Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by В.Т. ВасильевfiledCriticalВ.Т. Васильев
Priority to SU4401517/21ApriorityCriticalpatent/SU1529940A1/ru
Application grantedgrantedCritical
Publication of SU1529940A1publicationCriticalpatent/SU1529940A1/ru
Testing Of Individual Semiconductor Devices
(AREA)
Abstract
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для технологического контроля в широкой полосе частот полевых транзисторов непосредственно на пластине. Целью изобретения является повышение производительности и расширение частотного диапазона. Способ предусматривает подачу постоянного напряжения на стоковый и истоковый электроды, регистрацию усиленного полевым транзистором СВЧ-тока, по величине которого оценивают качество полевого транзистора. Поставленная цель достигается возбуждением СВЧ-тока в полевом транзисторе путем освещения затворной области световым потоком, модулированным по интенсивности СВЧ-сигналов, а регистрация выходного сигнала осуществляется с помощи кристалла, обладающего электрооптическим эффнктом, путем измерения амплитуды отклонения пучка света, отраженного от нижней границы электрооптического кристалла. 1 ил.
SU4401517/21A1988-04-041988-04-04Способ контроля свч полевых транзисторов на пластине
SU1529940A1
(ru)
Appareil convertisseur audiofrequence perfectionne, installation pour le traitement de sujets comprenant un tel appareil et procede mettant en óoeuvre une telle installation.