SU1552026A1

SU1552026A1 - Device for testing articles for air-tightness

Info

Publication number: SU1552026A1
Application number: SU874320692A
Authority: SU
Inventors: Евгений Александрович Борисов; Владимир Александрович Уфаев; Эдуард Григорьевич Алехин; Владимир Иванович Киреев; Ростислав Владимирович Бизяев
Original assignee: Предприятие П/Я Р-6601; Предприятие П/Я В-2775
Priority date: 1987-10-27
Filing date: 1987-10-27
Publication date: 1990-03-23

Abstract

Изобретение относитс к устройствам дл испытани на герметичность с помощью масс-спектрометрического течеискател и позвол ет улучшить эксплуатационные характеристики устройства при накоплении пробного газа в газе-носител путем исключени насыщени средств селективной откачки и загр знени течеискател . К испытательной камере 1 с изделием 2 последовательно подключены первый высоковакуумный насос (ВВН) 4, селективно настроенный второй ВВН 5 и форвакуумный насос (ФВН) 6, вход которого соединен с входом селективно настроенного третьего ВВН 7, выход которого соединен с входом ВВН 4. В течеискатель 9 поступает поток газа, обогащенного пробным газом. Часть последнего возвращаетс на вход ВВН 4, а поток, обогащенный газом-носителем, откачиваетс ФВН 6. 1 ил.The invention relates to leak testing devices using a mass spectrometric leak detector and improves the performance of the device when the test gas is accumulated in the carrier gas by eliminating saturation of the selective pumping means and contaminating the leak detector. The first high-vacuum pump (BBH) 4, the selectively tuned second BBH 5 and the foreline vacuum pump (BHF) 6, whose input is connected to the input of the selectively tuned third BBH 7, whose output is connected to the input BBH 4, are connected to test chamber 1 with product 2. leak detector 9 enters a stream of gas enriched with test gas. Part of the latter is returned to the input BBH 4, and the stream enriched in the carrier gas is pumped out of the FHH 6. 6 Il.

Description

Изобретение относится к испытатель-, ной технике, в частности к испытаниям на герметичность изделий с помощью, масс-спектрометрического течеискателя.The invention relates to testing equipment, in particular to tests for the tightness of products using a mass spectrometric leak detector.

Целью изобретения является улучшение эксплуатационных характеристик устройства при накоплении пробного газа в газе-носителе путем исключения насыщения средств селективной jq откачки и загрязнения течеискателя.The aim of the invention is to improve the operational characteristics of the device during the accumulation of test gas in the carrier gas by eliminating the saturation of selective jq pumping and pollution of the leak detector.

На чертеже изображена схема предлагаемого устройства.The drawing shows a diagram of the proposed device.

Устройство для испытания изделий на герметичность включает испытатель- 15 ную камеру 1 с изделием 2, подсоединенные к ней последовательно входную магистраль 3, первый высоковакуумный насос 4, селективно настроенный второй высоковакуумный насос 5 и форва- 20 куумный насос 6. Вход последнего соединен с входом селективно настроенного третьего высоковакуумного насоса 7, включенного в магистраль 8 возврата пробного газа, соединенную с 25 входной магистралью.The device for leak testing includes a test chamber 1 with a product 2, an inlet line 3 connected in series with it, a first high-vacuum pump 4, a selectively tuned second high-vacuum pump 5, and a forv-20 cum pump 6. The input of the latter is selectively connected to the input a tuned third high-vacuum pump 7 included in the sample gas return line 8 connected to the 25 inlet line.

' Масс-спектрометрический течеискатель 9 соединен с выходом первого высоковакуумного насоса 4 и имеет свой селективно настроенный четвертый вы- βθ соковакуумный насос (не показан).'The mass spectrometric leak detector 9 is connected to the output of the first high-vacuum pump 4 and has its selectively tuned fourth high-βθ high-pressure vacuum pump (not shown).

Устройство работает следующим образом.The device operates as follows.

Испытуемое изделие 2 помещают в испытательную камеру 1, после чего вакуумируют ее высоковакуумными насо- ^5 сами 4 и 5, и механическим насосом 6. Включают высоковакуумный насос 7 и вакуумные насосы масс-спектрометрического течеискателя 9. ИспытательнуюTest article 2 is placed in test chamber 1, after which it is evacuated with high vacuum pumps 4 and 5 and a mechanical pump 6. The high vacuum pump 7 and vacuum pumps of the mass spectrometric leak detector 9 are turned on. Test

.. 40 камеру 1 вакуумируют до заданной сте- < пени разрежения, например, 10'^-l0~⁶торр, поддерживают эту степень разрежения и подают в испытательную камеру 1газноситель, например углекислый газ, а ₄$ изделие 2 заполняют пробным газом, например гелием. Высоковакуумным насосом 5 отбирают, путем селективной настройки последнего, из потока газа, поступающего в течеискатель 9, часть потока с повышенной концентрацией газа-носителя. При этом вакуумные насосы течеискателя 9 селективно настраивают на максимальную скорость откачки по пробному газу. Затем ор~. $$ ганизуют отбор части потока с повышенной концентрацией пробного газа из потока, поступающего в механический насос 6., Отбор части потока с по вышенной концентрацией гелия осуществляют селективной настройкой на максимальную скорость откачки по гелию высоковакуумного насоса 7 и подают эту часть потока в поток, поступающий из испытательной камеры 1, который снова попадает в высоковакуумные насосы 4 и 5. ... 40 chamber 1 is evacuated to a predetermined degree of vacuum, for example, 10 '^ - l0 ~ ⁶ torr, this degree of vacuum is maintained and a gas carrier, for example carbon dioxide, is supplied to the test chamber, and $ ₄ item 2 is filled with test gas, for example helium. A high-vacuum pump 5 selects, by selective adjustment of the latter, from the gas stream entering the leak detector 9, part of the stream with an increased concentration of carrier gas. In this case, the vacuum pumps of the leak detector 9 are selectively tuned to the maximum pumping speed for the test gas. Then op ~. $$ organizes the selection of a part of the stream with an increased concentration of sample gas from the stream entering the mechanical pump 6. The part of the stream with an increased concentration of helium is selected by selective tuning to the maximum helium pumping speed of the high-vacuum pump 7 and this part of the stream is fed into the stream entering from test chamber 1, which again enters the high-vacuum pumps 4 and 5..

При регулировке нагревателей (не показаны) высоковакуумных насосов 5, 7 изменяют температуру рабочего тела, например вакуумного масла ВМ-5, что ведет к изменению скорости истечения паров последнего и, как следствие, к различной скорости откачки молекул с разными молекулярными массами. Причем используют в качестве газа-носителя и пробного газа газы с максимальной разницей молекулярных масс например для СО^ молекулярная масса равна 44, а для Не - 4, что обеспечивает эффективное разделение газов по массам.When adjusting heaters (not shown) of high-vacuum pumps 5, 7, the temperature of the working fluid, for example, VM-5 vacuum oil, is changed, which leads to a change in the rate of outflow of vapors of the latter and, as a consequence, to different rates of evacuation of molecules with different molecular weights. Moreover, gases with a maximum molecular weight difference are used as a carrier gas and a test gas, for example, for СО ^ the molecular weight is 44, and for He - 4, which ensures effective separation of gases by mass.

Высокая чувствительность испытаний достигается за счет того, что отбирают часть пробного газа, поступающего в механический насос 6, и вновь подают его в течеискатель 9.High sensitivity of the tests is achieved due to the fact that part of the sample gas entering the mechanical pump 6 is taken, and again it is supplied to the leak detector 9.

Предлагаемое устройство свободно от накопления всего потока газа и необходимости периодической регенерации средств, селективной откачки, т.е. работает неограничено долго в режиме измерения.The proposed device is free from the accumulation of the entire gas flow and the need for periodic regeneration of funds, selective pumping, i.e. It works indefinitely in measurement mode.

Claims

Claim

A device for testing a product for leaks, containing an inlet line, selective pumping means, a leak detector, a first high vacuum pump, a foreline pump and a test gas return line connected to the inlet of the foreline pump, connected to the inlet line, characterized in that, in order to improve operational characteristics when the test gas accumulates in the carrier gas by eliminating saturation of the selective pumping means and pollution of the leak detector, the selective pumping means is made in the form of a selectively configured second high-vacuum pump, a first high-vacuum pump, a second high-vacuum pump and a fore-vacuum pump. are connected in series with the input line, the leak detector is connected to the output of the first high-vacuum pump, and the device is equipped with selectively tuned third and fourth high-vacuum smart pumps, the first of which is installed in the return line test gas, and the second in the leak detector.