SU1561001A1 - Датчик давлени - Google Patents
Датчик давлени Download PDFInfo
- Publication number
- SU1561001A1 SU1561001A1 SU884466209A SU4466209A SU1561001A1 SU 1561001 A1 SU1561001 A1 SU 1561001A1 SU 884466209 A SU884466209 A SU 884466209A SU 4466209 A SU4466209 A SU 4466209A SU 1561001 A1 SU1561001 A1 SU 1561001A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- membrane
- radius
- elastic
- sensitive element
- length
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к области контрольно-измерительной техники, в частности к датчикам давлени (ДД), и может быть использовано дл измерени низкого статического и динамического давлений. Целью изобретени вл етс повышение точности измерени низкого динамического давлени . ДД состоит из цилиндрического корпуса 1 с мембраной 2, контактного узла 6, токовыводов 5, штока 3, который жестко соединен с мембраной 2 м упруго-чувствительным элементом (УЧЭ) 4, представл ющего собой консольную балку, образованную параллельными в вертикальной плоскости двум полупроводниковыми нитевидными тензорезисторами 7 и 8, между которыми находитс слой 9 стекла. К корпусу 1 прикреплена мембрана 2 радиуса R, к которой жестко и эксцентрично присоединен шток 3 длины Lшт. Измер емое давление, воздейству на мембрану 2, передаетс на УЧЭ 4, вызыва деформацию тензорезисторов 7,8, которые включены в измерительный мост. ДД предназначен дл измерени динамического и статического давлений в диапазоне 0...4 МПа. 1 ил.
Description
СП
0
Фаг.1
315
Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике и может быть использовано дл измерени динамического или статического давлени .
Цель изобретени - повышение точности измерени низкого динамического давлени .
На фиг.1 представлена принципиальна конструкци датчика; на фиг.2 - схема деформации его упругой системы с действующими при этом усили ми.
Тензометрический датчик низкого динамического давлени состоит из цилиндрического корпуса 1 с мембраной 2, штока 3, упругочувстзительного элемента (УЧЭ) 4, токовыводов 5 и контактного узла 6. УЧЗ А представл ет собой консольную балку, образованную двум параллельными в вертикальной .плоскости нитевидными полупроводниковыми тензореэисторами 7 и 8, между которыми находитс слой стекла 9. К цилиндрическому корпусу 1 жестко прикреплена мембрана 2, к которой жестко и эксцентрично относительно ее центра прикреплен шток 3. При этом величина эксцентриситета
R
e vf
где R - радиус мембраны 2, выбранный из услови
R «i-,
Уз
1 - длина УЧЭ 4; длина 1 штока 3 удовлетвор ет услоШт
ВИЮ
1 э 4
L шт 151°
УЧЭ 4 параллелен плоскости мембраны 2 и направлен вдоль ее радиуса. Одним концом УЧЭ 4 закреплен в корпусе 1, другим жестко соединен со штоком 3.
Кругла мембрана 2, котора жестко защемлена по контуру, изготовлена из материала с высокими упругими свойствами, например сплава 44 НХТЮ. УЧЭ 4 представл ет собой консольную балку, образованную двум параллельными в вертикальной плоскости нитевидными полупроводниковыми тензоре- зисторами 7 и 8, например типа Йрем
5 0 5
0
нистор , между которыми находитс слой стекла 9 например СП 52-1. Тен- зорезисторы 7 и 8 имеют впа нные платиновые токовыводы 5. В корпус 1 вмонтирован контактный узел 6. При изменении давлени прогиб мембраны 2 через шток 3 передаетс на тензорезис- торы 7 и 8, которые претерпевают деформации раст жени - сжати и измен ют свое сопротивление. Тензорезис- торы 7 и 8 включены в мостовую измерительную схему. По величине разбаланса моста суд т о давлении,
Опытный образец датчика был испытан и покал следующие характеристики: при 10-кратной тарировке коэффициент нелинейности карактеристики составил 0908%J коэффициент невоспроизводимости 0,1%; гистерезис 0,05%, чувствительность 300 мВ/МПа.
Преимуществом предлагаемого устройства вл етс повышение точности измерени низкого динамического давлени , достигнутое за счет эксцентричного креплени штока 3 определенной длины к мембране 2 с определенным радиусом, а также за счет образовани конструкции УЧЭ 4 самими тен- зорезисторами 7 и 8 и слоем стекла 9 между ними.
Claims (1)
- Формула изобретениДатчик давлени , содержащий цилиндрический корпус с мембраной, котора посредством штока жестко соединена с упругочувствительным элементом в виде консольной балки, отличающийс тем, что, с целью повышени точности измерени в области низкого динамического давлени , в нем упругочувствительный элемент выполнен в виде двух параллельно расположенных полупроводниковых нитевидных теизореэисторов, соединенных между собой слоем стекла, а шток прикреплен к мембране эксцентрично на рассто нии е от центра мембраны , определ емом из соотношениКyfгде R - радиус мембраны, при этом радиус R мембраны, длина штока 1щтидлина тенэорезистора 1св заны следующими соотношени ми:RY3Редактор Л.ПчолинскаСоставитель Н.МатрохинаТехред Л. Сердюкова Корректор с.шекмарЗаказ 974Тираж 466ВНИИПИ Государственного комитета по изобретени м и открыти м при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушска наб., д. 4/5Производственно-издательский комбинат Патент, г.Ужгород, ул. Гагарина,1014 1шт у Т5ГФае. 2Подписное
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884466209A SU1561001A1 (ru) | 1988-06-21 | 1988-06-21 | Датчик давлени |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884466209A SU1561001A1 (ru) | 1988-06-21 | 1988-06-21 | Датчик давлени |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1561001A1 true SU1561001A1 (ru) | 1990-04-30 |
Family
ID=21392177
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU884466209A SU1561001A1 (ru) | 1988-06-21 | 1988-06-21 | Датчик давлени |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1561001A1 (ru) |
-
1988
- 1988-06-21 SU SU884466209A patent/SU1561001A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Заган ч Ю.И. и др Полупроводниковый датчик дл измерени малых давлений с универсальным тензомодулем. - Приборы и системы управлени , 1984, 3, с.31. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5291788A (en) | Semiconductor pressure sensor | |
US20140137654A1 (en) | Measuring device for measuring a physical quantity | |
US3289134A (en) | Gaged diaphragm pressure transducer | |
US5983729A (en) | Slender column force transducer | |
US5092177A (en) | Device for measuring the deformations of a diaphragm | |
US3713333A (en) | Force measuring apparatus | |
Madhavi et al. | Design of a piezoresistive micropressure sensor using finite element analysis | |
Kamble et al. | Overview of load cells | |
US3559467A (en) | Strain measuring device | |
SU1561001A1 (ru) | Датчик давлени | |
US3205706A (en) | Ring-type load cell | |
US2840675A (en) | Transducer | |
US4424717A (en) | Force transducer | |
US4106349A (en) | Transducer structures for high pressure application | |
US3270565A (en) | Omnidirectional acceleration device | |
JPS6216368B2 (ru) | ||
RU2040781C1 (ru) | Измерительный шпиндель датчика | |
US3427884A (en) | Differential pressure transducer | |
US4690004A (en) | Variable-reluctance transducer | |
SU1663559A1 (ru) | Способ измерени ускорени | |
SU732705A1 (ru) | Датчик разности давлений | |
Gehlken et al. | Additive Manufacturing of Sensor Systems with Piezoresistive Read-Out | |
RU2165068C2 (ru) | Датчик перемещения | |
RU2190199C1 (ru) | Датчик вектора силы | |
SU547653A1 (ru) | Датчик силы |