвижных опорах 3 и 4, определ ющих ось качани  0-0, Подвижна  опора 3 и 4 состоит из оси 5 с иглой 6,. взаимодействующей с дав- фой 7, закрепленной в подложке 2. Игла 6 и цапфа 7 выполнены из драгоцен ного материала с высокой прочностью на истирание. Ось 5 установлена в оновании 8 с возможностью перемещени относительно своей оси и закреплена гайками 9. Устройство содержит два магнитоэлектрических движител  10 и 11, установленных в плоскости , перпендикул рной подвижной опоре (оси 0-0) и равноудаленных от вертикальной оси отражающей поверхности 1. Каждый движитель состоит из магнитопроводов 12 с посто нными магнитами 13, закрепленных на основании 8 (фиг.2), и катушек с обмотками 14, установленных, на подложке 2. Обмотки 14 вход т в рабочие зазоры 15 магнитопроводов 12. В основании 8 выполнены пазы 16, совпадаюшие с рабочими зазорами 15. Обмотка 14 снабжена выступом 17 и возможностью прохода в пазу 16 (фиг.3-5).The scanning device (Fig. 1) contains a reflecting surface 1, made on the substrate 2, mounted on movable supports 3 and 4, defining a swing axis 0-0. The movable support 3 and 4 consists of an axis 5 with a needle 6 ,. interacting with pressure 7, fixed in substrate 2. Needle 6 and trunnion 7 are made of precious material with high abrasion resistance. Axis 5 is installed in the mold 8 with the possibility of movement relative to its axis and secured with nuts 9. The device contains two magnetoelectric propellers 10 and 11 installed in a plane perpendicular to the movable support (axis 0-0) and equidistant from the vertical axis of the reflecting surface 1. Each The propeller consists of magnetic cores 12 with permanent magnets 13 fixed on base 8 (Fig. 2) and coils with windings 14 mounted on substrate 2. The windings 14 enter the working gaps 15 of magnetic cores 12. At the base 8 there are slots 16, coinciding with the working clearances 15. The winding 14 is provided with a protrusion 17 and the possibility of passage in the groove 16 (FIG. 3-5).

Основание В имеет выступ 18, в котором выполнены отверсти  19, а в неподвижной опоре 20 - канавка 21. Шарики 22 установлены одновременно в отверсти х 19, канавке 21 и заперты втулкой 23 (фиг. 3, 11) так, что основание 8 имеет возможность свободного вращени  относительно оси, совпадающей с центральной осью отражающей поверхности 1.The base B has a protrusion 18 in which the holes 19 are made, and in the fixed support 20 a groove 21. The balls 22 are installed simultaneously in the holes 19, the groove 21 and are locked with a sleeve 23 (Fig. 3, 11) so that the base 8 has the ability free rotation about an axis coinciding with the central axis of the reflecting surface 1.

На основании 8 в нижней части магнитопроводов 12 закреплены узлы 24 и 25 перемещени , каждый из которых содержит шток 26 с канавкой 27 (фиг.4, 5), пружину 28, упруга  сила которой пропорциональна силе, развиваемой манитоэлектрическим движителем и регулируетс  прокладками 29, Выступ 17 обмотки 14 контактирует с канавкой 27 штока 26, который установлен без возможности вращени  вокруг своей оси и имеет возможность вертикального перемещени  (фиг, 3). Шток 26 имеет скшенную поверхность 30, Поверхности 3Based on 8, in the lower part of the magnetic cores 12, displacement nodes 24 and 25 are fixed, each of which contains a rod 26 with a groove 27 (FIG. 4, 5), a spring 28 whose elastic force is proportional to the force developed by the manitoelectric propulsor and is regulated by spacers 29, the protrusion 17, the winding 14 is in contact with the groove 27 of the rod 26, which is installed without the possibility of rotation around its axis and has the possibility of vertical movement (Fig. 3). The rod 26 has a woven surface 30, Surface 3

5five

узлов 24 и 25 перемещени  расположен зеркально относительно друг друга.displacement nodes 24 and 25 are mirrored relative to each other.

На основании 8 закреплены изолированно узлы фиксации (фиг. 2, 8, 9) каждый из которых содержит стакан 31 в котором установлен шарик 32 с возможностью вертикального перемещени , пружина 33, упруга  сила которой регулируетс  прокладками 34. Регулировка узлов фиксации по высоте осуществл етс  прокладками 35.On the base 8, the fixing units are fixed in isolation (Figs. 2, 8, 9) each of which contains a cup 31 in which the ball 32 is installed with the possibility of vertical movement, a spring 33, the elastic force of which is regulated by gaskets 34. Adjustment of the fixing units in height is carried out by gaskets 35

В опоре 2.0 установлена плата 36 положени  плоскости сканировани  с проводниками и контактами 37, совпадающими о фиксирующими отверсти ми 38 и 39, рассто ние мелщу которыми определ ет шаг изменени  положени  плоскости сканировани  - уголоб (фиг.З 10), В неподвижной опоре 20 выполнены отверсти  40, расположенные с возможностью взаимодействи  со скошенными поверхност ми 30 штока узлов 24 иIn support 2.0, a scanning plane position 36 is installed with conductors and contacts 37 coinciding with locking holes 38 and 39, the distance to which determines the step of changing the position of the scanning plane - angular (Fig. 3). Holes are made in the fixed support 20 40 arranged to interact with the beveled surfaces 30 of the rod of the nodes 24 and

25перемещени , и фиксирующие отверсти  38 и 39, расположенные с возможностью взаимодействи  с шариками 32 узлов фиксации (фиг,1, 8 - 10). Узел 24 перемещени  установлен так, что скошенна  поверхность 30 штока 26 может взаимодействовать с гранью отверсти  40, а поверхность 30 штока25, and fixing holes 38 and 39, which are arranged to interact with the balls of the 32 fixation nodes (Figs. 1, 8-10). The movement unit 24 is mounted so that the beveled surface 30 of the rod 26 can interact with the face of the hole 40, and the surface 30 of the rod

26узла 25 перемещени  сдвинута на шаг - угол оС - относительно грани отверсти  40. Один узел установлен так, что шарик 32 контактирует с отверсти ми 38 и контактами 37 (фиг. 8), а шарик 32 второго узла фиксации располагаетс  ме зду отверсти ми 39 (фиг.9)26, the displacement unit 25 is shifted by a pitch — ° C — relative to the face of the opening 40. One node is installed so that the ball 32 contacts with the holes 38 and the contacts 37 (Fig. 8), and the ball 32 of the second fixation unit is located between the holes 39 ( 9)

Предлагаема  конструкци  позвол ет получить необходимый шаг изменени  положени  плоскости сканировани  - угол об - за счет добавлени  узлов фиксации и р дов фиксирующих отверс- тий. Катушки могут быть выполнены с двум  обмотками 14 дл  дублировани  либо дл  упрощени  программы управлени  устройством - одна обмотка работает на сканирование, друга  - на изменение положени  плоскости сканировани .The proposed design allows one to obtain the necessary step of changing the position of the scanning plane — an angle of rotation — by adding fixing units and rows of fixing holes. The coils can be made with two windings 14 for duplication or to simplify the device control program — one winding works for scanning, the other for changing the position of the scanning plane.

Устройство работает следующим образом .The device works as follows.

Отражающа  поверхность 1 устанавливаетс  в нулевое положение, и телескоп направл етс  на исследуемый объект . На катушки с обмотками 14 дви- ;жителей 10 и 11 подаетс  управл ющий ток. Они, взаимодейству  с магнито -.The reflecting surface 1 is set to the zero position, and the telescope is directed to the object under study. A coil current is applied to the coils with the windings 14 of the motors 10 and 11. They interact with magnetically.

104646;104646;

проводами 12, вт гиваютс  в рабочие зазоры 15 и отклон ют отражающую поверхность 1 относительно оси. 0-0, ко- тора  гарантированно зафиксирована иглами 6, что сводит биение оси и трение к нулю. Рассто ние h (фиг.13) от оси качани  0-0 до поверхности 1 выполнено минимальным, что дополни- Q тельно повышает точность качани . При приближении поверхности 1 к крайнему положению на угол СР упруга  сила пружины 28 противодействует дальнейшему наклонению поверхности 1. Допол- 15 нительно к упругой силе пружины 28 четкость крайних положений достигаетс  за счет точного по времени мгновенного переключени  подачи управл ющего тока с катушки 14 движител  10 20 на катушку 14 движител  11, что позвол ет исключить вибрации поверхности 1 . Угол tf и скорость отклонени  поверхности 1 управл етс  величиной тока и временем его действи . При 25 сканировании в пределах угла Cf шток 26 узлов 24 и 25 перемещени  незначительно колеблетс  в вертикальном направлении, не взаимодейству  с гран ми отверстий 40, а узел фиксации 30 (фиг. 8) надежно фиксирует основание 8 относительно неподвижной опоры 20, обеспечива  точность положени  плоскости сканировани , например плоскость Х-Х (фиг. 10). Шарик 32 узла 2 фиксации контактирует с контактами 37 платы 36 и замыкает цепь, определ ющую положение плоскости сканировани  . Дл  изменени  положени  плоскости сканировани , например, на плос- 40 кость Y-Y на угол об (фиг.10), на катушку с обмоткой 14 движител  10 подаетс  импульсный ток, котора , взаимодейству  с магнитопроводами 12, значительно вт гиваетс  в рабочие за- 5 зоры 15 и пазы 16, деформиру  пружину 28 (фиг. 4). Выступ 17 конта}сти- рует с канавкой 27 и толкает шток 26 вертикально вниз. Скошенна  поверхность 30 узла 24, взаимодейству  с 0 гранью отверсти  40, поворачивает основание 8 относительно опоры 20 вокруг оси, совпадающей с центральной осью поверхности 1. Шарик 32 узла фиксации -выходит из контакта с отвер- 5 стием 38, контактом 37 и устанавливаетс  между отверсти ми 38, шарик 32 второго узла фиксации заскакивает в отверсти  39 и замыкает цепь с контактом 37, определ   новое положениеwires 12, are drawn into the working gaps 15 and deflect the reflecting surface 1 relative to the axis. 0-0, which is guaranteed to be fixed with needles 6, which reduces the axis beating and friction to zero. The distance h (Fig. 13) from the swing axis 0-0 to the surface 1 is minimal, which additionally increases the swing accuracy. When surface 1 approaches the extreme position at the angle CP, the elastic force of the spring 28 counteracts the further inclination of the surface 1. In addition to the elastic force of the spring 28, the sharpness of the extreme positions is achieved due to the precise timing of the instantaneous switching of the control current supply from the coil 14 of the driver 10 20 on the coil 14 of the driver 11, which eliminates the vibrations of the surface 1. The angle tf and the rate of deflection of the surface 1 is controlled by the magnitude of the current and the time of its action. When 25 is scanned within the angle Cf, the rod 26 of the displacement nodes 24 and 25 oscillates slightly in the vertical direction, does not interact with the edges of the holes 40, and the fixing unit 30 (Fig. 8) reliably fixes the base 8 relative to the fixed support 20, ensuring the accuracy of the position of the plane scanning, for example the plane X-X (Fig. 10). The ball 32 of the fixing unit 2 contacts with the contacts 37 of the board 36 and closes the circuit defining the position of the scanning plane. To change the position of the scanning plane, for example, to the YY plane at an angle of about (figure 10), a pulsed current is supplied to the coil with the winding 14 of the driver 10, which, interacting with the magnetic cores 12, is significantly drawn into the working gaps. 15 and the grooves 16, deforming the spring 28 (Fig. 4). The protrusion 17 of the flange} runs with the groove 27 and pushes the rod 26 vertically downwards. The beveled surface 30 of the node 24, interacting with the 0 face of the hole 40, rotates the base 8 relative to the support 20 around an axis coinciding with the central axis of the surface 1. The ball 32 of the fixing unit is out of contact with the hole 38, contact 37 and is placed between the hole 38, the ball 32 of the second fixation unit drops into the holes 39 and closes the circuit with pin 37, determining the new position

плоскости сканировани , плоскость Y-Y, а поверхность 30 узла 25 перемещаетс  на угол (xi и обеспечиваетс  возможностью ее взаимодействи  с гранью i отверсти  40 (различие на фиг,4 и фиг.6). После окончани  действи  импульсного тока пружина 28 возвращает шток 26 в исходное положение (фиг,5).. Дальнейшее изменение положени  плос- |Q кости сканировани  осуществл етс  подачей импульсного тока на катушку 14 движител  11, поверхность 30 узла 25 аналогично поворачивает основание в том же направлении еще на угол оЛ (фиг.. 7).the scanning plane, the YY plane, and the surface 30 of the node 25 is moved by an angle (xi and is provided with the possibility of its interaction with the face i of the hole 40 (the difference in FIG. 4 and Fig.6). After the end of the pulse current, the spring 28 returns the rod 26 to the original position (FIG. 5). Further change in the position of the | Q bone of the scanning bone is performed by applying a pulse current to the coil 14 of the mover 11, the surface 30 of the node 25 similarly rotates the base in the same direction by another angle (FIG. 7).

Таким образом, попеременно подава  импульс на катушки 14 движителей 10 и 11, можно измен ть положение штос- 2Q кости сканировани  в пределах 360 , Контакт выступа 17 с канавкой 27 обеспечивает стабильность рабочих зазоров 15, исключает заклинивание штоков 26, а следовательно, четкую работоспособ- 25 ность движителей 10 и 11,Thus, alternately applying a pulse to the coils 14 of the propellers 10 and 11, you can change the position of the shtoch bone scan 2Q within 360, the contact of the protrusion 17 with the groove 27 ensures the stability of the working gaps 15, eliminates jamming of the rods 26, and therefore 25 ness of movers 10 and 11,

Claims (2)

1. Сканирующее устройство, содер- зО жащее подложку с отражающей поверхностью , установленную на подвижной опоре с возможностью качани  относительно оси, неподвижную опору, магнитоэлектрические движители, установ- ленные в плоскости, перпендикул рной оси качани  и выполненные из магнито/LJ 2 / -И1. Scanning device containing a substrate with a reflective surface mounted on a movable support with the possibility of swinging about an axis, a fixed support, magnetoelectric propellers mounted in a plane perpendicular to the axis of the swing and made of magneto / LJ 2 / -I проводов с посто нными магнитами и катушек с обмотками, вход щих в зазоры магнитопроводов, отличаю- щ е е с   тем, что, с целью расширени  диапазона сканировани  и повышени  точности, оно дополнительно/ снабжено основанием с пазами, при этом основание и магнитопроводы установлены так, что зазоры магнитопроводов совпадают с пазами основани ,при этом основание установлено с возможностью вращени  в плоскости, параллельной отражающей поверхности, и на нем закреплена подвижна  опора, магнитопроводы , дополнительно введенные узлы перемещени  и фиксации,взаимодействующие с неподвижной опорой и контактами также введенной штаты положени  плоскости сканировани , а обмотки выполнены с выступами, взаимодействующими с узлами перемещени .wires with permanent magnets and coils with windings included in the gaps of the magnetic cores, differing from the fact that, in order to expand the scanning range and improve accuracy, it is additionally / provided with a base with grooves, while the base and magnetic cores are installed so that the gaps of the magnetic cores coincide with the grooves of the base, while the base is installed with the possibility of rotation in a plane parallel to the reflecting surface, and a movable support is fixed on it, the magnetic cores, additionally inserted nodes are moved and the fixings interacting with the fixed support and the contacts of the already inserted states of the scanning plane position, and the windings are made with protrusions interacting with the displacement nodes. II 2. Устройство по П.1, о т л и ч аю щ е е с   тем, что узел перемещени  выполнен в виде подпружиненного штока с канавкой, в которой размещен выступы обмотки, один конец штока выполнен со скошенной поверхностью,вза имодействующей с неподвижной опорой размещенной в ее отверстии, а узел фиксации выполнен в виде стакана, в котором установлен подпружиненный шарик, взаимодействующий с неподвижной опорой через отверсти  и контактми платы.2. The device according to claim 1, so that the displacement assembly is made in the form of a spring-loaded rod with a groove in which the protrusions of the winding are placed, one end of the rod is made with a beveled surface that interacts with a fixed support placed in its hole, and the fixing unit is made in the form of a glass in which a spring-loaded ball is installed, which interacts with a fixed support through the holes and contacts of the board. Ф(2. /F (2. / S-ffS-ff Фаг.Phage. 1one Фиг. ZFIG. Z 6-56-5 2626 Фиг . 8FIG. eight Фие.9Fie.9 4c 3838 3939 2121 Составитель Н.Гончаренко Редактор О.Спесивых Техред М.ХоданичCompiled by N.Goncharenko Editor O.Spesyvykh Tehred M.Hodanich Заказ 3738Order 3738 Тираж 455Circulation 455 ВНИИПИ Государственного комитета по изобретени м и открыти м при ГКНТ СССР 113035, Москва, 1-35, Раушска  наб., д. 4/5VNIIPI State Committee for Inventions and Discoveries at the State Committee on Science and Technology of the USSR 4/5, Raushsk nab., Moscow, 1-35, 113035 Производственно-издательский комбинат Патент, г. Ужгород, ул, Гагарина, 101Production and Publishing Combine Patent, Uzhgorod, Gagarin Street, 101 2020 Фиг. 10FIG. ten Фиг. 11FIG. eleven Корректор М.Самборска Proofreader M.Samborsk ПодписноеSubscription
SU874273895A 1987-06-18 1987-06-18 Scanning device SU1610464A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874273895A SU1610464A1 (en) 1987-06-18 1987-06-18 Scanning device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874273895A SU1610464A1 (en) 1987-06-18 1987-06-18 Scanning device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1610464A1 true SU1610464A1 (en) 1990-11-30

Family

ID=21315421

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU874273895A SU1610464A1 (en) 1987-06-18 1987-06-18 Scanning device

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1610464A1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003102665A1 (en) * 2002-05-30 2003-12-11 Clvr Pty Ltd Solid state uv laser
AU2003229118B2 (en) * 2002-05-30 2009-04-09 Cv Laser Pty Ltd Solid state UV laser

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Патент US № 4157861, кл. G 05 D 25/00, 1979. *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003102665A1 (en) * 2002-05-30 2003-12-11 Clvr Pty Ltd Solid state uv laser
AU2003229118B2 (en) * 2002-05-30 2009-04-09 Cv Laser Pty Ltd Solid state UV laser

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4896935A (en) Fiber optic switch
US4834488A (en) Fiberoptic switch
JP2954557B2 (en) Micro positioner system
US5166944A (en) Laser beam scanning apparatus and method
US5408355A (en) Micromechanical transducer
CA1183708A (en) Optical scanning apparatus incorporating counter- rotation of elements about a common axis by a common driving source
US6008925A (en) Light beam scanning apparatus and method
JP2000314842A (en) Optical subminiature machine and method for controlling light beam
US5907433A (en) Compact variable field of view optical system
SU1610464A1 (en) Scanning device
US5343546A (en) Microbench
US4893891A (en) Optical switching device including pivot bearing mechanism
US20060214534A1 (en) Versatile digitally controlled micro-mechanical actuator
US3917385A (en) Simplified micropositioner
US20020181846A1 (en) Optical switch using support structures with both fixed mirrors and pivotable mirrors
KR100416758B1 (en) Micromirror actuator
US6269201B1 (en) Multi-channel fiber optical switch
JPH0981947A (en) Objective lens driving device of optical disk device and objective lens
KR940005755B1 (en) Optical axis control apparatus of laser resonant
US6687430B2 (en) Arrangement for multiple 1xn optical switches
SU1198442A1 (en) Precision xy-deflection yoke
SU1553942A1 (en) Scanning device
US20020001429A1 (en) Optical switch
JP2508239B2 (en) Conical scanning antenna
KR100762210B1 (en) Optical scanning device comprising a lens system with adjustable inclination