SU1561001A1 - Датчик давлени - Google Patents

Датчик давлени Download PDF

Info

Publication number
SU1561001A1
SU1561001A1 SU884466209A SU4466209A SU1561001A1 SU 1561001 A1 SU1561001 A1 SU 1561001A1 SU 884466209 A SU884466209 A SU 884466209A SU 4466209 A SU4466209 A SU 4466209A SU 1561001 A1 SU1561001 A1 SU 1561001A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
membrane
radius
elastic
sensitive element
length
Prior art date
Application number
SU884466209A
Other languages
English (en)
Inventor
Юрий Иосифович Заганяч
Мирослав Алексеевич Тихан
Алексей Петрович Кутраков
Татьяна Матвеевна Иващук
Original Assignee
Львовский политехнический институт им.Ленинского комсомола
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Львовский политехнический институт им.Ленинского комсомола filed Critical Львовский политехнический институт им.Ленинского комсомола
Priority to SU884466209A priority Critical patent/SU1561001A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1561001A1 publication Critical patent/SU1561001A1/ru

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к области контрольно-измерительной техники, в частности к датчикам давлени  (ДД), и может быть использовано дл  измерени  низкого статического и динамического давлений. Целью изобретени   вл етс  повышение точности измерени  низкого динамического давлени . ДД состоит из цилиндрического корпуса 1 с мембраной 2, контактного узла 6, токовыводов 5, штока 3, который жестко соединен с мембраной 2 м упруго-чувствительным элементом (УЧЭ) 4, представл ющего собой консольную балку, образованную параллельными в вертикальной плоскости двум  полупроводниковыми нитевидными тензорезисторами 7 и 8, между которыми находитс  слой 9 стекла. К корпусу 1 прикреплена мембрана 2 радиуса R, к которой жестко и эксцентрично присоединен шток 3 длины Lшт. Измер емое давление, воздейству  на мембрану 2, передаетс  на УЧЭ 4, вызыва  деформацию тензорезисторов 7,8, которые включены в измерительный мост. ДД предназначен дл  измерени  динамического и статического давлений в диапазоне 0...4 МПа. 1 ил.

Description

СП
0
Фаг.1
315
Изобретение относитс  к контрольно-измерительной технике и может быть использовано дл  измерени  динамического или статического давлени .
Цель изобретени  - повышение точности измерени  низкого динамического давлени .
На фиг.1 представлена принципиальна  конструкци  датчика; на фиг.2 - схема деформации его упругой системы с действующими при этом усили ми.
Тензометрический датчик низкого динамического давлени  состоит из цилиндрического корпуса 1 с мембраной 2, штока 3, упругочувстзительного элемента (УЧЭ) 4, токовыводов 5 и контактного узла 6. УЧЗ А представл ет собой консольную балку, образованную двум  параллельными в вертикальной .плоскости нитевидными полупроводниковыми тензореэисторами 7 и 8, между которыми находитс  слой стекла 9. К цилиндрическому корпусу 1 жестко прикреплена мембрана 2, к которой жестко и эксцентрично относительно ее центра прикреплен шток 3. При этом величина эксцентриситета
R
e vf
где R - радиус мембраны 2, выбранный из услови 
R «i-,
Уз
1 - длина УЧЭ 4; длина 1 штока 3 удовлетвор ет услоШт
ВИЮ
1 э 4
L шт 151°
УЧЭ 4 параллелен плоскости мембраны 2 и направлен вдоль ее радиуса. Одним концом УЧЭ 4 закреплен в корпусе 1, другим жестко соединен со штоком 3.
Кругла  мембрана 2, котора  жестко защемлена по контуру, изготовлена из материала с высокими упругими свойствами, например сплава 44 НХТЮ. УЧЭ 4 представл ет собой консольную балку, образованную двум  параллельными в вертикальной плоскости нитевидными полупроводниковыми тензоре- зисторами 7 и 8, например типа Йрем
5 0 5
0
нистор , между которыми находитс  слой стекла 9 например СП 52-1. Тен- зорезисторы 7 и 8 имеют впа нные платиновые токовыводы 5. В корпус 1 вмонтирован контактный узел 6. При изменении давлени  прогиб мембраны 2 через шток 3 передаетс  на тензорезис- торы 7 и 8, которые претерпевают деформации раст жени  - сжати  и измен ют свое сопротивление. Тензорезис- торы 7 и 8 включены в мостовую измерительную схему. По величине разбаланса моста суд т о давлении,
Опытный образец датчика был испытан и покал следующие характеристики: при 10-кратной тарировке коэффициент нелинейности карактеристики составил 0908%J коэффициент невоспроизводимости 0,1%; гистерезис 0,05%, чувствительность 300 мВ/МПа.
Преимуществом предлагаемого устройства  вл етс  повышение точности измерени  низкого динамического давлени , достигнутое за счет эксцентричного креплени  штока 3 определенной длины к мембране 2 с определенным радиусом, а также за счет образовани  конструкции УЧЭ 4 самими тен- зорезисторами 7 и 8 и слоем стекла 9 между ними.

Claims (1)

  1. Формула изобретени 
    Датчик давлени , содержащий цилиндрический корпус с мембраной, котора  посредством штока жестко соединена с упругочувствительным элементом в виде консольной балки, отличающийс  тем, что, с целью повышени  точности измерени  в области низкого динамического давлени , в нем упругочувствительный элемент выполнен в виде двух параллельно расположенных полупроводниковых нитевидных теизореэисторов, соединенных между собой слоем стекла, а шток прикреплен к мембране эксцентрично на рассто нии е от центра мембраны , определ емом из соотношени 
    К
    yf
    где R - радиус мембраны, при этом радиус R мембраны, длина штока 1щтидлина тенэорезистора 1св  заны следующими соотношени ми:
    R
    Y3
    Редактор Л.Пчолинска 
    Составитель Н.Матрохина
    Техред Л. Сердюкова Корректор с.шекмар
    Заказ 974
    Тираж 466
    ВНИИПИ Государственного комитета по изобретени м и открыти м при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушска  наб., д. 4/5
    Производственно-издательский комбинат Патент, г.Ужгород, ул. Гагарина,101
    4 1шт у Т5Г
    Фае. 2
    Подписное
SU884466209A 1988-06-21 1988-06-21 Датчик давлени SU1561001A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884466209A SU1561001A1 (ru) 1988-06-21 1988-06-21 Датчик давлени

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884466209A SU1561001A1 (ru) 1988-06-21 1988-06-21 Датчик давлени

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1561001A1 true SU1561001A1 (ru) 1990-04-30

Family

ID=21392177

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU884466209A SU1561001A1 (ru) 1988-06-21 1988-06-21 Датчик давлени

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1561001A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Заган ч Ю.И. и др Полупроводниковый датчик дл измерени малых давлений с универсальным тензомодулем. - Приборы и системы управлени , 1984, 3, с.31. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5291788A (en) Semiconductor pressure sensor
US20140137654A1 (en) Measuring device for measuring a physical quantity
US3289134A (en) Gaged diaphragm pressure transducer
US5983729A (en) Slender column force transducer
US5092177A (en) Device for measuring the deformations of a diaphragm
US3713333A (en) Force measuring apparatus
Madhavi et al. Design of a piezoresistive micropressure sensor using finite element analysis
Kamble et al. Overview of load cells
US3559467A (en) Strain measuring device
SU1561001A1 (ru) Датчик давлени
US3205706A (en) Ring-type load cell
US2840675A (en) Transducer
US4424717A (en) Force transducer
US4106349A (en) Transducer structures for high pressure application
US3270565A (en) Omnidirectional acceleration device
JPS6216368B2 (ru)
RU2040781C1 (ru) Измерительный шпиндель датчика
US3427884A (en) Differential pressure transducer
US4690004A (en) Variable-reluctance transducer
SU1663559A1 (ru) Способ измерени ускорени
SU732705A1 (ru) Датчик разности давлений
Gehlken et al. Additive Manufacturing of Sensor Systems with Piezoresistive Read-Out
RU2165068C2 (ru) Датчик перемещения
RU2190199C1 (ru) Датчик вектора силы
SU547653A1 (ru) Датчик силы