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CN206440281U
(zh)
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微机械检测结构和mems传感器设备
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JPH04269659A
(ja)
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環状質量部材を用いた加速度計
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GB659869A
(en)
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Improvements in or relating to electro-mechanical transducers employing dielectric elements
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CN106093605A
(zh)
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一种扭转式电场传感器
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Wang et al.
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Analysis of thin film piezoelectric microaccelerometer using analytical and finite element modeling |
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DE102010029630A1
(de)
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Drehratensensor
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JPH01287606A
(ja)
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走査型トンネル顕微鏡の微動機構
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SU155549A1
(enrdf_load_html_response)
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RU2172967C1
(ru)
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Гравитационный вариометр
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JP2004340716A
(ja)
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加速度センサ
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CN114113679A
(zh)
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用于检测振动的宽带宽mems加速度计
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CN2397473Y
(zh)
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栅型结构电容式微机械谐振陀螺
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CN116653529A
(zh)
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一种基于悬架并联式设计的准零刚度mems加速度计
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CN112798821B
(zh)
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一种双轴压电式加速度计
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US11927517B2
(en)
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Resonance shear measurement device
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JP3032152B2
(ja)
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精密ずり応力測定装置
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DE19740244A1
(de)
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Beschleunigungs-unempfindlicher, planarer Differenzdruck-Sensor in Mikrotechnik
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RU2822976C1
(ru)
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Пьезоактюатор изгибного типа
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CN223204934U
(zh)
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一种压电/压阻式mems陀螺仪
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CN1042991A
(zh)
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振动法和传递函数法结合的试桩技术
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DE102009045696A1
(de)
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Sensor zur kapazitiven Erfassung einer mechanischen Auslenkung
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RU2304273C1
(ru)
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Интегральный микромеханический гироскоп на основе углеродных нанотрубок
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CN223204933U
(zh)
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一种压电/压阻式mems陀螺仪
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SU213387A1
(ru)
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Многокомпонентный электротензометрическиидинамометр
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JPH0760093B2
(ja)
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振動ジャイロ
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