SU1585674A1 - Method of checking roughness of surface - Google Patents

Method of checking roughness of surface Download PDF

Info

Publication number
SU1585674A1
SU1585674A1 SU884361568A SU4361568A SU1585674A1 SU 1585674 A1 SU1585674 A1 SU 1585674A1 SU 884361568 A SU884361568 A SU 884361568A SU 4361568 A SU4361568 A SU 4361568A SU 1585674 A1 SU1585674 A1 SU 1585674A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
roughness
attenuation
acoustic waves
intensity
judged
Prior art date
Application number
SU884361568A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Виталий Францевич Цалко
Елена Викторовна Лановенко
Original Assignee
Комсомольский-на-Амуре политехнический институт
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Комсомольский-на-Амуре политехнический институт filed Critical Комсомольский-на-Амуре политехнический институт
Priority to SU884361568A priority Critical patent/SU1585674A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1585674A1 publication Critical patent/SU1585674A1/en

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  контрол  шероховатости звукопровод щих материалов. Цель изобретени  - повышение точности за счет снижени  помех. На исследуемой поверхности возбуждают поверхностные акустические волны. Измер   в относительных единицах коэффициент их затухани , можно судить о шероховатости поверхности. Коэффициент затухани  определ ют оптическим методом, излуча  в две точки на поверхности под острым углом когерентные пучки и регистриру  соответствующие максимумы интенсивности отраженных дифракционных пучков. По их отношению суд т о затухании и далее по тарировочной кривой затухание акустических волн - шероховатость определ ют искомую величину. 2 ил.The invention relates to a measurement technique and can be used to control the roughness of sound-conducting materials. The purpose of the invention is to improve accuracy by reducing interference. Surface acoustic waves are excited on the test surface. Measured in relative units of their attenuation coefficient, it is possible to judge the surface roughness. The attenuation coefficient is determined by the optical method, emitting coherent beams at two points on the surface at an acute angle and registering the corresponding intensity maxima of the reflected diffraction beams. By their relation, the attenuation is judged and then by the calibration curve the attenuation of acoustic waves — the roughness determines the desired value. 2 Il.

Description

(21)4361568/25-28(21) 4361568 / 25-28

(22)11.01.88(22) 01/11/88

(46) 15.08.90. Бкш. № 30(46) 08/15/90. Bksh. No. 30

(71)Комсомольский-на-Амуре политехнический институт(71) Komsomolsk-on-Amur Polytechnic Institute

(72)В.Ф.Цалко и Е.В.Лановенко (53) 620.179.16 (088.8)(72) V.F. Tsalko and E.V.Lanovenko (53) 620.179.16 (088.8)

(56)Патент Франции № 2531776, кл. G 01 В 11/30, 1984.(56) Patent of France No. 2531776, cl. G 01 B 11/30, 1984.

454) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ454) METHOD FOR CONTROL OF SURFACE ROUGHNESS

(57)Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  контрол  шероховатости звукопровод щих материалов. Цель изобретени  - повьпвение точности за счет снижени  помех. На исследуемой поверхности возбуждают поверхностные акустические волны. Измер   в относительных единицах коэффициент их затухани , можно судить о шероховатости поверхности. Коэффициент затухани  определ ют оптическим методом излу- ча  в две точки на поверхности под острым углом когерентные пучки и регистриру  соответствующие максимумы интенсивности отраженных дифракционных пучков. По их отношению суд т о затухании и далее по тарированной кривой затухание акустических волн - шероховатость определ ют искомую величину . 2 ил.(57) The invention relates to a measurement technique and can be used to control the roughness of sound-conducting materials. The purpose of the invention is to improve accuracy by reducing interference. Surface acoustic waves are excited on the test surface. Measured in relative units of their attenuation coefficient, it is possible to judge the surface roughness. The attenuation coefficient is determined by the optical method of the radiation at two points on the surface at an acute angle of coherent beams and recorded the corresponding intensity maxima of the reflected diffraction beams. By their relation, the attenuation is judged and then by the calibrated attenuation of acoustic waves — the roughness determines the desired value. 2 Il.

Изобретение относитс  к машиностроению , в частности к способам контрол  качества полированной поверхности звукопровод щих материалов .The invention relates to mechanical engineering, in particular, to methods for controlling the quality of the polished surface of sound-conducting materials.

Цель изобретени  - повьппение точности за счет снижени  помех.The purpose of the invention is to improve accuracy by reducing interference.

На фиг. 1 изображена установка с лазерным зондом, на которой реализуетс  предлагаемый способ.FIG. Figure 1 shows an installation with a laser probe on which the proposed method is implemented.

Позицией 1 обозначена контролируема  поверхность; 2 - полупрозрачное зеркало; 3 - линза; 4 - лазер, 5 регистратор интенсивности лазерного излучени ; 6 диафрагма; 7 - линза; 8 - оптический фильтр; 9 - линза; 10 - фотоэлектронный умножитель; 11 - широкополосный усилитель , 12 - регистрирующее устройство интенсивностиPosition 1 marked controlled surface; 2 - a translucent mirror; 3 - lens; 4 - laser; 5 laser radiation intensity recorder; 6 aperture; 7 - lens; 8 - optical filter; 9 - lens; 10 - photomultiplier tube; 11 - broadband amplifier, 12 - intensity recording device

отраженного излучени ; 13 - световод .reflected radiation; 13 - light guide.

На фиг. 2 изображена калибровочна  крива  зависимости коэффициента поверхностных акустических волн (ПАВ) затухани  от величины шероховатости к длине ПАВ.FIG. Figure 2 shows the calibration curve for the dependence of the coefficient of surface acoustic waves (SAS) of attenuation on the magnitude of the roughness to the length of the SAS.

Способ осуществл ют следуюш 1м образом .The method is carried out in the following manner.

На исследуемой поверхности воз-. буждают ПАВ, например лазером. Затем измер ют затухание ПАВ, завис щее от шероховатости. Дл  этого на две различные точки поверхности под одинаковым острым углом направл ют когерентный пучок излучени . Шероховатость и ПАВ действуют при отражении пучков как дифрак1щонна  решетка, а интен сивность дифрагированного света про-On the surface studied wake surfactant, such as a laser. Then, the attenuation of the surfactant depending on the roughness is measured. To do this, a coherent beam of radiation is directed at two different points on the surface at the same acute angle. The roughness and surfactant act upon reflection of the beams as a diffraction grating, and the intensity of the diffracted light

сдsd

СХ)CX)

елate

О5O5

4;ib4; ib

порциональна интенсивности звуковой волны, что подтверждаетс  формулой:is proportional to the intensity of the sound wave, which is confirmed by the formula:

I sinxfLI sinxfL

л/т т   l / t

 2G

деde

ImЧы .ImCy.

0 - М 360 - M 36

интенсивность излучени  света в tU-M дифракцион1 ом максимуме ;light emission intensity at tU-M diffraction maximum;

интенсивность основного зеркального отраженного луча; ,the intensity of the main specular reflected beam; ,

- длина взаимодействи  светового излучени  с ПАВ (в данном случае это диаметр светового луча); длина волны;- the length of the interaction of light radiation with a surfactant (in this case it is the diameter of the light beam); wavelength;

параметр, характеризующий акустооптические качества материала (величина посто нна ) ;a parameter characterizing the acousto-optic qualities of the material (the value is constant);

- интенсивность звуковой волРегистрируют интенсивности соот- ветствунлщих максимумов, дифкрацион- ных пучков,отношение которых харакг- теризует В условных единицах затухани  К ПАВ, О шероховатости суд т по- intensity of the sound waveRegister the intensities of the corresponding maxima, diffraction beams, the ratio of which characterizes. In arbitrary units of attenuation K surfactant, O roughness is judged by

00

5five

00

5five

зависимости затзгхани  К от отношени  шероховатости к длине ПАВ с помощью тирировочной кривой на фиг. 2. the dependences of the zatzghani K on the ratio of roughness to the length of the surfactant using the plot curve in FIG. 2

Claims (1)

ФормулаизобреТени Formulaisableness Способ контрол  шероховатости поверхности , заключающийс  в том, что на одну точку поверхности под острым углом направл ют когерентный пучок излзгчени  и регистрирзпот интенсивность отраженного дифракционного пучка , с учетом которой суд т о шероховатости , отличающийс  тем, что, с целью повьштени  точности, на поверхности возбуждают акустические волны, под тем же углом на другую точку поверхности направл ют когерентный пучок излучени , регистрируют соответствующие максимумы интенсивности отраженных дифракционных пзгч- ков, а о шероховатости суд т по зависимости отношени  максимумов интенсивности отраженных пучков .от отношени  шероховатости к длине поверхностной акустической волны.The method of controlling the surface roughness, which means that at one point of the surface, at a sharp angle, a coherent beam of radiation is directed and recorded the intensity of the reflected diffraction beam, taking into account which roughness is judged, characterized in that, in order to improve accuracy, the surface is excited acoustic waves, at the same angle to another point of the surface, direct a coherent radiation beam, record the corresponding intensity maxima of the reflected diffraction diffraction signals, and about Howat judged depending on the ratio of the intensity maxima of the reflected beams .from ratio of roughness to the length of the surface acoustic wave. иг. 1ig. one 0.1 0.2 /7.3 ОЛ 0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1.00.1 0.2 /7.3 OL 0.5 0.6 0.7 0.8 0.8 0.9 1.0 Фие. г к/ , fO Phie. g to /, fO
SU884361568A 1988-01-11 1988-01-11 Method of checking roughness of surface SU1585674A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884361568A SU1585674A1 (en) 1988-01-11 1988-01-11 Method of checking roughness of surface

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884361568A SU1585674A1 (en) 1988-01-11 1988-01-11 Method of checking roughness of surface

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1585674A1 true SU1585674A1 (en) 1990-08-15

Family

ID=21348874

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU884361568A SU1585674A1 (en) 1988-01-11 1988-01-11 Method of checking roughness of surface

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1585674A1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU193572U1 (en) * 2019-05-08 2019-11-05 Игорь Петрович Шепеть PRODUCT SURFACE Roughness EVALUATION DEVICE

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU193572U1 (en) * 2019-05-08 2019-11-05 Игорь Петрович Шепеть PRODUCT SURFACE Roughness EVALUATION DEVICE

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4046477A (en) Interferometric method and apparatus for sensing surface deformation of a workpiece subjected to acoustic energy
KR910004225B1 (en) Method and device for nondestructive evaluation
US4238856A (en) Fiber-optic acoustic sensor
EP0060280B1 (en) Ocean depth sounding from the air by laser beam
EP0152834B1 (en) Apparatus for automatic measurement of stress in a transparent body by means of scattered light
ES2034453T3 (en) MEASUREMENT OF THE CURVATURE OF TRANSPARENT OR TRANSLUCENT MATERIAL.
EP0586053A1 (en) Dual interferometer spectroscopic imaging system
SU1585674A1 (en) Method of checking roughness of surface
JPH05172739A (en) Method of measuring ultrahigh speed surface vibration by means of ultrashort pulse light
JPH0886745A (en) Spatial-coherence type light wave reflection measuring device and light-wave echo tomographic device using same
SU1017978A1 (en) Hard media refraction factor determination method
SU1700358A1 (en) Method and device for determining article surface roughness parameters
SU1310710A1 (en) Method of quality control of acoustic contact in ultrasonic flaw detection
SU1620831A1 (en) Method of determining parameters of roughness of optical surface
SU603896A1 (en) Method of testing acoustic contact
SU1570476A1 (en) Method of determining thermal diffusivity of metals and semiconductors
US4890923A (en) Apparatus for superposing two light beams
SU1529039A1 (en) Reflectometric method of measuring mean height of microirregularities of rough surface
JP2915636B2 (en) Displacement measuring device
SU1193457A1 (en) Apparatus for measuring transient response of laser receiver of acoustic emission signals
SU1663423A1 (en) Apparatus for detecting optical surface roughness parameters by differential light-diffusion method
SU1236313A1 (en) Interference method and apparatus for registering zero position of scanning mirror
SU815492A1 (en) Method of measuring roughness of super-smooth surfaces
SU1068782A1 (en) Automatic interferention device for measuring atmosphere befraction index structural characteristic
SU664496A1 (en) Interference method of measuring taper of transparent plates