SU1581991A1

SU1581991A1 - Устройство дл измерени линейных перемещений

Info

Publication number: SU1581991A1
Application number: SU884631694A
Authority: SU
Inventors: Юрий Илларионович Зубков; Виктор Иосифович Павлов
Original assignee: Предприятие П/Я М-5308
Priority date: 1988-11-28
Filing date: 1988-11-28
Publication date: 1990-07-30

Abstract

Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл измерени линейных перемещений в отсчетных системах измерительных приборов, координатно-измерительных машин и стаканов. Целью изобретени вл етс повышение точности измерений за счет ориентации каретки относительно подвижной головки посредством сферических упоров. При измерении головка 3 перемещает через опоры 5-7 каретку 4 по поверхности измерительной дифракционной решетки 2. При этом дифракционные полосы индикаторной решетки 14 перемещаютс относительно дифракционных полос решетки 2 с высокой точностью за счет использовани упоров 15-17, подп тников 20-22 и наконечников, закрепленных на каретке 4 посредством плоских пружин оппозитно опорам 5-7. 3 ил.

Description

Ј

Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл измерени линейных перемещений в от- счетных системах измерительных приборов координатно-измерительных машин и станков .

Цель изобретени - повышение точности измерений.

На фиг. 1 показана схема устройства дл измерени линейных перемещений; на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1; на фиг.З - разрез Б-Б на фиг.2.

Устройство содержит корпус 1, закрепленную в нем измерительную дифракционную решетку 2, отсчетную головку 3, установленную в корпусе 1 с возможностью перемещени вдоль решетки 2, установленную в головке 3 каретку 4 с опорами 5-7, контактирующими с рабочей поверхностью решетки 2, механизм прижима каретки 4,

выполненный в виде сферических наконечников 8-10, закрепленных на каретке 4 посредством плоских пружин 11-13 оппозитно соответствующим опорам 5-7, индикаторную дифракционную решетку 14, три сферические упора 15-17, установленные на головке 3 так, что ось упора 15 находитс на линии считывани решетки 2, и пружины 18 и 19, поджимающие подп тники 20-22 к упарам 15-17.

Упор 17 выполнен с возможностью осевого перемещени . Головка 3 и каретка выполнена из легкого материала с большим сопротивлением на изгиб и сжатие и с высокой размерной стабильностью, например из сплава САС-1. Упоры 15-17 и подп тники 20-22 выполнены из сверхтвердого материала , например лейкосапфира. Благодар этому каретка 4 обеспечивает точную координатную прив зку. Устран ютс также пеСП

00

Ю Ю

рекосы решетки 14 относительно решетки 2 и деформации из-за действи сил трени при перемещении и реверсе каретки 4,

Устройство работает следующим обр;э- зом.

Корпус 1 закрепл ют на станине, а головку 3 - на подвижном органе станка или другого прибора дл измерени линейных перемещений. Регулируют положение каретки 4 с помощью упора 17 до совмещени дифракционных полос на решетках 2 и 14. При перемещении головки 3 каретка 4 перемещаетс посредством опор 5-7 по поверх- ности решетки 2, обеспечива относительное перемещение полос решетки 14 относительно полос решетки 2 с высокой точностью за счет ориентации каретки 4 относительно головки 3 в плоскости измерени с помощью упоров 15-17 и подп тников 20-22.

Claims

Формула изобретени Устройство дл измерени линейных перемещений, содержащее корпус, закрепленную в нем измерительную дифракционную решетку, отсчетную головку,

установленную в корпусе с возможностью перемещени вдоль решетки, установленную в головке каретку с трем опорами, контактирующими с рабочей поверхностью

решетки, механизм прижима каретки, индикаторную дифракционную решетку, установленную на каретке с возможностью взаимодействи с измерительной решеткой , отличающеес тем, что, с целью

повышени точности измерени , оно снабжено установленными на головке трем сферическими упорами, оси которых расположены в плоскости, параллельной рабочей поверхности измерительной решетки так,

что оси двух из них перпендикул рны оси симметрии решетки, а ось третьего - параллельна ей, и трем плоскими подп тниками, закрепленными на каретке и подпружиненными в направлении соответствующих сферических упоров, а механизм прижима каретки выполнен в виде трех сферических наконечников, закрепленных на каретке посредством плоских пружин оппозитно соответствующим опорам и контактирующих с

измерительной решеткой,

3 V

ю

Фие.1

7

Б-Б

70 а