SU1597627A1

SU1597627A1 - Pressure transducer

Info

Publication number: SU1597627A1
Application number: SU874303812A
Authority: SU
Inventors: Виталий Александрович Малугин
Original assignee: Институт физики Земли им.О.Ю.Шмидта
Priority date: 1987-06-26
Filing date: 1987-06-26
Publication date: 1990-10-07

Abstract

Изобретение предназначено дл измерени давлени с повышенной точностью за счет уменьшени температурной погрешности. В датчике ни одна из трех пластин корпуса 2 не имеет силового контакта с материалом с другим коэффициентом линейного расширени . Дл этого давление в обе полости преобразовател подаетс через полые кварцевые стойки 4, а пластины корпуса и мембрана 1 также выполнены из кварца. 1 ил.The invention is intended to measure pressure with increased accuracy by reducing temperature error. In the sensor, none of the three plates of the housing 2 has a force contact with a material with a different linear expansion coefficient. For this, pressure in both cavities of the converter is supplied through hollow quartz struts 4, and the housing plates and the membrane 1 are also made of quartz. 1 il.

Description

ЧH

//

гg

II

Y//////////7///лY ////////// 7 /// l

У/7777W / 7777

Изобретение относитс к приборам дл геофизических измерений, а именно к датчикам давлени с емкостным преобразователем.The invention relates to instruments for geophysical measurements, namely, pressure sensors with a capacitive transducer.

Цель изобретени - повышение точности измерений за счет уменьшени температурной погрешности.The purpose of the invention is to improve the measurement accuracy by reducing the temperature error.

На чертеже изображен датчик давлени .The drawing shows a pressure sensor.

Датчик имеет кварцевую мембрану 1, неподвижные кварцевые пластины 2, вышлифованные кольцевые углублени 3, полые кварцевые стойки 4, герметик 5, места 6 креплени кварцевых стоек. The sensor has a quartz membrane 1, fixed quartz plates 2, polished annular recesses 3, hollow quartz struts 4, sealant 5, mounting points 6 for quartz struts.

Емкостной преобразователь вьшол- нен в виде трех пластин, сделанных из кварцевого стекла одной цилиндрической заготовки, что позвол ет избежать существующих небольших вари- аций в коэффициентах линейного расширени различных заготовок. Центральна пластина вл етс мембраной 1 и полностью посеребрена. Крайние пластины 2 неподвижны. В них вьшшифованы углублени и просверлены по два отверсти . Вокруг отверсти каждой пластины вышлифованы кольцевые углублени 3 с тем, чтобы к образовавшимс выступам можно было приварить кварцевые стойки 4. Отверсти , в которые вжигаетс серебро дл электрического вывода, герметизируетс герметиком 5. Полые кварцевые стойки герметично вставл ютс (через проклад - ки из вакуумной резины или посредством клапанного, механизма) в отверсти стенки объекта. Через них передаетс давление в обе полости преобразоваThe capacitive transducer is embodied in the form of three plates made of quartz glass from a single cylindrical blank, thus avoiding the existing small variations in the linear expansion coefficients of the various blanks. The central plate is a membrane 1 and is completely silver plated. Extreme plates 2 are fixed. They are deciphered holes and drilled two holes. The annular recesses 3 are polished around the hole in each plate so that quartz struts 4 can be welded to the protrusions. The holes in which silver is burnt into for electrical output are sealed with a sealant 5. or by means of a valve mechanism in the openings of the wall of the object Through them, pressure is transferred to both cavities of the transform.

5five

0 0

5five

00

5five

тел ; на кварцевых стойках держитс вс конструкци преобразовател .tel; the quartz struts hold the entire transducer design.

Датчик давлени работает следующим образом.The pressure sensor operates as follows.

При подаче давлени в измерительную камеру мембрана 1 прогибаетс , что приводит к изменению емкости. По изменению емкости суд т о давлении .When pressure is applied to the measuring chamber, the membrane 1 bends, which leads to a change in capacitance. To change the capacity judged on the pressure.

Преимущество датчика достигаетс тем, что ни одна из трех пластин корпуса не имеет силового контакта с материалом с другим коэффициентом линейного расширени .The advantage of the sensor is achieved by the fact that none of the three plates of the housing has a force contact with the material with a different linear expansion coefficient.

Claims

Invention Formula

A pressure sensor comprising a housing made of two quartz plates with notches, a quartz membrane with a movable electrode, dividing the case into the measuring and supporting chambers, and stationary electrodes attached to the case opposite the movable electrode, characterized in due to a decrease in temperature error, two hollow quartz stands are inserted into it, the first quartz stand being fastened, with one plate and connected with its cavity to the measuring chamber, and the second stand is located symmetrically on the first, fixed to each plate and communicates with the cavity of its supporting cam, wherein the plate and the membrane vtolneny of quartz with the same thermal expansion coefficient.