SU1601512A1 - Method of checking quality of optical system - Google Patents

Method of checking quality of optical system Download PDF

Info

Publication number
SU1601512A1
SU1601512A1 SU792841858A SU2841858A SU1601512A1 SU 1601512 A1 SU1601512 A1 SU 1601512A1 SU 792841858 A SU792841858 A SU 792841858A SU 2841858 A SU2841858 A SU 2841858A SU 1601512 A1 SU1601512 A1 SU 1601512A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
signal
frequency
amplitude
spatially periodic
periodic signal
Prior art date
Application number
SU792841858A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Эдуард Викторович Бабак
Вадим Александрович Махотько
Александр Сергеевич Беляев
Original Assignee
Ленинградский Институт Точной Механики И Оптики
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ленинградский Институт Точной Механики И Оптики filed Critical Ленинградский Институт Точной Механики И Оптики
Priority to SU792841858A priority Critical patent/SU1601512A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1601512A1 publication Critical patent/SU1601512A1/en

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

Способ контрол  качества оптических систем, заключающийс  в том, что формируют пространственно периодический сигнал нулевой частоты, пропускают его через систему, регистрируют амплитуду сигнала, мен ют его частоту до максимальной, регистрируют спектр амплитуд сигналов и определ ют качество системы, отличающийс  тем, что, с целью контрол  также и дисперсных систем, в спектре амплитуд сигналов фиксируют частоту, с которой амплитуда сигнала остаетс  посто нной, и по величине отношени  амплитуд сигналов нулевой и фиксированной частот суд т о параметрах системы.The method of quality control of optical systems, which consists in forming a spatially periodic signal of zero frequency, passing it through the system, recording the amplitude of the signal, changing its frequency to the maximum, recording the spectrum of the amplitudes of the signals, and determining the quality of the system the purpose of control is also dispersed systems, the frequency of the signal amplitude remains constant in the amplitude spectrum of the signals and the value of the zero and fixed frequencies is measured by the value of the signal amplitude ratio ie the system parameters.

Description

Изобретение относитс  к контрольно-измерительной технике и может быть использовано, в частности, дл  контрол  дисперсных систем, например, определени  размеров частиц, их концентрации и др.The invention relates to measuring technique and can be used, in particular, to control dispersed systems, for example, determining particle size, their concentration, etc.

Известен способ измерени  параметров дисперсной системы, заключающийс  в воздействии на нее пучком когерентного электромагнитного излучени , регистрации путем сканировани  мгновенного распределени  интенсивности в направлении сканировани  и обработке результатов измерен| й, заключающейс  в исследовании спектра пространственных флуктуации интенсивности р .A known method for measuring the parameters of a dispersed system, which involves exposing it to a beam of coherent electromagnetic radiation, recording by scanning the instantaneous intensity distribution in the scanning direction, and processing the results of measured | d, consisting in the study of the spectrum of spatial intensity fluctuations p.

Недостатком данного способа  вл етс  то, что оно имеет недостаточную :The disadvantage of this method is that it has insufficient:

точность определени  размеров частиц, измер емый диапазон которых в пределах 1 200 - 300 мкм, и низкую точность определени  концентрации частиц в дисперсной системе.the accuracy of determining particle sizes, the measured range of which is within the range of 1,200-300 microns, and the low accuracy of determining the concentration of particles in a dispersed system.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту к изобретению  вл етс  способ контрол  качества оптических систем, заключающийс  в том, что формируют пространственно периодический сигнал нулевой частоты, пропускают его через систему, регистрируют амплитуду сигнала , мен ют его частоту до максимальной , регистрируют спектр амплитуд сигналов и определ ют качество системы 2.The closest in technical essence and effect achieved to the invention is the method of quality control of optical systems, which consists in forming a spatially periodic signal of zero frequency, passing it through the system, registering the amplitude of the signal, changing its frequency to the maximum, registering the spectrum of amplitudes of the signals and determine the quality of the system 2.

Данный способ не позвол ет контролировать дисперсные системы.This method does not allow control of dispersed systems.

О5O5

о сдabout sd

ГчЭHche

Цель изобретени  - контроль также и- дисперсных систем.The purpose of the invention is to control also dispersed systems.

Дл  достижени  указанной цели в спектре амплитуд сигналов фиксируют чЦстоту, с которой амплитуда сигнала остаетс  посто нной, и по величине о|гношени  амплитуд сигналов нулевой и; фиксированной частот суд т о параметрах системы,To achieve this goal, the frequency amplitude of the signal amplitude remains constant in the amplitude spectrum of the signals and the magnitude of the ratio of the signal amplitudes is zero and; fixed frequencies are judged on the system parameters,

; На фиг. 1 приведена блок-схема устройства, реализующего способ} на Ф.ИГ. 2 - графики функций, характеризующих амплитуду пространственно периодического сигнала.; FIG. 1 shows a block diagram of a device implementing the method} in FIG. 2 - graphs of functions characterizing the amplitude of a spatially periodic signal.

I Способ осуществл ют с помощью устройства, состо щего из источника 1 электромагнитного излучени , которое поступает на формирователь 2 пространственно периодического сигнала с нулевой пространственной час- , т|этой, функционально св занного с IбЬоком 3 изменени  пространственной частоты и блоком ( перемещени  си1- нЬла, с формирователем 2 св зан пе- р|эдающий сформированное излучение блок 5. Передающий блок 5 направл ет излучение на исследуемую дисперсную систему 6, за которой находитс  регистрирующий блок 7 выход которого св зан с блоком 8 обработки информации , в котором сигнал усиливаетс  и : детектируетс .I The method is carried out using a device consisting of an electromagnetic radiation source 1, which is fed to the shaper 2 of a spatially periodic signal with a zero spatial frequency, m | this, functionally connected with Iboc 3, changes in the spatial frequency and the unit (movement , with shaper 2 is connected by a pen | emitting generated radiation unit 5. Transmitting block 5 directs the radiation to the dispersed system 6 under investigation, behind which there is a recording block 7 whose output is connected with the block 8, in which the signal is amplified and: detected.

; Способ осуществл ют следующим образом,; The method is carried out as follows.

; От источника 1 пучок электромагнитного излучени  поступает на формирователь 2 пространственно периодического сигнала, где формируетс  сигнал с нулевой пространственной частотой. Пропускают сигнал через передающий блок 5 и систему 6 и фиксируют в плоскости регистрирующе™ го блока 7 значение амплитуды сигнала с нулевой пространственной частотой , т.ео при периоде сигнала,равном бесконечности, после чего мен ют пространственную частоту с помощь блока 3 до определени  максимальной величины, котора  выбираетс  в зависимости от того диапазона размеров частиц, который присутствует в испытуемой дисперсной системе.; From the source 1, a beam of electromagnetic radiation arrives at the shaper 2 of a spatially periodic signal, where a signal with zero spatial frequency is formed. The signal is passed through the transmitting unit 5 and system 6 and the value of the amplitude of the signal with zero spatial frequency, i.e., with a signal period equal to infinity, is fixed in the plane of the registering unit 7, then the spatial frequency is changed using block 3 to determine the maximum value which is selected depending on the particle size range that is present in the dispersed system under test.

После прохождени  пространственно периодического сигнала с измен юи1ей с  пространственной .частотой через исследуемую дисперсную систему б регистрируют блоком 7 значени  амплиту сигнала при различных пространственAfter the passage of a spatially periodic signal with a change of frequency with a spatial frequency through the dispersion system under study b is recorded by block 7, the amplitude of the signal at different spatial

00

5five

00

5five

00

5five

00

5five

00

5five

ных частотах путем сканировани , которое осуществл ют перемещением пространственно периодического сигнала перпендикул рно направлению распространени  электромагнитного излучени . Данное сканирование необходимо дл  того, чтобы осуществить преобразование пространственно периодического сигнала в электрический сигнал путем модул ции приемного элемента (на фиг. 1 отсутствует) блока 7.frequencies by scanning, which is carried out by moving a spatially periodic signal perpendicular to the direction of propagation of electromagnetic radiation. This scan is necessary in order to convert the spatially periodic signal into an electrical signal by modulating the receiving element (there is no block in Fig. 1) of block 7.

После регистрации пространственно периодический сигнал, преобразованный в электрический, обрабатываетс  в блоке 8 путем усилени  и детектировани , а затем воспроизводитс  в виде спектра амплитуд пространственно периодического сигнала, наход щегос  в функциональной зависимости от пpoctpaнcтвeннoй частоты сигнала.After registration, a spatially periodic signal converted into an electrical signal is processed in block 8 by amplification and detection, and then reproduced as an amplitude spectrum of a spatially periodic signal that is functionally dependent on the frequency of the signal.

Информацию о дисперсной системе получают путем анализа характера изменени  спектра амплитуд пространственно периодического сигнала, как функции пространственной частоты, в частности, по отношению амплитуд сигналов нулевой и фиксированной частот, или путем анализа характера изменени  пространственного распределени  . интенсивности в плоскости приемного элемента блока 7 исход  из зависимостиInformation about the dispersed system is obtained by analyzing the nature of the change in the amplitude spectrum of a spatially periodic signal as a function of the spatial frequency, in particular, in relation to the amplitudes of the zero and fixed frequency signals, or by analyzing the nature of the change in the spatial distribution. intensity in the plane of the receiving element of block 7 based on

i(x )coH(),i (x) coH (),

где X - координата в плоскости приемного элемента;where X is the coordinate in the plane of the receiving element;

- функци , характеризующа  - a function that characterizes

форму пространственно периодического сигнала в плоскос- . ти приемного элемента; H(v) - функци , характеризующа  амплитуду пространственно периодического сигнала,т,е„ представл юща  собой спектр амплитуд сигнала cosOx в плоскости приемного элемента , в зависимости от пространственной частоты. Данна  функци  представл ет собойthe form of a spatially periodic signal in the plane. ti receiving element; H (v) is the function characterizing the amplitude of the spatially periodic signal, t, e, is the spectrum of the amplitudes of the cosOx signal in the plane of the receiving element, depending on the spatial frequency. This function is

пространственный спектр индикатриссыspatial spectrum indicatrix

рассе ни  исследуемой дисперснойdispersion of the investigated dispersion

системы.system.

Дл  монодисперсной системы функци For a monodisperse system, the function

Н{) равнаH {) is equal to

HQ) ехр -2 J dva ZHQ) exp -2 J dva Z

V П , V P,

::(агссоз -- - - х: :( agssos - - - x

1 ()212

4a

где dv - объемна  концентраци  частиц в дисперсной системе, част/мкм j а - радиус частицы; Z - толщина сло  дисперсной сис . темы;where dv is the volume concentration of particles in the dispersed system, part / µm j a is the radius of the particle; Z is the thickness of the dispersed system layer. Topics;

7 - длина волны излучени . Из выражени  (1) следует, что7 - radiation wavelength. From the expression (1) it follows that

limH() expC-tdva Z) (2) - оlimH () expC-tdva Z) (2) - o

limH() exp(-2il dva Z), (3)limH () exp (-2il dva Z), (3)

где выражение (2) характеризует значение функции Н(у) при нулевой пространственной частоте.where expression (2) characterizes the value of the function H (y) at zero spatial frequency.

Выражение (3) характеризует значение функции НО) при фиксированной пространственной частотеExpression (3) characterizes the value of the function BUT) at a fixed spatial frequency

.  .

77

1601512616015126

Сначала определ ют радиус а из графика записанной функции HQ) на основании выражени  (3), из которогоFirst, the radius a is determined from the plot of the recorded function HQ) based on the expression (3) from which

5 следует, что при функци 5 it follows that with the function

-1() не измен етс , т.е.  вл етс  посто нной и выходит на пр молинейный-1 () does not change, i.e. is constant and goes to the linear

участок в том момент, когда ) - .plot at the moment when) -.

10 Л10 L

следовательно, по графику записанной функции Н() определ ют частоту на которой И{) становитс  посто нной , т.е. параллельной оси х, тогдаTherefore, according to the graph of the recorded function H (), the frequency at which AND {) becomes constant, i.e. parallel to the x-axis, then

а but

А BUT

WW

2020

Затем определ ют концентрацию частиц путем делени  выражени  (2) на выражение (3) с последующей подстановкой в получаемое выражение значений Z, - и значений радиуса а частицыThen, the concentration of particles is determined by dividing expression (2) by expression (3) followed by substituting into the resulting expression the values of Z, and the values of the radius and the particle

2525

dv 1п(dv 1p (

Н(0)H (0)

а but

А BUT

WW

Затем определ ют концентрацию частиц путем делени  выражени  (2) на выражение (3) с последующей подстановкой в получаемое выражение значений Z, - и значений радиуса а частицыThen, the concentration of particles is determined by dividing expression (2) by expression (3) followed by substituting into the resulting expression the values of Z, and the values of the radius and the particle

2525

dv 1п(dv 1p (

Н(0)H (0)

30 Таким образом, введение операции30 Thus, the introduction of the operation

Поскольку величины Z и известны, фиксации частоты, с которой амплитуда сигнала остаетс  посто нной, в совокупности с известной последовательностью операций позвол ет использовать способ дл  контрол  дисперса функци  НО) записываетс  на воспроизвод щем блоке (не показан), то концентрацию dv и размер частиц с радиусом а определ ют следующим образом:Since the values of Z and known, fixing the frequency with which the signal amplitude remains constant, together with the known sequence of operations allows the method for controlling the dispersion to use the function BUT) is recorded on a reproducing unit (not shown), the concentration dv and particle size radius a is determined as follows:

3535

ных систем.systems.

фиксации час да сигнала о совокупности тельностью о зовать спос fixing the hour and the signal of the aggregate by the order

3535

ных систем.systems.

I отн. еЭI rel. ee

2.2

бb

77

гоgo

iSiS

эоeo

Claims (1)

СПОСОБ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ОПТИЧЕСКИХ СИСТЕМ, заключающийся в том-, что формируют пространственно периодический сигнал нулевой частоты, пропускают его через систему, регистрируют амплитуду сигнала, меняют его частоту до максимальной, регистрируют спектр амплитуд сигналов и определяют качество системы, отличающийся тем, что, с целью контроля также и дисперсных систем, в спектре амплитуд сигналов фиксируют частоту, с которой амплитуда сигнала остается постоянной, и по величине отношения амплитуд сигналов нулевой и фиксированной частот судят о параметрах системы.A METHOD FOR MONITORING THE QUALITY OF OPTICAL SYSTEMS, which consists in forming a spatially periodic signal of zero frequency, passing it through the system, recording the amplitude of the signal, changing its frequency to the maximum, recording the spectrum of amplitudes of the signals and determining the quality of the system, characterized in that control also of dispersed systems, the frequency of the signal amplitude remains constant in the amplitude spectrum of the signals, and the magnitude of the ratio of the amplitudes of the signals is zero and fixed frequencies about system parameters. точность определения размеров частиц, измеряемый диапазон которых в пределах 1 200 - 300 мкм, и низкую точность определения концентрации частиц в дисперсной системе.the accuracy of determining particle sizes, the measured range of which is in the range of 1 200 - 300 microns, and the low accuracy of determining the concentration of particles in a dispersed system. Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту к изобретению является способ контроля качества оптических систем, заключающийся в том, что формируют пространственно периодический сигнал нулевой частоты, пропускают его через систему, регистрируют амплитуду си|— нала, меняют его частоту до максимальной, регистрируют спектр амплитуд сигналов и определяют качество системы £23.The closest in technical essence and the achieved effect to the invention is a method of controlling the quality of optical systems, which consists in forming a spatially periodic signal of zero frequency, passing it through the system, recording the amplitude of the si-nal, changing its frequency to the maximum, recording the amplitude spectrum signals and determine the quality of the system £ 23. Данный способ не позволяет контролировать дисперсные системы.This method does not allow to control dispersed systems. 51),,,, 1601512 А151) ,,,, 1601512 A1 3 16015123 1601512 4four Цель изобретения - контроль также и- дисперсных систем.The purpose of the invention is to control also disperse systems. Для достижения указанной цели в спектре амплитуд сигналов фиксируют частоту, с которой амплитуда сигнала остается постоянной, и по величине отношения амплитуд сигналов нулевой и' фиксированной частот судят о параметрах системы.To achieve this goal, the frequency of the signal amplitude remains constant in the amplitude spectrum of the signals, and the magnitude of the ratio of the signal amplitudes of zero and fixed frequencies determines the system parameters. На фиг. 1 приведена блок-схема устройства, реализующего способ} на Фиг. 2 - графики функций, характеризующих амплитуду пространственно периодического сигнала.FIG. 1 shows a block diagram of a device implementing the method} in FIG. 2 - graphs of functions characterizing the amplitude of a spatially periodic signal. Способ осуществляют с помощью устройства, состоящего из источника 1 электромагнитного излучения, которбе поступает на формирователь 2 пространственно периодического сигнала с нулевой пространственной частотой, функционально связанного с блоком 3 изменения пространственной частоты и блоком Ь перемещения сигнала, с формирователем 2 связан передающий сформированное излучение блок 5. Передающий блок 5 направляет излучение на исследуемую дисперсную систему 6, за которой находится регистрирующий блок 7, выход которого сЬязан с блоком 8 обработки информации, в котором сигнал усиливается и ί детектируется.The method is carried out using a device consisting of an electromagnetic radiation source 1, which is supplied to a spatial periodic signal generator 2 with a zero spatial frequency, functionally connected to the spatial frequency change unit 3 and a signal movement unit B, and the generated radiation unit 5 is connected to the generated signal. The transmitting unit 5 directs the radiation to the dispersed system 6 under investigation, behind which there is a recording unit 7, the output of which is connected to the processing unit 8. heel information, wherein the signal is amplified and detected ί. ί Способ осуществляют следующим образом.ί The method is as follows. От источника 1 пучок электромагнитного излучения поступает на формирователь 2 пространственно периодического сигнала, где формируется сигнал с нулевой пространственной частотой. Пропускают сигнал через передающий блок 5 и систему 6 и фиксируют в плоскости регистрирующего блока 7 значение амплитуды сигнала с нулевой пространственной частотой, т.е» при периоде сигнала,равном бесконечности, после чего меняют пространственную частоту с помощью блока 3 до определения максимальной величины, которая выбирается в зависимости от того диапазона размеров частиц, который присутствует в испытуемой дисперсной системе.From the source 1, a beam of electromagnetic radiation arrives at the shaper 2 of a spatially periodic signal, where a signal with a zero spatial frequency is formed. The signal is passed through the transmitting unit 5 and the system 6 and the amplitude of the signal with zero spatial frequency is fixed in the plane of the recording unit 7, i.e., with a signal period equal to infinity, then the spatial frequency is changed using block 3 to determine the maximum value is chosen depending on the range of particle sizes that is present in the dispersed system under test. После прохождения пространственно периодического сигнала с изменяющейся пространственной частотой через исследуемую дисперсную систему 6 регистрируют блоком 7 значения амплитуд сигнала при различных пространствен10After passing a spatially periodic signal with varying spatial frequency through the dispersed system 6 under study, the unit 7 records the values of the signal amplitudes for various spatial 10 1515 2020 2525 30thirty ных частотах путем сканирования, которое осуществляют перемещением пространственно периодического сигнала перпендикулярно направлению распространения электромагнитного излучения. Данное сканирование необходимо для того, чтобы осуществить преобразование пространственно периодического сигнала в электрический сигнал путем модуляции приемного элемента (на фиг. 1 отсутствует) блока 7.frequencies by scanning, which is carried out by moving a spatially periodic signal perpendicular to the direction of propagation of electromagnetic radiation. This scan is necessary in order to carry out the conversion of a spatially periodic signal into an electrical signal by modulating the receiving element (in Fig. 1 is absent) of block 7. После регистрации пространственно периодический сигнал, преобразованный в электрический, обрабатывается в блоке 8 путем усиления и детектирования, а затем воспроизводится в виде спектра амплитуд пространственно периодического сигнала, находящегося в функциональной зависимости от пространственной частоты сигнала.After registration, the spatially periodic signal converted into electrical is processed in block 8 by amplification and detection, and then reproduced as a spectrum of amplitudes of a spatially periodic signal that is functionally dependent on the spatial frequency of the signal. Информацию о дисперсной системе получают путем анализа характера изменения спектра амплитуд пространственно периодического сигнала, как функции пространственной частоты,'в частности, по отношению амплитуд сигналов нулевой и фиксированной частот, или путем анализа характера изменения пространственного распределения интенсивности в плоскости приемного элемента блока 7 исходя из зависимостиInformation about the dispersed system is obtained by analyzing the nature of the change in the amplitude spectrum of a spatially periodic signal as a function of the spatial frequency, in particular, on the ratio of the amplitudes of the zero and fixed frequency signals, or by analyzing the nature of the change in the spatial intensity distribution in the receiving element plane of unit 7 based on the dependence 3535 4040 4545 5050 ΐ(χ! )соН(-))соз}х( ,ΐ (χ ! ) coH (-)) cos} x ( , где х! - координата в плоскости приемного элемента;where is x ! - coordinate in the plane of the receiving element; соз^х 1 - функция, характеризующаяcos ^ x 1 - a function characterizing форму пространственно периодического сигнала в плоскости приемного элемента;the form of a spatially periodic signal in the plane of the receiving element; Н(-О) - функция, характеризующая амплитуду пространственно периодического сигнала,т.е. представляющая собой спектр амплитуд сигнала созОх1 в плоскости приемного элемента, в зависимости от пространственной частоты.H (-O) is a function characterizing the amplitude of a spatially periodic signal, i.e. representing the spectrum of the amplitudes of the signal cosox 1 in the plane of the receiving element, depending on the spatial frequency. Данная функция представляет собой пространственный спектр индикатриссы рассеяния исследуемой дисперсной системы.This function is a spatial spectrum of the scattering indicatrix of the dispersed system under study. Для монодисперсной системы функцияFor monodisperse system function Н(3) равнаH (3) is equal to НО) = ехр *BUT) = exp * 5555 160Г512160G512 Г. 1G. 1 X и - ~ (агссоз ~а - ~X and - ~ (agssosis ~ a - ~ (1)(one) где άν - объемная концентрация частиц в дисперсной системе, чает/мкм*;where άν is the volume concentration of particles in a dispersed system, parts / μm *; а - радиус частицы; Юa is the radius of the particle; YU Ζ - толщина слоя дисперсной системы;Ζ - thickness of the dispersed system; 'Д - длина волны излучения.'D - radiation wavelength. Из выражения (1) следует, чтоFrom the expression (1) it follows that 1515 ИтН(9) = βχρί-ΐΓάνβ2 Ζ) (2)ItN (9) = βχρί-ΐΓάνβ 2 ) (2) »о"about ΙΐιηΗ(ί) = ехр(-2кКга Ζ), (3)ΙΐιηΗ (ί) = exp (-2kKga Ζ), (3) где выражение (2) характеризует значение функции Н0) при нулевой пространственной частоте.where expression (2) characterizes the value of the function H0) at zero spatial frequency. Выражение (3) характеризует значение функции Н(Ч) при фиксированной пространственной частоте Expression (3) characterizes the value of the function H (H) at a fixed spatial frequency } = -^ ·} = - ^ · Сначала определяют радиус а из графика записанной функции Н(^) на основании выражения (3), из которогоFirst, determine the radius a from the graph of the recorded function H (^) based on the expression (3), from which \ 2а\ 2a следует, что при Ч = — функцияit follows that at H = - function И О) не изменяется, т.е. является постоянной и выходит на прямолинейныйAnd O) does not change, i.e. is constant and goes to straight line \ 73\ 73 участок в том момент, когда Ч = — * · Дplot at the moment when H = - * · D следовательно, по графику записанной функции Н0) определяют частоту Ό на которой Ц(}) становится постоянной, т.е. параллельной оси х, тогдаConsequently, according to the graph of the recorded function H0), the frequency Ό is determined at which C (}) becomes constant, i.e. parallel to the x-axis, then аbut (H Затем определяют концентрацию частиц путем деления выражения (2) на выражение (3) с последующей подстановкой в получаемое выражение значений Ζ, и значений радиуса а частицыThen, the concentration of particles is determined by dividing expression (2) by expression (3) followed by substituting the values of Ζ into the resulting expression and the values of the radius a άν = 1п(άν = 1n ( Н(0)H (0) Поскольку величины Ζ и 'ДSince the values of Ζ and 'D
SU792841858A 1979-11-16 1979-11-16 Method of checking quality of optical system SU1601512A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792841858A SU1601512A1 (en) 1979-11-16 1979-11-16 Method of checking quality of optical system

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792841858A SU1601512A1 (en) 1979-11-16 1979-11-16 Method of checking quality of optical system

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1601512A1 true SU1601512A1 (en) 1990-10-23

Family

ID=20860137

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU792841858A SU1601512A1 (en) 1979-11-16 1979-11-16 Method of checking quality of optical system

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1601512A1 (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4577503A (en) Method and device for detecting a specific acoustic spectral feature
US5026991A (en) Gaseous species absorption monitor
US3835315A (en) System for determining parameters of a particle by radiant energy scattering techniques
US4297874A (en) Apparatus for measuring a percentage of moisture and weighing of a sheet-like object
ATE85432T1 (en) BROADBAND OPTICAL DETECTION OF THE TRANSIENT MOTION OF A SCATTERING SURFACE.
EP0165711A2 (en) Method and apparatus for detecting thermal waves
JPH087134B2 (en) Device for investigating particle paths
KR920700388A (en) Single beam AC interferometer
JPH0129576Y2 (en)
US4011459A (en) Method and apparatus for determining valid sample volume
US5012118A (en) Apparatus and method for particle analysis
JPH08178870A (en) Spectroscopic method and device for measuring minute absorbing amount or reflecting amount of material sample
SU1601512A1 (en) Method of checking quality of optical system
US5380490A (en) Apparatus for measuring a test specimen
JPS63228048A (en) Basic weight sensor and method of characterizing composition of sheet-shaped substance
JP2636051B2 (en) Particle measurement method and device
US4685804A (en) Method and apparatus for the measurement of the location or movement of a body
JPH05288752A (en) Subject measuring apparatus
SU1019237A1 (en) Surface roughness checking device
JP2691267B2 (en) Sample measurement device
SU817484A1 (en) Apparatus for indicating interface and properties of controlled medium
McDevitt et al. A two‐channel laser Doppler vibrometer technique for characterizing the dynamic properties of elastomeric materials
SU1038868A1 (en) Loose material humidity capacitive primary converter ta-potential
RU1804608C (en) Method of determining speed and dimensions of particles in moving medium
SU896577A1 (en) Method of electromagnetic testing of elastomeric materials