SU1582153A1

SU1582153A1 - Apparatus for measuring electric resistance of solid phase bodies

Info

Publication number: SU1582153A1
Application number: SU884374580A
Authority: SU
Inventors: Сергей Григорьевич Горинский
Original assignee: Свердловский инженерно-педагогический институт
Priority date: 1988-01-08
Filing date: 1988-01-08
Publication date: 1990-07-30

Abstract

Изобретение относитс к измерению электрических параметров твердых тел. Целью изобретени вл етс повышение точности за счет устранени вли ни на результат измерени контактного сопротивлени , возникающего вследствие недостаточного прижима контактов к измер емому образцу. Устройство содержит механический вибратор 1, св занный с электродом 2, электроды 2 и 3, между которыми помещаетс измер емый образец 4. Электрод 2 соединен с источником 5 посто нного напр жени , а электрод 3 - с входами измерительного прибора 6 (измерител тока) и полосового фильтра 7, выход которого соединен с входом нуль-органа 8. Выход последнего соединен с входом запуска измерительного прибора 6. Цель достигаетс за счет введени механического вибратора 1, который, воздейству на электрод 2, измен ет прижим электродов 2 и 3 к образцу 4, а также полосового фильтра 7 и нуль-органа 8, которые обеспечивают регистрацию переменной составл ющей тока через образец, котора имеет место в случае, если прижим недостаточен. Если же прижим обеспечивает хороший контаткт между электродами 2 и 3 и образцом 4, то переменна составл юща отсутствует, при этом нуль-орган 8 вырабатывает импульс запуска измерительного прибора, который измер ет ток через образец. 1 ил.The invention relates to the measurement of the electrical parameters of solids. The aim of the invention is to improve the accuracy by eliminating the influence on the measurement result of the contact resistance resulting from insufficient contact pressure to the sample to be measured. The device contains a mechanical vibrator 1 connected to electrode 2, electrodes 2 and 3, between which a measured sample 4 is placed. Electrode 2 is connected to a constant voltage source 5, and electrode 3 to the inputs of a measuring device 6 (current meter) and bandpass filter 7, the output of which is connected to the input of the zero-organ 8. The output of the latter is connected to the start input of the measuring device 6. The goal is achieved by introducing a mechanical vibrator 1, which, acting on electrode 2, changes the pressure of electrodes 2 and 3 to sample 4 as well as by VAVO filter 7 and the zero-member 8, which ensure registration of the variable component of the current through the sample, which occurs when the clamp is insufficient. If the clamp provides a good contact between the electrodes 2 and 3 and sample 4, then the variable component is absent, and the null organ 8 generates a trigger pulse for the measuring device, which measures the current through the sample. 1 il.

Description

i Изобретение относится к средствам измерения электрического· сопротивления твердых тел и может быть использовано для неразрушающего контроля, й частности для электрического контроля изделий из. диэлектриков и полупроводников.i The invention relates to means for measuring the electrical · resistance of solids and can be used for non-destructive testing, and in particular for electrical control of products from. dielectrics and semiconductors.

Цель изобретения - повышение точмости измерения за счет исключения влияния на результат измерения контактного сопротивления, возникающего за счёт недостаточного прижима контактов к измеряемому образцу.The purpose of the invention is to increase the accuracy of the measurement by eliminating the influence on the measurement result of contact resistance arising due to insufficient clamping of contacts to the measured sample.

На чертеже представлена блок-схемка устройства.The drawing shows a block diagram of a device.

> Устройство содержит механический , прижимные электроды 2 и :> The device contains mechanical, clamping electrodes 2 and:

вибратор 1 между которыми помещен измеряемый образец 4 напряжения, измерительный прибор 6 (измеритель тока), полосовой фильтр 7 , источник 5 постоянногоa vibrator 1 between which the measured voltage sample 4 is placed, a measuring device 6 (current meter), a band-pass filter 7, a constant source 5

3, и нуль-орган 8_О 3, and zero organ 8 _O

При этом механический вибратор 1 , соединенным выходом источника 5 постоянного связан с электродом 2 сIn this case, the mechanical vibrator 1 connected by the output of the constant source 5 is connected to the electrode 2 s

напряжения, электрод 3 соединен с выходами измерительного прибора 6 (измерителя тока) и полосового фильтра 7, вккод которого соединен с входом нуль-органа 8, выход которого соединен с входом запуска измерительного Прибора 6.voltage, the electrode 3 is connected to the outputs of the measuring device 6 (current meter) and a band-pass filter 7, the code of which is connected to the input of the zero-organ 8, the output of which is connected to the start input of the measuring Device 6.

Устройство работает следующим 35The device operates as follows 35

Рбразом.RBrazom.

Механический вибратор 1 воздействует на электрод 2. К образцу 4 Через электроды 2 и 3 прикладывается Напряжение от источника 5 постоянно- 40 По напряжения. Ток через образец Измеряется, измерительным прибором 6. Цели усилие.прижима недостаточно и контактное сопротивление велико, то ток через образец содержит переменную составляющую, которая выделяется полосовым фильтром 7. Нуль-орган 8 при наличии на входе переменного сигнала, не вырабатывает импульса запуска для измерительного прибора 6, который в этом случае не производит измерения. Если усилие прижима электродов 2 и 3 к образцу 4 достаточное и контактное сопротивление мало, то ток через образец 4 не содержит переменной составляющей и нуль-орган 8 вырабатывает импульс запуска для измерительного прибора 6, который производит измерение. Таким образом, измерение производится только при наличии надежного контакта между· электродами и образцом.A mechanical vibrator 1 acts on the electrode 2. A sample 4 is applied through the electrodes 2 and 3. The voltage from source 5 is constant - 40 V voltage. The current through the sample is measured with a measuring device 6. The target is not enough pressure and the contact resistance is high, then the current through the sample contains a variable component, which is allocated by a band-pass filter 7. Zero-organ 8, if there is an alternating signal at the input, does not generate a trigger pulse for the measurement instrument 6, which in this case does not take measurements. If the pressing force of the electrodes 2 and 3 to the sample 4 is sufficient and the contact resistance is small, then the current through the sample 4 does not contain a variable component and the zero-organ 8 generates a trigger pulse for the measuring device 6, which performs the measurement. Thus, the measurement is carried out only in the presence of reliable contact between the electrodes and the sample.

Claims

Claim

A device for measuring the electrical resistance of solids, containing two pressure electrodes, a DC power source and a measuring device, the output of the power source being connected to the first pressure electrode and the measuring device to the second, characterized in that. In order to improve the accuracy of measurements , a mechanical vibrator, a band-pass filter and a zero-organ · are introduced into it, and the measuring device has an external trigger input, and the mechanical vibrator is mechanically connected to the first electrode, the band-pass filter input ra is connected to the second pressing electrode and an output - to the input of the zero-body, whose output is connected to the input of the external trigger measuring device.